8月11日，企查查最新信息顯示，徐州博康信息化學(xué)品有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“徐州博康”）更新了最新工商信息，新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)（有限合伙）為股東，注冊(cè)資本從7600.95萬(wàn)變更為8445.50萬(wàn)元，增幅11.11%。

截圖自企查查

光刻膠是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的重要材料，目前主要被日美把控，國(guó)內(nèi)在光刻膠方面投入研制的廠(chǎng)商主要晶瑞股份、南大光電、上海新陽(yáng)、徐州博康、北京科華等，那么華為投資的徐州博康在光刻膠方面有何優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商在光刻膠上的研制進(jìn)展如何？

國(guó)內(nèi)唯一 光刻膠單體材料全部自供

徐州博康是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹(shù)脂為主的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，公司專(zhuān)注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專(zhuān)用樹(shù)脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國(guó)產(chǎn)化自主可控。

徐州博康擁有5000平方研發(fā)中心，研發(fā)團(tuán)隊(duì)200余人，博士和碩士占比50%以上。配有KrF Nikon S204，I9，I12，ACT8 track，日立CDSEM等先進(jìn)光刻檢測(cè)設(shè)備，以及其它理化檢測(cè)設(shè)備如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。

目前實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)品線(xiàn)涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線(xiàn)/I線(xiàn)光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品。已成功開(kāi)發(fā)出40+個(gè)中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠，KrF正負(fù)型光刻膠，I線(xiàn)正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠，應(yīng)用于IC集成電路制造多個(gè)環(huán)節(jié)，服務(wù)客戶(hù)超100家。

與其他半導(dǎo)體光刻膠廠(chǎng)商相比，徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供，光刻膠單體是光刻膠實(shí)現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料，徐州博康是中國(guó)目前唯一可以規(guī)?；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè)。

目前國(guó)產(chǎn)KrF、ArF光刻膠研制進(jìn)展

半導(dǎo)體光刻膠根據(jù)激光波長(zhǎng)不同，可分為g線(xiàn)、i線(xiàn)、KrF、ArF以及EUV光刻膠，對(duì)應(yīng)的激光波長(zhǎng)依次是436nm、365nm、248nm、193nm，激光波長(zhǎng)越短，可實(shí)現(xiàn)的光刻精度越高，目前國(guó)內(nèi)暫無(wú)廠(chǎng)商研制EUV光刻膠，KrF光刻膠和ArF光刻膠是目前各廠(chǎng)商的研制重點(diǎn)。

這里主要看一下KrF和ArF光刻膠的進(jìn)展。KrF光刻膠方面，徐州博康和北京華科的KrF光刻膠已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，徐州博康的年產(chǎn)值20億的新基地經(jīng)過(guò)三年的建設(shè)和爬坡已于2021年6月份正式投產(chǎn)；上海新陽(yáng)KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品通過(guò)客戶(hù)認(rèn)證，并成功取得第一筆訂單；晶瑞股份KrF光刻膠已進(jìn)入客戶(hù)測(cè)試階段。

ArF光刻膠方面，南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品已經(jīng)通過(guò)客戶(hù)認(rèn)證；上海新陽(yáng)半導(dǎo)體ArF干法光刻膠啟動(dòng)研發(fā)，預(yù)計(jì)2022實(shí)現(xiàn)少量銷(xiāo)售，2023年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；徐州博康正在進(jìn)行干法ArF光刻膠中測(cè)，濕法ArF光刻膠正在進(jìn)行研發(fā)；北京科華正在進(jìn)行干法ArF光刻膠研發(fā)；晶瑞股份ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)。

總結(jié)

在國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)下，光刻膠作為重要的半導(dǎo)體制造材料，是不可忽視的環(huán)節(jié)，華為哈勃從成立以來(lái)，針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)各個(gè)環(huán)節(jié)做了投資，而此次投資光刻膠似乎是可預(yù)期的。

那么選擇徐州博康，最主要的可能是，不僅僅是它在光刻膠成品上的成績(jī)，更為重要的是，它是國(guó)內(nèi)唯一可以規(guī)?；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè)，就如上文所言，光刻膠單體是實(shí)現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料。