在計(jì)算焊盤坐標(biāo)時(shí),數(shù)據(jù)手冊(cè)中指定的芯片尺寸與從晶圓上切割后的物理芯片尺寸之間經(jīng)常存在混淆。芯片的物理邊緣不是引線鍵合的良好參考,因?yàn)檎w芯片尺寸略有不一致。本應(yīng)用筆記將簡(jiǎn)要討論芯片尺寸、芯片方向、鍵合坐標(biāo)以及如何計(jì)算物理芯片尺寸。MAX3970將作為示例。
介紹
在計(jì)算焊盤坐標(biāo)時(shí),經(jīng)常有 數(shù)據(jù)中指定的模具尺寸之間的混淆 板材和從中切割后的物理模具尺寸 晶片。雖然不需要物理芯片尺寸 對(duì)于引線鍵合目的,重要的是 了解兩者之間的區(qū)別 影響 整體物理芯片尺寸。物理邊緣 芯片不是引線鍵合的良好參考,因?yàn)?整體模具尺寸的輕微不一致。 在下面的討論中,適當(dāng)?shù)姆椒?模具方向和鍵合坐標(biāo)將是 解釋,以及如何計(jì)算物理 模具尺寸。MAX3970將作為示例。
綁定約定
引線鍵合不需要精確的物理芯片 導(dǎo)線放置的尺寸。粘接墊上的 模具面向一個(gè)共同的參考點(diǎn)。一次 參考點(diǎn)位于,其余點(diǎn)為 很容易推斷。以下過程用于 定向和定義Maxim光纖的焊盤位置 產(chǎn)品:
定向模具。
定義原點(diǎn)。
將所有其他焊盤引用到原點(diǎn)。
找到模具識(shí)別號(hào)并對(duì)齊 將圖表放在相應(yīng)的數(shù)據(jù)表中以定向 骰子。模具識(shí)別號(hào)通常以開頭 使用高清、高頻或超線程,用于美信光纖 通信集成電路。一旦模具編號(hào)為 對(duì)齊,分配邊 A、B、C 和 D 并標(biāo)識(shí) 索引墊(圖1)。索引墊定義為 A面的底墊。
原點(diǎn)定義為左下角的可見角 的索引墊(圖2)。x 軸定義為 平行于 D 側(cè),y 軸平行于 A側(cè)(圖2)。然后每個(gè)鍵盤都引用其 中心從這個(gè)起源。粘接坐標(biāo)為 適用于所有作為模具出售的Maxim光纖部件。
焊盤幾何形狀因工藝而異。這 粘合區(qū)域是焊盤的部分 可用于粘合(未被玻璃覆蓋的金屬)。 圖 3 和圖 4 說明了如何定義原點(diǎn) 用于方形和八角形墊? 表1列表 所用一般晶圓和焊盤參數(shù)的定義 在粘合過程中。
?焊盤尺寸變量與流程相關(guān)。這 圖 3 和圖 4 中給出的尺寸與 F60 有關(guān) 過程。
參數(shù) | 定義 |
晶體管計(jì)數(shù) |
芯片上 包含的活動(dòng)器件數(shù)。從歷史上看,這些信息被軍方 用于可靠性 計(jì)算。 |
酶作用物 |
潛在的基礎(chǔ)硅?;迨侵圃旒呻娐?/strong> 的 物理材料。它的主要功能是 機(jī)械支撐,但它也可以用于 其他電氣功能。 |
過程 |
用于制造 半導(dǎo)體器件的技術(shù)。 |
玻璃鈍化 |
覆蓋模具的保護(hù) 玻璃層。 |
粘結(jié)墊尺寸 |
芯片上用于引線鍵合的無玻璃鍵合區(qū)域(鈍化 開口)。 |
金屬化 |
金屬合金在模具中的應(yīng)用。 金屬化有助于 導(dǎo)電性。 |
模具厚度 |
減薄過程后的晶圓厚度。 通常晶圓被減薄到14mil。 |
大小 |
中心劃線到中心劃線模具 尺寸。 |
粘結(jié)力 | 可接受的粘合力范圍。 |
超聲波功率 | 超聲波脈沖中使用的功率。 |
粘接溫度 | 可接受的粘合溫度范圍。 |
債券時(shí)間 |
必須 應(yīng)用綁定參數(shù)的持續(xù)時(shí)間。 |
整體模具尺寸(物理尺寸與公布尺寸)
為了指定整體模具尺寸,附加 必須指定與芯片尺寸相關(guān)的參數(shù)。 這些是模印、抄寫員街、中心抄寫員和 鋸切口,解釋如下。
模具密封:定義 芯片上鈍化層的邊界
模具密封可防止在 從穿透到有源電路的切割。這 從芯片密封件到有源電路的距離必須 至少 1mil(25.4 微米)。這并不總是 到墊子邊緣的距離,因?yàn)榭梢杂谢顒?dòng) 延伸到焊盤之外的電路。
抄寫員街:模具之間的開口
抄寫員街道將相鄰的模具分開,并且是 在整個(gè)晶圓上以均勻的圖案排列。 水平和垂直抄寫員街道并不總是 寬度相同。抄寫員街道可以從 3 密耳不等 至 7mils(101.6 微米至 177.8 微米),具體取決于 在所使用的過程中。
中心抄寫員:抄寫員街的中心
定義預(yù)切模具尺寸。這是骰子 Maxim光纖數(shù)據(jù)手冊(cè)中給出的尺寸。
鋸切口:晶圓的數(shù)量 刀片切割模具時(shí)取出
它可以被認(rèn)為是刀片的寬度,但是 實(shí)際上由許多其他變量決定。桌子 2 列出了典型的鋸切口值。這些值取 考慮其他因素,例如碎裂和漂移。
鋸切口 | 晶圓厚度 |
2.5 – 3.0千 | <15K |
3.0 – 3.5千 | 15 – 20千 |
4.0 – 4.5千 | >20萬 |
圖5顯示了模具密封的方向,劃線 街,中心抄寫員,鋸切口。尺寸 從中心抄寫員到中心抄寫員是出版的 芯片尺寸見Maxim光纖數(shù)據(jù)手冊(cè)。 實(shí)際物理尺寸因以下原因而異 制造公差和鋸切口。絕對(duì) 最大和最小物理芯片尺寸可以變化 和抄寫員街道寬度一樣多,但這不是 典型。下一節(jié)將介紹如何計(jì)算 典型模具尺寸
示例:模具尺寸計(jì)算 (MAX3970)
MAX3970測(cè)量34密耳×53密耳 中心抄寫員到中心抄寫員。這是芯片尺寸 數(shù)據(jù)表中公布的測(cè)量結(jié)果。這 水平和垂直抄寫員街道 MAX3970的寬度為5密耳。晶圓< 15mil 厚。表 2 將 2.5mil 的鋸切口分配給 此模具厚度為 3.0mils。物理芯片尺寸可以 通過減去一半的鋸切口來估計(jì) 模具的每一面或減去整個(gè)鋸 從整體發(fā)布維度切口。使用 2.5mils的鋸切口給出了典型的物理模具尺寸 31.5密耳乘以50.5密耳(圖6)。
結(jié)論
了解兩者之間的區(qū)別很重要 物理芯片尺寸和公布的芯片尺寸。這 物理芯片尺寸因以下原因而略有不同 制造公差。因此,建議將引用的原點(diǎn)用作 此處介紹了鍵合線放置。如果更好 需要近似物理芯片尺寸,即 給出的方法和公差將有助于計(jì)算 典型模具尺寸。
審核編輯:郭婷
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