等離子體是物質(zhì)的一種特殊存在狀態(tài)，是物質(zhì)在電離等外來作用下繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)后的第四種存在狀態(tài)。

等離子清洗技術(shù)是利用等離子體高能轟擊、活化反應(yīng)等物理化學(xué)方法，將污染物從工件上剝離去除的一種工藝方法。

等離子清洗設(shè)備，主要由高頻電源、電極、真空室、真空泵、控制系統(tǒng)等幾部分組成。

等離子清洗原理

1）反應(yīng)性氣體等離子清洗

在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離成高能量和高反應(yīng)性的等離子氣體。這些高活性基團(tuán)被吸附在工件表面，與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成其他氣體并脫離工件表面，隨排氣系統(tǒng)排出。氧氣適合對(duì)助焊劑等有機(jī)類污染物進(jìn)行處理，氫氣適合處理金屬氧化物。

2）物理性氣體等離子清洗

在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體?；钚粤Ｗ釉谄珘鹤饔孟卤患铀佼a(chǎn)生動(dòng)能，設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對(duì)敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團(tuán)下電極高速轟擊工件表面，使污染物汽化，與工件剝離，隨排氣系統(tǒng)排出腔體外，產(chǎn)生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物，此方法適合對(duì)各類污染物進(jìn)行去除。

等離子清洗的優(yōu)點(diǎn)

等離子清洗是使用電能催化物理化學(xué)反應(yīng)為手段，是一種干法清洗方式，它排除了所有濕法清洗帶來的危險(xiǎn)，且無(wú)廢液產(chǎn)生。等離子高能離子的方向性不強(qiáng)，可以深入到物體微小孔和不規(guī)則圖形結(jié)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行清洗，受工件形狀的影響較小。

影響等離子清洗效果的因素

電極設(shè)計(jì)技術(shù)

試料loading方法

真空度

Gas種類

Plamsa處理時(shí)間

Power種類及量

清洗過程的溫度

審核編輯 ：李倩