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華南師范大學(xué):設(shè)計(jì)可穿戴柔性傳感器件,可實(shí)現(xiàn)三維空間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)識(shí)別

傳感器專家網(wǎng) ? 來源:傳感器專家網(wǎng) ? 作者:傳感器專家網(wǎng) ? 2023-08-10 18:54 ? 次閱讀

傳感新品

【華南師范大學(xué):設(shè)計(jì)可穿戴柔性傳感器件,可實(shí)現(xiàn)三維空間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)識(shí)別】

近年來,隨著可穿戴柔性傳感器技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍越來越廣。但是,通過可穿戴柔性傳感器捕捉人體運(yùn)動(dòng)仍然充滿挑戰(zhàn)。由于人體關(guān)節(jié)的靈活性,人體的運(yùn)動(dòng)往往十分復(fù)雜,因此對(duì)動(dòng)作捕捉設(shè)備提出了更高的要求。

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華南師范大學(xué)李昕明研究員團(tuán)隊(duì)與合作者開發(fā)了一種可用于運(yùn)動(dòng)捕捉的可穿戴柔性傳感器件,通過感知真實(shí)物理運(yùn)動(dòng)引起的表面形變場(chǎng)變化,來準(zhǔn)確還原復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。

他們提出了一種基于空間分布差分的傳感器件設(shè)計(jì),能夠?qū)⑦\(yùn)動(dòng)引起的表面形變場(chǎng)解耦為多個(gè)基礎(chǔ)形變的組合,從而準(zhǔn)確還原運(yùn)動(dòng)行為?;谠撛O(shè)計(jì),即便對(duì)于手腕等高自由度的關(guān)節(jié),也可以實(shí)現(xiàn)三維空間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)識(shí)別。

不同于已商用的基于光學(xué)的動(dòng)作捕捉方案,該團(tuán)隊(duì)所開發(fā)的可穿戴柔性傳感器件通過采集跟隨運(yùn)動(dòng)變形產(chǎn)生的傳感器電信號(hào)變化,來實(shí)現(xiàn)對(duì)佩戴者的運(yùn)動(dòng)捕捉,其傳感的準(zhǔn)確性不會(huì)受限于場(chǎng)地和遮擋。

“因此,可穿戴式柔性傳感器件有望于拓展動(dòng)作捕捉的場(chǎng)景,并增強(qiáng)運(yùn)動(dòng)捕捉在不同場(chǎng)景下的魯棒性?!崩铌棵髡f。

然而,柔性傳感器件在運(yùn)動(dòng)捕捉領(lǐng)域應(yīng)用的局限性在于,其信號(hào)并不直接反映運(yùn)動(dòng)。當(dāng)柔性傳感器件穿戴在人體表面時(shí),它的傳感信號(hào)其實(shí)反映的是與柔性傳感器貼合的皮膚發(fā)生的變形程度。

盡管皮膚的變形由運(yùn)動(dòng)引起,但是也受到諸多其他因素的影響。周遠(yuǎn)志舉例說道:“比如不同的人(老人和孩子),由于他們的體型身材有差異,即使是做同樣的動(dòng)作,他們的皮膚形變也會(huì)不一樣。除此之外,佩戴位置的差異也可能導(dǎo)致測(cè)量到的皮膚形變的差異。”

總體來說,由于真實(shí)運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景的復(fù)雜性,柔性傳感器件在實(shí)際運(yùn)動(dòng)捕捉場(chǎng)景中面臨著諸多潛在的影響因素,而這些影響因素極大地制約了柔性傳感器件真正地從實(shí)驗(yàn)室走入到人們的日常生活。

在該研究中,研究團(tuán)隊(duì)重新審視了穿戴式柔性傳感器在動(dòng)作捕捉過程中信息傳遞的過程,基于實(shí)際場(chǎng)景中的需求,對(duì)傳感器功能和設(shè)計(jì)提出要求和改進(jìn)。

值得關(guān)注的是,該傳感器件僅由兩個(gè)相同的傳感單元組成。研究人員通過對(duì)運(yùn)動(dòng)形變引起的應(yīng)變場(chǎng)變化分析,設(shè)計(jì)了傳感單元的空間位置關(guān)系及電學(xué)響應(yīng)形式,最終僅通過兩個(gè)傳感單元,便實(shí)現(xiàn)了對(duì)于多種復(fù)合形變的準(zhǔn)確解耦。“這也體現(xiàn)了智能傳感系統(tǒng)的‘化繁為簡(jiǎn)’的設(shè)計(jì)思想?!崩铌棵鞅硎?。

該團(tuán)隊(duì)遇到的關(guān)鍵挑戰(zhàn)之一,是如何理解和復(fù)現(xiàn)實(shí)際運(yùn)動(dòng)引起的形變。實(shí)際上,人體皮膚的運(yùn)動(dòng)變形十分復(fù)雜,并且人體的運(yùn)動(dòng)的重復(fù)精度不高,在測(cè)量上,皮膚形變的測(cè)量也是十分具有挑戰(zhàn)性的課題之一。

因此,如何提取皮膚形變中的關(guān)鍵特征,并通過實(shí)驗(yàn)室中的標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試加以模擬和復(fù)現(xiàn),成為了研究團(tuán)隊(duì)研究形變的主要方案。

結(jié)合力學(xué)分析方法,他們將實(shí)際生活中的形變分解為多個(gè)基本形變的疊加,并構(gòu)建了一套自主設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)化復(fù)合形變施加、測(cè)量系統(tǒng)。該團(tuán)隊(duì)通過該系統(tǒng)研究了器件對(duì)于復(fù)合形變的解耦能力,最終將這種能力應(yīng)用到實(shí)際場(chǎng)景。

該團(tuán)隊(duì)表示,希望通過該研究進(jìn)一步啟發(fā)更多應(yīng)用導(dǎo)向的傳感設(shè)計(jì),并通過物理結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),降低傳感系統(tǒng)本身在集成上的復(fù)雜度?;谠撛O(shè)計(jì)理念,可穿戴柔性電子未來或許能夠進(jìn)一步小型化、便攜化的同時(shí),也能保證高精度的傳感能力,這將有利于可穿戴柔性傳感器件的實(shí)際應(yīng)用。

傳感動(dòng)態(tài)

【陜西傳感器產(chǎn)業(yè)學(xué)院在寶雞成立】

7月5日,2023智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)人才專場(chǎng)在寶雞職業(yè)技術(shù)學(xué)院召開。會(huì)上舉行了陜西傳感器產(chǎn)業(yè)學(xué)院揭牌儀式。

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陜西傳感器產(chǎn)業(yè)學(xué)院在寶雞職業(yè)技術(shù)學(xué)院成立,是寶雞市深化校、政、企、行合作,提高人才培養(yǎng)質(zhì)量,推動(dòng)省級(jí)“雙高”院校建設(shè),助力區(qū)域產(chǎn)業(yè)升級(jí)和經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的新載體、新契機(jī)。

寶雞職業(yè)技術(shù)學(xué)院負(fù)責(zé)人表示,學(xué)院將以傳感器產(chǎn)業(yè)學(xué)院為依托,緊盯傳感器產(chǎn)業(yè)鏈人才需求,不斷強(qiáng)化校政企行聯(lián)合協(xié)作,持續(xù)加強(qiáng)專業(yè)(群)建設(shè),通過開展訂單式培養(yǎng)、現(xiàn)代學(xué)徒制等途徑,打造具有寶雞特色的傳感器產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)模式,努力把傳感器產(chǎn)業(yè)學(xué)院辦成產(chǎn)業(yè)人才輸出新高地、科研創(chuàng)新新平臺(tái)、合作交流新紐帶,為區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展貢獻(xiàn)“寶職力量”。

會(huì)上,寶雞職業(yè)技術(shù)學(xué)院與寶雞市興宇騰測(cè)控設(shè)備有限公司、陜西賽爾斯電子有限公司、寶雞恒通電子有限公司等簽訂了校企合作協(xié)議。

瑞薩預(yù)計(jì)今年銷售額增至200億美元 加大生態(tài)鏈布局】

MCU大廠日本瑞薩,在芯片下行周期中交出了自己的答卷。近日,該公司全球銷售及市場(chǎng)本部副總裁兼中國總裁賴長青表示,瑞薩電子計(jì)劃2030年銷售額增長至200億美元,成為全球前三的嵌入式半導(dǎo)體方案供應(yīng)商,市值有望達(dá)到2022年末的6倍。

這意味著,瑞薩的市值或?qū)⑦_(dá)到950億美元左右。

回顧歷史,瑞薩電子維持“逆勢(shì)”增長的原因,既與公司主流產(chǎn)品吻合汽車電子需求有關(guān),也與其此前持續(xù)進(jìn)行市場(chǎng)收購、擴(kuò)大業(yè)務(wù)線、整合資源有關(guān)。

“逆勢(shì)”增長

瑞薩是一家具有20年歷史的日本半導(dǎo)體IDM型公司,主流產(chǎn)品為MCU、MPU和SoC。對(duì)于“激進(jìn)”的增長目標(biāo),市場(chǎng)并不意外。

公開財(cái)報(bào)顯示,2022年瑞薩全年?duì)I收為1.5萬億日元,按照當(dāng)時(shí)的匯率大約為114億美元;當(dāng)年年底,瑞薩市值為158.4億美元,不過2023年6月末,其市值已經(jīng)達(dá)到346.3億美元。

從市場(chǎng)排行來看,在2022年,瑞薩電子在全球MCU市場(chǎng)的份額已經(jīng)達(dá)到了17%,位居全球第一;在汽車MCU市場(chǎng),市場(chǎng)份額高達(dá)30%,位居全球第一。

此前在2021年,連特斯拉CEO馬斯克在提及全球汽車芯片短缺問題時(shí),也不得不提到,是瑞薩和博世這兩家公司的交貨出現(xiàn)了供應(yīng)鏈問題。

賴長青稱,MCU市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈,想要爭(zhēng)奪更多市場(chǎng)份額非常困難,“市占率增長0.5個(gè)點(diǎn)到1個(gè)點(diǎn)都很不容易”。

根據(jù)瑞薩電子預(yù)測(cè),從2019年到2029年,整個(gè)乘用汽車產(chǎn)量會(huì)會(huì)增長110%,單臺(tái)汽車?yán)锸褂玫陌雽?dǎo)體器件金額將會(huì)增長2.4倍。

對(duì)于瑞薩電子的汽車業(yè)務(wù)發(fā)展策略,瑞薩電子汽車電子戰(zhàn)略銷售中心副總裁趙明宇透露,瑞薩電子主要會(huì)關(guān)注E/E架構(gòu)、輔助駕駛(ADAS)/自動(dòng)駕駛(AD)、電氣化三大應(yīng)用方向。

通過收購增強(qiáng)供應(yīng)能力

完整解決方案是該公司的戰(zhàn)略核心。

趙明宇表示,從2019年到2022年,瑞薩的Winning Combo從101個(gè)累計(jì)漲到434個(gè),2023年還要進(jìn)一步增加到500個(gè)。該公司的歷史經(jīng)驗(yàn)表明,通過持續(xù)的市場(chǎng)收購、整合,該公司交出更完整產(chǎn)品線,也鞏固了供應(yīng)鏈。

關(guān)于Winning Combo,趙明宇解釋其要義是“一站式服務(wù)”,尤其強(qiáng)調(diào)了對(duì)汽車客戶的重要性。

“從器件角度來看,汽車客戶不希望零打碎敲地采購,而是從一家半導(dǎo)體公司拿到所有需要的元器件?!壁w明宇表示。舉例而言,如果汽車客戶需要80顆芯片,最好能從一家供應(yīng)商處獲得其中大多數(shù)顆粒,否則就會(huì)在物流、采購、品控上花費(fèi)大量成本?!巴瑫r(shí),這也是令瑞薩從一塊產(chǎn)品上賺2美元到賺8美元的關(guān)鍵。”趙明宇稱。

成立于2003年的瑞薩電子,主流業(yè)務(wù)原本是MCU、MPU和SoC。從2016年開始,該公司持續(xù)進(jìn)行大規(guī)模的市場(chǎng)收購,期間雖然經(jīng)歷了艱難的業(yè)務(wù)轉(zhuǎn)型、團(tuán)隊(duì)整合,但隨后在市場(chǎng)需求劇變的時(shí)代背景下,獲得了生存優(yōu)勢(shì)。

2018年9月11日,瑞薩宣布以約67億美元收購美國模擬芯片大廠IDT,并于2019年3月30日完成收購。通過對(duì)IDT的收購,瑞薩獲得了在射頻RF)、高性能定時(shí)、存儲(chǔ)接口、實(shí)時(shí)互聯(lián)、光互連、無線電源以及智能傳感器方面的補(bǔ)足。

2021年2月8日,瑞薩電子宣布以59.2億美元、按溢價(jià)20%收購蘋果芯片供應(yīng)商Dialog。Dialog總部位于英國雷丁,但其研發(fā)地點(diǎn)遍布?xì)W洲和美國。Dialog為智能手機(jī)和其他互聯(lián)網(wǎng)連接設(shè)備制造電源管理技術(shù)以及無線芯片,2019年,其14億美元總銷售額的三分之二來源于蘋果公司。

2022年6月,瑞薩完成收購嵌入式AITinyML解決方案商Reality AI,其后一年已推出一系列基于Reality AI技術(shù)的解決方案;2022年10月,瑞薩完成對(duì)提供4D成像雷達(dá)解決方案的無晶圓半導(dǎo)體公司Steradian的收購;2023年6月2日,完成收購專注于高性能無線產(chǎn)品的無晶圓廠半導(dǎo)體公司Panthronics AG。

由于進(jìn)行了多次收購,瑞薩也逐漸在自身IDM(一體化設(shè)計(jì)和生產(chǎn))的企業(yè)形式基礎(chǔ)上,發(fā)展了外包生產(chǎn)業(yè)務(wù),包括晶圓代工和封測(cè)代工。該公司原本在日本有5座晶圓廠,在中國北京、蘇州和馬來西亞等地?fù)碛?個(gè)封測(cè)廠,但目前對(duì)于Intersil、Dialog等無晶圓廠的產(chǎn)品,也會(huì)交由外部代工廠來生產(chǎn),這可以保證原有生態(tài)的穩(wěn)定。

賴長青強(qiáng)調(diào)了瑞薩對(duì)于供應(yīng)鏈安全的重視,指出大部分產(chǎn)品的供應(yīng)鏈都是全球化和多元化的。

的穩(wěn)定供應(yīng),又能夠在外部環(huán)境變化時(shí)對(duì)于產(chǎn)能進(jìn)行靈活調(diào)配,使得供應(yīng)更為靈活。

【重慶智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車產(chǎn)業(yè)添新軍 鐳神智能激光雷達(dá)項(xiàng)目落戶重慶】

7月5日,在巴南區(qū)第二季度招商項(xiàng)目集中簽約活動(dòng)上,重慶數(shù)智產(chǎn)業(yè)園正式簽約深圳市鐳神智能系統(tǒng)有限公司,將建設(shè)自動(dòng)化工廠,主要生產(chǎn)1550nm車規(guī)級(jí)光纖混合固態(tài)激光雷達(dá)。作為融入重慶萬億級(jí)智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵核心零部件項(xiàng)目,該項(xiàng)目落地將完善零部件供應(yīng)鏈,推進(jìn)重慶智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車產(chǎn)業(yè)補(bǔ)鏈、強(qiáng)鏈、延鏈,助力萬億級(jí)智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)。

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向“光”而行 攻克“卡脖子”技術(shù)

據(jù)悉,深圳市鐳神智能系統(tǒng)有限公司是一家打造全國產(chǎn)化的高性能激光雷達(dá)及行業(yè)應(yīng)用方案的高新技術(shù)企業(yè),榮獲國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng),是國家工信部新一代人工智能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新重點(diǎn)任務(wù)優(yōu)勝揭榜單位、國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)、廣東省唯一的激光雷達(dá)工程技術(shù)研究中心、省級(jí)制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品企業(yè)。該企業(yè)打造了齊全的激光雷達(dá)產(chǎn)品矩陣,具備1550nm及905nm車規(guī)激光雷達(dá)的量產(chǎn)能力,致力于實(shí)現(xiàn)深度集成垂直產(chǎn)業(yè)鏈及產(chǎn)品國產(chǎn)化。

值得一提的是,該企業(yè)自研自產(chǎn)了1550nm光纖激光器、10多種高功率核心器件以及生產(chǎn)光纖器核心器件的自動(dòng)化設(shè)備,攻克了“國之所需”的關(guān)鍵核心技術(shù),解決了我國被“卡脖子”的35項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)之一的激光雷達(dá)技術(shù)問題,實(shí)現(xiàn)了技術(shù)反制裁。

作為車載核心傳感器,激光雷達(dá)被稱為“汽車之眼”,通過發(fā)射激光,可測(cè)量物體與傳感器之間的精確距離,構(gòu)建高精度三維環(huán)境點(diǎn)云圖,已廣泛應(yīng)用于自動(dòng)駕駛、智慧交通、機(jī)器人工業(yè)自動(dòng)化、高端測(cè)繪等多個(gè)領(lǐng)域,目前在汽車端的市場(chǎng)增長則最為迅猛。

據(jù)了解,激光雷達(dá)行業(yè)具有較高的技術(shù)水準(zhǔn)與技術(shù)壁壘,尤其是汽車前裝對(duì)激光雷達(dá)產(chǎn)品的性能和成本提出了很高的要求。作為激光雷達(dá)產(chǎn)業(yè)的“排頭兵”,該企業(yè)擁有一批核心部件和技術(shù),優(yōu)勢(shì)明顯。該企業(yè)自主研發(fā)的1550nm光纖混合固態(tài)激光雷達(dá),采用自研自產(chǎn)的1550nm光纖激光器,擁有超強(qiáng)的小物體遠(yuǎn)距離探測(cè)性能和圖像級(jí)高密點(diǎn)云密度表現(xiàn),滿足車規(guī)級(jí)要求,主要應(yīng)用于高級(jí)別自動(dòng)駕駛、智慧交通、直升機(jī)/飛行汽車防撞等遠(yuǎn)距離場(chǎng)景,其綜合性能國際領(lǐng)先,價(jià)格不到進(jìn)口產(chǎn)品一半,極具成本優(yōu)勢(shì)。

建圈強(qiáng)鏈 深挖產(chǎn)業(yè)“源頭活水”

當(dāng)前,重慶正加快構(gòu)建“33618”現(xiàn)代制造業(yè)集群體系,著力打造智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車、新一代電子信息制造業(yè)、先進(jìn)材料3大萬億級(jí)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)集群。緊緊圍繞全市“33618”、巴南區(qū)“1246”現(xiàn)代制造業(yè)集群體系,重慶數(shù)智產(chǎn)業(yè)園圍繞延伸“芯屏端核網(wǎng)”全產(chǎn)業(yè)鏈和建設(shè)“云聯(lián)數(shù)算用”要素集群,打造重慶重要的大數(shù)據(jù)和智能制造產(chǎn)業(yè)基地。

立足已集聚的“3+2”特色產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局,重慶數(shù)智產(chǎn)業(yè)園強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)分析研究,編制重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)“一行動(dòng)方案、一招商圖譜、四項(xiàng)清單”,注重市/區(qū)級(jí)部門、鏈主企業(yè)、投資機(jī)構(gòu)、行業(yè)協(xié)會(huì)、峰會(huì)等“八項(xiàng)聯(lián)動(dòng)”,瞄準(zhǔn)已確立的“搶先布局硅基光電子未來產(chǎn)業(yè),持續(xù)深耕新型顯示產(chǎn)業(yè)、5G、大數(shù)據(jù),深入拓展智能裝備、消費(fèi)品工業(yè)等特色產(chǎn)業(yè),深挖產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈,加強(qiáng)項(xiàng)目調(diào)度,密集“走出去”“引進(jìn)來”,招商“朋友圈”不斷擴(kuò)容,切實(shí)吸引產(chǎn)業(yè)鏈上下游、供應(yīng)鏈各環(huán)節(jié)入駐集聚。

截至6月,重慶數(shù)智產(chǎn)業(yè)園簽約超音速AI+機(jī)器視覺、永磁變頻系列及新能源發(fā)電機(jī)等14個(gè)項(xiàng)目,協(xié)議金額達(dá)66.38億元,開工項(xiàng)目15個(gè)、開工率達(dá)87.5%,積極帶動(dòng)、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展和聚鏈成群,為重慶“33618”、巴南“1246”現(xiàn)代制造業(yè)集群體系持續(xù)注入新的“源頭活水”。

【馬斯克:今年末有望實(shí)現(xiàn)全面自動(dòng)駕駛 愿意向其它車企共享】

7月6日消息,在2023世界人工智能大會(huì)開幕式上,特斯拉CEO埃隆·馬斯克發(fā)表了他對(duì)人形機(jī)器人Optimus 、自動(dòng)駕駛、人工智能等領(lǐng)域的看法。

他表示,機(jī)器和生物的算力差距在進(jìn)一步擴(kuò)大,機(jī)器智能占比將在未來超過生物智能,“這將是一個(gè)根本性的深度的變化?!?/p>

馬斯克還稱,特斯拉非常有興趣將自己的自動(dòng)駕駛技術(shù)與其他汽車制造商進(jìn)行分享,這個(gè)技術(shù)是超越世代的。

而且會(huì)讓汽車使用率大大增加,一般家用車一周使用時(shí)間為10小時(shí)至20個(gè)小時(shí),多數(shù)時(shí)間都在停車場(chǎng)趴著,但對(duì)于全自動(dòng)駕駛的汽車而言,其使用時(shí)間一周可能在50至60個(gè)小時(shí),這種使用率比非全自動(dòng)汽車增加近5倍。

馬斯克預(yù)測(cè),隨著人工智能技術(shù)的快速發(fā)展,大約在今年年末,就會(huì)實(shí)現(xiàn)全面自動(dòng)駕駛。

“我以前也做過預(yù)測(cè)都錯(cuò)了,但我覺得此刻做的預(yù)測(cè)比以往任何時(shí)候更接近于現(xiàn)實(shí)?!?/p>

馬斯克介紹,當(dāng)前特斯拉已經(jīng)非常接近沒有人類干預(yù)的全自動(dòng)駕駛狀態(tài),在美國的道路上測(cè)試很少會(huì)需要人工干預(yù)。

此外,值得一提的是,特斯拉目前正在向其他車輛開放使用特斯拉的超級(jí)充電網(wǎng)絡(luò)。馬斯克也曾公開表示:很樂意將Autopilot(自動(dòng)輔助駕駛)/FSD(完全自動(dòng)駕駛能力)或其他特斯拉技術(shù)授權(quán)給有需要的公司。

【消息稱 ASML 將向中國推出“特供版”DUV ***】

7 月 6 日消息,根據(jù) DigiTimes 報(bào)道,ASML 試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令,面向中國市場(chǎng)推出特別版 DUV ***。

消息稱如果該項(xiàng)目繼續(xù)推進(jìn),中芯國際、華虹等中國半導(dǎo)體企業(yè)可以繼續(xù)使用荷蘭的設(shè)備生產(chǎn) 28 納米及更成熟工藝的芯片。

消息稱該特別版 DUV ***基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造,而 1980Di 是 10 年前推出的舊型號(hào),不在本次官方禁令范圍內(nèi)。

1980Di 是 ASML 現(xiàn)有效率比較低的***,支持 NA 1.35 光學(xué)器件、分辨率可以達(dá)到 <38 nm,理論上可以支持 7nm 工藝。

大多數(shù)晶圓廠使用 1980Di ***,主要生產(chǎn) 14nm 及以上工藝芯片,很少使用其生產(chǎn) 7nm 芯片。

審核編輯 黃宇

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