2020年8月10日,中國(guó)MEMS芯片第一股敏芯股份正式在科創(chuàng)板上市,作為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中唯一一個(gè)全國(guó)產(chǎn)化平臺(tái),敏芯股份也受到了資本的熱捧,發(fā)行價(jià)格為62.67元/股,發(fā)行市盈率為65.46倍。今日開(kāi)盤(pán)后敏芯股份的股價(jià)一度暴漲接近291%。截至下午收盤(pán),股價(jià)仍上漲269.4%,報(bào)收231.5元/股。
很多人聽(tīng)供應(yīng)商說(shuō)過(guò)產(chǎn)品采用了Mems芯片,但對(duì)Mems芯片了解并不多。
MEMS的概念于20世紀(jì)50年代被提出,它是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器、控制處理電路甚至接口、通信和電源等制造在一塊或多塊芯片上的微型集成系統(tǒng),是微電路和微機(jī)械按功能要求在芯片上的集成,屬于微電子技術(shù)與機(jī)械工程結(jié)合的一種工業(yè)技術(shù)。在日本MEMS被稱(chēng)為微機(jī)械(Micro-machines),歐洲更多地將其定義為微系統(tǒng)(Micro-systems)。此外,操作范圍在納米級(jí)的MEMS系統(tǒng)被稱(chēng)為納機(jī)電系統(tǒng)(Nano- Electro- Mechanical System, 簡(jiǎn)稱(chēng)NEMS)。
再狹隘一點(diǎn)比喻就是把以前機(jī)械系的同學(xué)做的產(chǎn)品縮小到芯片上小到um級(jí)。
小到比螨蟲(chóng)的觸角還要小。
MEMS傳感器的種類(lèi)繁多,根據(jù)測(cè)量量不同可分為:MEMS物理傳感器、MEMS化學(xué)傳感器、MEMS生物傳感器三大類(lèi),每一種MEMS傳感器又有很多細(xì)分類(lèi)別,如圖2所示。常見(jiàn)的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機(jī)械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等。MEMS傳感器的品種多到以萬(wàn)為單位,且不同MEMS之間參量較多,沒(méi)有完全標(biāo)準(zhǔn)的工藝。
作為“More than Moore”的重要方向和突破口,并在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等熱點(diǎn)應(yīng)用風(fēng)口催化下,MEMS產(chǎn)業(yè)目前正處于巨大的戰(zhàn)略機(jī)遇期。
從產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)看,國(guó)內(nèi)缺乏對(duì)MEMS相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。從企業(yè)規(guī)???,2018年我國(guó)MEMS傳感器制造企業(yè)大約有200家,大多屬于初創(chuàng)類(lèi)中小型企業(yè)。從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)看,國(guó)內(nèi)MEMS公司在營(yíng)業(yè)規(guī)模、技術(shù)水平、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)等與國(guó)外有明顯差距,主要產(chǎn)品集中在中低端的傳統(tǒng)領(lǐng)域。
盡管我國(guó)MEMS傳感器廠商面臨挑戰(zhàn)諸多,但從上游設(shè)計(jì)、中游制造、下游封測(cè)等領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代的空間巨大。中國(guó)MEMS發(fā)展任重道遠(yuǎn),中國(guó)應(yīng)以巨大的市場(chǎng)應(yīng)用為牽引,不斷彌合人才缺口,研判和把握未來(lái)趨勢(shì),錨定自主創(chuàng)新之路,實(shí)現(xiàn)規(guī)?;绕鸷挖s超。
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