加速度傳感器是一種用于測量加速度的傳感器,通常使用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術直接測量物體的加速度。在很多場景下,選擇合適的加速度傳感器很重要。本文將介紹加速度傳感器的分類以及選型。
加速度傳感器有哪幾種
1、壓電式加速度傳感器
壓電加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應。當加速度傳感器振動時,質(zhì)量塊施加到壓電元件上的力會相應變化。當測量的振動頻率遠低于加速度傳感器的固有頻率時,力的變化與測量的加速度成正比。
2、壓阻式加速度傳感器
基于的MEMS硅微加工技術,壓阻式加速度傳感器具有體積小、功耗低的特點,易于集成到各種模擬和數(shù)字電路中。廣泛應用于汽車碰撞實驗、檢測儀器、設備振動監(jiān)測等。
3、電容式加速度傳感器
電容式加速度傳感器是基于電容原理變化很大的電容式傳感器。電容式加速器在某些領域是不可替代的,例如安全氣囊、移動設備等。它通常采用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術,在批量生產(chǎn)中經(jīng)濟實惠,從而確保成本較低。
加速度傳感器如何選擇參數(shù)
1、測量范圍
首先要考慮的是測量范圍,即加速度傳感器能夠測量的最大和最小物理量。在確定測量范圍時,需要考慮到振動水平、加速度大小、加速度變化率等多個因素。
2、輸出信號
加速度傳感器的輸出信號支持模擬信號和數(shù)字信號兩種,其中,模擬信號范圍較小,但是精度較高,數(shù)字信號范圍更廣,但是精度相對較低。
3、加速度靈敏度
加速度傳感器的靈敏度是指,對于特定的加速度值,傳感器的輸出信號發(fā)生的變化量,靈敏度的單位通常是mv/G。在選型時,應該根據(jù)實際情況選擇合適的靈敏度。
4、頻率響應特性
頻率響應特性是指傳感器對于不同頻率的振動具有不同的響應特性。在加速度傳感器選型中,需要根據(jù)實際應用需求選擇合適的加速度傳感器。
5、準確性
準確性是指傳感器測量值與真實值之間的誤差,包括靜態(tài)誤差和動態(tài)誤差。在加速度傳感器選型中,需要選擇誤差小、準確性高的傳感器。
6、加速度傳感器的耐用性和防護等級
在實際應用中,加速度傳感器可能會面臨很多挑戰(zhàn),如高溫、低溫、潮濕、污染等等,因此,需要選擇耐用性好、具備防護等級的傳感器。
加速度傳感器的特性
1、靈敏度:靈敏度是由一定力產(chǎn)生的輸出電壓,以g為單位。它通常以條件下每單位加速度的伏特數(shù)表示。加速度傳感器的靈敏度通常在正弦波形狀的單個參考頻率下測量。
2、頻率響應:是加速度傳感器應工作的頻率范圍內(nèi)的輸出信號。
3、加速度范圍:是加速度傳感器輸出信號規(guī)格支持的加速度級別,通常以 ±g 為單位。
4、溫度引起的靈敏度變化:為每oC的變化百分比。
5、非線性:是加速度計響應與線性響應偏差的測量值。它為相對于滿量程范圍 (%FSR) 或滿量程 (%FS) ±的百分比。
6、零g電平:以V為單位,它了0g加速度下輸出端可能預期的電壓范圍。
7、跨軸靈敏度:是衡量當加速度施加到另一個軸上時在一個軸上看到多少輸出的量度,通常以百分比形式。兩個軸之間的耦合是由對準誤差、蝕刻不準確和電路串擾共同造成的。
8、噪聲密度:噪聲密度,單位為 ug/rt(Hz) RMS,是噪聲輸出功率譜密度的平方根。
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