磁敏電阻是一種對磁敏感、具有磁阻效應(yīng)的電阻元件。物質(zhì)在磁場中電阻發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為磁阻效應(yīng)。磁敏電阻通常用銻化銦(InSb)或砷化銦(InAs)等對磁具有敏感性的半導(dǎo)體材料制成。半導(dǎo)體材料的磁阻效應(yīng)包括物理磁阻效應(yīng)和幾何磁阻效應(yīng),其中物理磁阻效應(yīng)又稱為磁電阻率效應(yīng)。
什么是磁敏 電阻
磁敏電阻是一種對磁敏感、具有磁阻效應(yīng)的電阻元件。物質(zhì)在磁場中電阻發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為磁阻效應(yīng)。磁敏電阻通常用銻化銦(InSb)或砷化銦(InAs)等對磁具有敏感性的半導(dǎo)體材料制成。半導(dǎo)體材料的磁阻效應(yīng)包括物理磁阻效應(yīng)和幾何磁阻效應(yīng),其中物理磁阻效應(yīng)又稱為磁電阻率效應(yīng)。
當(dāng)外加磁場的方向或強度發(fā)生變化時,磁敏電阻的阻值相應(yīng)改變[2],利用該變化,可精確地測試出磁場的相對位移。例如,在一個長方形半導(dǎo)體InSb片中,沿長度方向有電流通過時,若在垂直于電流片的寬度方向上施加一個磁場,半導(dǎo)體InSb片長度方向上就會發(fā)生電阻率增大的現(xiàn)象。
磁敏電阻器的特點
1、磁阻效應(yīng)原理;
2、磁檢測靈敏度高;
3、輸出信號幅值大;
4、抗電磁干擾能力強;
5、分辨力高。
磁敏電阻器的主要參數(shù)
1)磁阻比:指在某一規(guī)定的磁感應(yīng)強度下,磁敏電阻器的阻值與零磁感應(yīng)強度下的阻值之比。
2)磁阻系數(shù):指在某一規(guī)定的磁感應(yīng)強度下,磁敏電阻器的阻值與其標(biāo)稱阻值之比。
3)磁阻靈敏度:指在某一規(guī)定的磁感應(yīng)強度下,磁敏電阻器的電阻值隨磁感應(yīng)強度的相對變化率。
磁敏電阻工作原理
磁敏材料
磁敏材料能通過磁阻效應(yīng)將磁信號轉(zhuǎn)換成電信號。磁阻效應(yīng)包括材料的電阻率隨磁場而變化和元件電阻值隨磁場而變化兩種現(xiàn)象。前者稱磁電阻率效應(yīng)或物理磁阻效應(yīng),后者稱為磁電阻效應(yīng)或幾何磁阻效應(yīng)。
磁敏電阻材料主要是電子遷移率大的半導(dǎo)體材料,還有鐵鎳鈷合金。常用的半導(dǎo)體有InSb(或InSb-NiSb共晶材料)、砷化銦(InAs)和砷化鎵(GaAs)等材料,一般用N型。
高純度InSb和InAs的電子遷移率分別為5.6~6.5m/(V·s)和2.0~2.5m/(V·s)。InSb的禁帶寬度小,受溫度影響大。GaAs的禁帶寬度大,電子遷移率也相當(dāng)大[0.8m/(V·s)],受溫度影響小,且靈敏度也高。
鎳鈷合金和鎳鐵合金的電阻溫度系數(shù)小,性能穩(wěn)定,靈敏度高,且具有方向性,可制作強磁性磁阻器件,用于磁阻的檢測等方面。
用半導(dǎo)體材料制作的磁敏電阻器、無觸點電位器、模擬運算器和磁傳感器等應(yīng)用于測量、計算機、無線電和自動控制等方面。半導(dǎo)體InSb-NiSb磁敏電阻器用于磁場、電流、位移和功率測量及模擬運算器等方面,其阻值為10Ω~1kΩ,相對靈敏度6~18(B=1T),溫度系數(shù)-2.9%~0.09%(1/℃)(B=1T),極限工作頻率1~10MHz。在測量小于0.01T的弱磁場時,必須附加以偏置磁場才能進行。
Ni-Co薄膜磁敏電阻器主要用于探測磁場方向、磁帶位置檢測、測量和控制轉(zhuǎn)速或速度以及無觸點開關(guān)等方面。阻值有1、10、250kΩ,相對靈敏度2%以上(3&TImes;10T下),溫度系數(shù)3000±500&TImes;10(1/℃),感應(yīng)磁場3&TImes;10T以上,工作溫度-55~150℃。在檢測磁場反轉(zhuǎn)或可逆磁場以下的磁信號時,也應(yīng)采用偏置磁場。
結(jié)構(gòu)及原理
1.、半導(dǎo)體磁敏電阻
通常半導(dǎo)體磁敏電阻是由基片、半導(dǎo)體電阻條(內(nèi)含短路條)和引線三個主要部分組成的?;纸幸r底,一般是用0.1~0.5mm厚的云母、玻璃作成的薄片,也有使用陶瓷或經(jīng)氧化處理過的硅片作基片的。電阻條一般是用銻化錮(InSb)或砷化銦(InAs)等半導(dǎo)體材料制成的半導(dǎo)體磁敏電阻條,在制造過程中,為了提高磁敏電阻的阻值,縮小其體積、提高靈敏度常把它作成如圖1所示的結(jié)構(gòu)。
圖1 半導(dǎo)體磁敏電阻構(gòu)造
半導(dǎo)體材料的電阻率ρ隨外磁場強度變化而變化的現(xiàn)象叫作半導(dǎo)體的物理磁阻效應(yīng)或叫作磁阻率效應(yīng)。這是由于在外施磁場的作用下,流經(jīng)半導(dǎo)體磁敏電阻的載流子受洛侖茲力的作用使其流動路徑發(fā)生偏斜,從而造成它從一個電極流到另一個電極所流過的途經(jīng)(即載流子運動的軌跡)要比無磁場作用時所通過的途經(jīng)要長,故其電阻值增大。我們把載流子在磁場作用下的平均偏斜角度θ叫作平均霍爾角。它與外施磁場及載流有如下關(guān)系:
式中一文看懂磁敏電阻工作原理及特性為電子遷移率;B為外施磁場的磁感應(yīng)強度。從式(1)可以看出:半導(dǎo)體磁敏電阻材料的載流子遷移率越大,其偏斜的平均霍爾角就越大,電阻的變化就越大。這種電阻的變化和磁場強度的關(guān)系大致可以認(rèn)為:在弱磁場的作用下,半導(dǎo)體磁敏電阻的相對變化率R/R0與所施磁場的磁感應(yīng)強度B的平方成正比;而在強磁場的作用下,半導(dǎo)體磁敏電阻的相對變化率ΔR/R0則與所施磁場的磁感應(yīng)強度B成正比。
2、磁性金屬薄膜磁敏電阻
強磁性金屬薄膜磁敏電阻器件的結(jié)構(gòu)如圖2所示,和半導(dǎo)體磁敏電阻一樣,它也是由基片、強磁性金屬薄膜的電阻體和內(nèi)外引線三部分組成的。基片一般是用厚為0.1~0.5mm的玻璃片、高頻陶瓷片或經(jīng)氧化處理的硅片制成;電阻體通常是采用半導(dǎo)體平面工藝中的真空鍍膜(或濺射)、光刻、腐蝕工藝而制成的;內(nèi)引線是用硅鋁絲或金絲采用超聲壓焊或金絲球焊而焊接的,找元器件現(xiàn)貨上唯樣商城外引線是用非磁性的銅片等材料焊接的。
圖2 強磁性金屬薄膜磁敏電阻構(gòu)造
磁敏電阻電路符號
下圖為磁敏電阻在電路中的圖形符號,用大寫的R表示電阻,用字母M表示其阻值與磁性相關(guān)。
下圖所示是3根引腳磁敏電阻的等效電路,兩根引腳之間加有5V直流工作電壓,另一根引腳輸出信號。
磁敏電阻的應(yīng)用
1.作控制元件
可將磁敏電阻用于交流變換器、頻率變換器、功率電壓變換器、磁通密度電壓變換器和位移電壓變換器等等。
2.作計量元件
可將磁敏電阻用于磁場強度測量、位移測量、頻率測量和功率因數(shù)測量等諸多方面。
3.作模擬元件
可在非線性模擬、平方模擬、立方模擬、三次代數(shù)式模擬和負(fù)阻抗模擬等方面使用。
4.作運算器
可用磁敏電阻在乘法器、除法器、平方器、開平方器、立方器和開立方器等方面使用。
5.作開關(guān)電路
可應(yīng)用在在接近開關(guān)、磁卡文字識別和磁電編碼器等方面。
6.作磁敏傳感器
用磁敏電阻作核心元件的各種磁敏傳感器,其工作原理都是相同的,只是根據(jù)用途、結(jié)構(gòu)不同而種類各異。主要有:
①測磁傳感器。如新型磁通表,測定恒定磁場及交變磁場或電機電器等剩磁的儀器,用于航海、航空的導(dǎo)航儀器。
②轉(zhuǎn)速傳感器。如構(gòu)成新型的數(shù)字式轉(zhuǎn)速表、頻率計等。
③位移和角位移傳感器。微位移傳感器是工業(yè)用機器人的基本器件。
④鐵磁物質(zhì)探傷用的傳感器。
⑤可變電阻器、無接觸電位器以及無觸點、高性能的磁開關(guān)(作定位及控制用)。
磁敏電阻和電子元件配合可以構(gòu)成振蕩器、乘法器、函數(shù)發(fā)生器、調(diào)制器、交直流變換器和倍頻器等,還可用來鑒別磁性油墨印的紙幣和票證的真?zhèn)巍?/p>
磁敏電阻應(yīng)用電路
下圖所示是磁敏電阻應(yīng)用電路,電路中,R1和R2是磁敏電阻,A1為電壓比較器。
電路中,R3和R4構(gòu)成分壓電路,其輸出電壓通過電阻R6加到A1的2腳,作為基準(zhǔn)電壓。當(dāng)磁場發(fā)生改變時,磁敏電阻R1和R2分壓電路輸出電壓大小發(fā)生變化,這一變化的電壓通過電阻R5加到A1的1腳,這樣A1的輸出端3腳電壓大小也隨之做相應(yīng)的改變,這一變化信號經(jīng)C1耦合后得到輸出信號U。
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