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華虹無(wú)錫項(xiàng)目一期12英寸生產(chǎn)線已正式建成投片

半導(dǎo)體動(dòng)態(tài) ? 來(lái)源:wv ? 作者:全球半導(dǎo)體觀察 ? 2019-09-17 14:10 ? 次閱讀

9月17日,華虹無(wú)錫項(xiàng)目再次迎來(lái)重大進(jìn)展,集成電路研發(fā)和制造基地(一期)12英寸生產(chǎn)線正式建成投片,隨著首批12英寸硅片進(jìn)入工藝機(jī)臺(tái),開始55納米芯片產(chǎn)品制造,這標(biāo)志著項(xiàng)目將由工程建設(shè)期正式邁入生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)期。

根據(jù)無(wú)錫日?qǐng)?bào)此前報(bào)道,該項(xiàng)目是無(wú)錫市“十三五”重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目之一,也是無(wú)錫有史以來(lái)單體投資最大的產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。2017年8月2日,華虹集團(tuán)與無(wú)錫市政府簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,總投資約100億美元的華虹集團(tuán)集成電路研發(fā)和制造基地項(xiàng)目正式落戶無(wú)錫高新區(qū)。

根據(jù)此前官方介紹,華虹無(wú)錫項(xiàng)目占地約700畝,總投資100億美元,一期投資25億美元,新建一條工藝等級(jí)90~65納米、月產(chǎn)能約4萬(wàn)片的12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線,支持5G物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

華虹集團(tuán)董事長(zhǎng)張素心表示,無(wú)錫項(xiàng)目發(fā)揚(yáng)了華虹520精神,以華虹“全集團(tuán)統(tǒng)籌資源、大兵團(tuán)作戰(zhàn)部署”的戰(zhàn)略為依托,經(jīng)過17個(gè)月的緊張奮戰(zhàn),再次刷新華虹速度。

從2018年4月3日樁基工程啟動(dòng)以來(lái),該項(xiàng)目進(jìn)展迅速,主要工程節(jié)點(diǎn)較計(jì)劃大幅提前;設(shè)備安裝和工藝調(diào)試速度刷新紀(jì)錄;生產(chǎn)線全自動(dòng)化系統(tǒng)快速建立;成套技術(shù)成功轉(zhuǎn)移;并行推進(jìn)工藝研發(fā)、市場(chǎng)銷售、人力資源準(zhǔn)備等工作,確保了該生產(chǎn)線工藝串線的成功。

2018年6月25日,樁基工程完成,開始大底板澆筑;2018年8月12日,生產(chǎn)廠房鋼架屋桁架吊裝完成;2018年12月21日,廠房機(jī)構(gòu)封頂;2019年5月24日,首臺(tái)工藝設(shè)備搬入;2019年6月6日,光刻設(shè)備搬入;2019年9月17日,項(xiàng)目正式啟用量產(chǎn)。

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