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氬離子拋光離子研磨CP制樣 氬離子拋光制備EBSD樣品效果分享

金鑒邵工 ? 來源:金鑒實(shí)驗(yàn)室失效分析 ? 作者:金鑒實(shí)驗(yàn)室失效分 ? 2022-04-27 19:30 ? 次閱讀

氬離子拋光技術(shù)又稱CP截面拋光技術(shù),是利用氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行拋光,可以獲得表面平滑的樣品,而不會(huì)對(duì)樣品造成機(jī)械損害。去除損傷層,從而得到高質(zhì)量樣品,用于在SEM,光鏡或者掃描探針顯微鏡上進(jìn)行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。

離子研磨CP截面拋光儀制樣廣泛,可用于于各種材料樣品(除了液態(tài))的制備,適應(yīng)大多數(shù)材料類型,對(duì)大面積、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳,有鋼鐵、地質(zhì)、油頁巖、線路板, 鋰離子電池、光伏材料、陶瓷、金屬(氧化物,合金)、高分子,聚合物、薄膜、半導(dǎo)體、EBSD樣品、生物材料等包括平面拋光與截面拋光。

為此,金鑒實(shí)驗(yàn)室特向市場(chǎng)推出“氬離子拋光/CP截面拋光切割制作樣品檢測(cè)”業(yè)務(wù),能夠針對(duì)不同的樣品的硬度,設(shè)置不同的電壓、電流、離子槍的角度、離子束窗口,控制氬離子作用的深度、強(qiáng)度、角度、這樣精準(zhǔn)的參數(shù),有利于制備成研究者理想的材料樣品,這樣的樣品不僅表面光滑無損傷,而且還原材料內(nèi)部的真實(shí)結(jié)構(gòu),正如頁巖內(nèi)部的細(xì)微孔隙在SEM下放大到100K時(shí)也能看得清清楚楚,以及材料內(nèi)部的不同物質(zhì)分層都能看的分界線明顯。

離子研磨制樣效果分享:

poYBAGJpFC-Aae4_AAFkWjbpjKw498.png電路板盲孔氬離子拋光效果SEM觀察【金鑒邵工分享】pYYBAGJpFamAAKfzAA1h6AmOeQk397.png鋰電池石墨負(fù)極片截面氬離子拋光SEM效果圖【金鑒邵工分享】pYYBAGJpGXqAA3kDAAZ0FRvMURQ617.png頁巖石氬氬離子拋光SEM效果圖【金鑒邵工分享】pYYBAGJpGe6AScJ7AARjy995hjM066.png芯片焊球氬離子拋光SEM效果圖【金鑒邵工分享】pYYBAGJpGjeAYEiVAATh1JxIhSs516.png電鍍支架氬離子拋光SEM效果圖【金鑒邵工分享】

氬離子拋光制備EBSD樣品效果

pYYBAGJpG8eAS9_XAAi1FWwhiTU088.pngpoYBAGJpGuKAFsRlAAZ7WORxTWc963.png

左圖設(shè)備型號(hào):Gatan 685; 右圖設(shè)備型號(hào):Fischione 1061

氬離子拋光與切割/CP截面拋光的優(yōu)點(diǎn)

pYYBAGJpG0WAWQyiAAIwruoaAnU665.png氬離子拋光與切割/CP截面拋光的優(yōu)點(diǎn)

相比較下氬離子拋光/CP截面拋光的優(yōu)點(diǎn):
(1)對(duì)由硬材料和軟材料組成的復(fù)合材料樣品,能夠很精細(xì)地制作軟硬接合部的截面,而使用傳統(tǒng)方法制樣是很困難的。

(2)比FIB方法的拋光面積更大(~1mm以上)。

寄樣要求

1. 送樣前需要對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理:樣品預(yù)磨拋,樣品要磨平,樣品的上下表面要平行,樣品拋光面至少用4000目砂紙磨平,在顯微鏡下看起來光滑,不粗糙。

2. 金鑒樣品的尺寸要求:

2.1塊狀樣品:以待拋光區(qū)域?yàn)?a target="_blank">中心點(diǎn),樣品直徑不超過30mm、厚度0~20mm。(超出部分需要磨走)

2.2粉末樣品:10g以上。

注:具體的樣品要求可咨詢?cè)诰€業(yè)務(wù)!

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