KLA“打卡”Carbontech 2022

作為2022高交會(huì)的一部分，為期三天的第六屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)(Carbontech)在深圳國(guó)際會(huì)展中心順利召開(kāi)。作為世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司，KLA也帶著自己的洞察與產(chǎn)品亮相了本屆大會(huì)上的碳化硅半導(dǎo)體論壇，與來(lái)自全球的伙伴們分享技術(shù)、交流心得，共同“碳”索未來(lái)的更多可能性，吸引了眾多業(yè)界同行前來(lái)打卡，共赴“碳時(shí)代”。

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KLA專(zhuān)家出席碳化硅半導(dǎo)體論壇

分享車(chē)載領(lǐng)域的碳材料應(yīng)用場(chǎng)景

今年的Carbontech論壇議題涵蓋了金剛石、培育鉆石、碳基儲(chǔ)能、石墨烯、碳納米管、碳纖維、炭/炭復(fù)合材料、多孔碳材料、碳化硅等領(lǐng)域，碳化硅半導(dǎo)體論壇更是本屆Carbontech大會(huì)的重要組成部分之一。作為當(dāng)下炙手可熱的碳材料，碳化硅的應(yīng)用場(chǎng)景十分廣泛，其中就包括新能源汽車(chē)在內(nèi)的車(chē)載領(lǐng)域。作為該領(lǐng)域的探索者，KLA也針對(duì)碳化硅材料在車(chē)載領(lǐng)域的應(yīng)用發(fā)表了自己的洞見(jiàn)。

Go Nagatani

KLA LS-SWIFT部門(mén)特種半導(dǎo)體業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人

11月16日1400，來(lái)自KLA LS-SWIFT部門(mén)的特種半導(dǎo)體業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人Go Nagatani在碳化硅半導(dǎo)體論壇的“SiC產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)突破與發(fā)展新機(jī)遇”議題下進(jìn)行了題為《創(chuàng)新工藝控制：提升車(chē)規(guī) SiC功率器件品質(zhì)與良率》的演講，分享了全球汽車(chē)電動(dòng)化的大背景下，KLA Altair 8 Series圖形化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)以創(chuàng)新工藝控制解決方案幫助晶圓工廠識(shí)別器件制造工藝中的明顯關(guān)鍵缺陷與潛在可靠性缺陷，為SiC 器件的良率和可靠性保駕護(hù)航，同時(shí)致力打造“零缺陷”汽車(chē)IC器件的專(zhuān)業(yè)舉措，向在場(chǎng)嘉賓展現(xiàn)了KLA在碳材料領(lǐng)域的深入見(jiàn)解與技術(shù)實(shí)力。

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KLA“8 Series”亮相大會(huì)場(chǎng)

展示碳化硅先進(jìn)制程控制解決方案

伴隨著車(chē)規(guī)SiC功率器件滲透率的不斷提升，KLA也一直在開(kāi)發(fā)和提供能加速基于碳化硅的電子器件的增長(zhǎng)和應(yīng)用的制程解決方案。在本屆Carbontech大會(huì)上，KLA向各界展示了先進(jìn)的全流程在線缺陷檢測(cè)方案。除了業(yè)內(nèi)熟知的襯底外延晶圓檢測(cè)設(shè)備Candela系列以外，本次還展出用于器件工藝控制的8 Series圖型化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其以極高的靈敏度和吞吐量捕獲器件生產(chǎn)過(guò)程中的各種缺陷類(lèi)型，從而快速發(fā)現(xiàn)，識(shí)別和解決工藝控制問(wèn)題。

8 Series圖型化晶圓檢測(cè)系統(tǒng)

8 Series支持150 毫米、200 毫米或300 毫米硅或非硅晶圓，如碳化硅或氮化鎵等，為器件開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)提供具有成本效益的缺陷監(jiān)測(cè)手段。最新一代 8935 機(jī)臺(tái)搭配新的高精度檢測(cè)鏡頭，并通過(guò)DesignWise和FlexPoint技術(shù)精確定位細(xì)微檢測(cè)區(qū)域來(lái)捕獲可能導(dǎo)致芯片失效的關(guān)鍵缺陷，同時(shí)依靠DefectWise AI 技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)海量缺陷數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)處理和分類(lèi)。憑借這些創(chuàng)新，8935對(duì)影響良率相關(guān)缺陷的的檢測(cè)更為高效和可靠，幫助先進(jìn)和成熟制程晶圓廠以更低的成本，更高的良率和更優(yōu)異的可靠性快速向市場(chǎng)交付產(chǎn)品。

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攜手全球，“碳”索未來(lái)

第六屆Carbontech之旅接近尾聲，但KLA的“碳”索之旅永不止步。未來(lái)，KLA將一直通過(guò)協(xié)作、創(chuàng)新和執(zhí)行，提供先進(jìn)的技術(shù)、差異化的解決方案以及超凡的客戶體驗(yàn)，以科技之力“碳”索未來(lái)的更多可能性。