隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，各個領(lǐng)域的產(chǎn)品精度要求也越來越高。優(yōu)可測技術(shù)團隊經(jīng)過不斷地研發(fā)與試驗，正式發(fā)布【薄膜厚度測量儀AF-3000系列】，超高精度的測量參數(shù)和多層膜的測量能力，滿足了各行各業(yè)的薄膜測量需求，助力各行各業(yè)產(chǎn)品的制造與迭代和時代的進步。

想知道優(yōu)可測的薄膜測量儀是怎么測量薄膜厚度的嗎？它究竟能測量多薄的膜呢？今天小優(yōu)博士來為您解答！

01 測量原理

AF-3000系列儀器發(fā)出不同波長的光波穿透樣品膜層，膜的上下表面反射光被儀器接收，反射光相互之間的相位差增強或減弱。

相位差為波長整數(shù)倍時，產(chǎn)生建設(shè)性疊加，此時反射率最大；

相位差為半波長時，出現(xiàn)破壞性疊加，反射率最低；

整數(shù)倍與半波長之的疊加，反射率介于最大與最小反射之間。

這一相位差的變化，取決于薄膜的厚度d和折射率n已知材料的光學(xué)參數(shù) (n,k) 值，可以推導(dǎo)出這一光學(xué)系統(tǒng)的反射率R(λ,d,n,k)。

當(dāng)在設(shè)備中給光學(xué)參數(shù) (n,k) 賦值，可以計算得反射率R，使其與設(shè)備測得反射率R'，進行比對通過強算法計算，當(dāng)反射率曲線R與實測反射率R'曲線完美擬合時，通過解析干涉圖形，即可求得薄膜的厚度d。

綜上，理論上來說，只有透明或半透明材料制成的薄膜才可被光波穿透，從而可用薄膜厚度測量儀來進行測量。但是一些不透光材料，如金屬在某種情況下也能測量，當(dāng)金屬膜僅有幾百納米甚至是幾納米薄的情況下，也能被部分光波穿透，這時就能精確測量出膜的厚度。

02 產(chǎn)品優(yōu)勢

（1）超高精度 分辨率1?

優(yōu)可測AF-3000系列舍棄傳統(tǒng)的整體波段擬合，采用了獨特的“分波段擬合算法”，偏差精準(zhǔn)校正，紫外線波段偏差顯著減小，從而實現(xiàn)超高分辨率1?。

1?是什么概念呢？正常人一根頭發(fā)的直徑約為60μm，1?就相當(dāng)于一根頭發(fā)直徑的六十萬分之一！

（2）多層測量 光譜穩(wěn)定

優(yōu)可測AF-3000系列舍棄傳統(tǒng)的LED光源，而是采用了光強均勻、頻道穩(wěn)定的“氘燈”和“鎢鹵素?zé)?/strong>”，支持測單層膜、多層膜、液態(tài)膜、氣隙層、粗糙/光滑層、折射率，最高可測10層膜。一臺機器覆蓋多臺機器的測量范圍，測量結(jié)果更加精準(zhǔn)。

（3）適用于多場景配置

優(yōu)可測AF-3000系列支持離線式、在線式、Mapping模式、全自動多種測量場景，同時可客制化，針對實際應(yīng)用滿足客戶的額外需求。同時提供售后調(diào)試和協(xié)助軟件開發(fā)的服務(wù)。

03 應(yīng)用領(lǐng)域以及行業(yè)需求

當(dāng)前，薄膜厚度測量在各個行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用，涉及到：

精密光學(xué)行業(yè)的二氧化硅膜和氟化鈣膜等；

半導(dǎo)體行業(yè)的量子點芯片、光刻膠、GaN涂層等；

新能源/光伏行業(yè)的鈣鈦礦、ITO等；

顯示面板行業(yè)的涂布膜、微流道等；

刀具行業(yè)的表面鍍膜層；

高分子材料行業(yè)的PI膜等等。

04 應(yīng)用案例

案例一：

近期，優(yōu)可測收到某大學(xué)寄送的樣品，希望能測量硅片表面鍍的金屬鎳膜，用于研究使用，厚度僅幾納米！工程師得知客戶需求后，使用優(yōu)可測薄膜厚度測量AF-3000系列為客戶做檢測，得出檢測如下：

鎳膜膜厚測量結(jié)果

可以看出，AF-3000系列在測量過程中光波非常穩(wěn)定，檢測Ni膜膜厚約為3.5nm，匹配度達(dá)0.009081！

即使幾納米的金屬膜已經(jīng)非常薄了，但這還不是優(yōu)可測的測量極限！優(yōu)可測的薄膜厚度測量儀擁有超高分辨率1?，精度達(dá)0.1nm，也就是說，就算薄膜厚度只有1nm，我們的儀器同樣可以精確測量！

“沒想到優(yōu)可測在薄膜厚度測量領(lǐng)域的造詣如此之高，測量結(jié)果如此精確，這對我們的研究有很大的幫助，非常感謝優(yōu)可測工程師的專業(yè)性和及時性。”客戶收到檢測報告后，對優(yōu)可測薄膜厚度測量儀稱贊連連。

案例二：

某研究院希望能檢測PI膜的膜厚，精度要求0.1nm。優(yōu)可測工程師得知客戶需求后，使用優(yōu)可測薄膜厚度測量AF-3000系列為客戶做檢測，得出檢測結(jié)果如下：

陶瓷基板上PI膜膜厚測量結(jié)果銅上PI膜膜厚測量結(jié)果

如圖可以看出，檢測陶瓷基板上PI膜膜厚為4602.4nm，匹配度達(dá)0.009079！檢測銅上PI膜的膜厚為29657.2nm，其匹配度為0.291977。

優(yōu)可測的薄膜厚度測量儀最高可測10層膜，膜的層數(shù)再多也阻擋不了優(yōu)可測測量的精確性！