鎢絲掃描電子顯微鏡的總發(fā)射電流和光斑大,抗干擾能力和穩(wěn)定性好??稍诘驼婵障虏怀潆妼Ψ菍?dǎo)電樣品進(jìn)行成像,并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析,以及斷口形貌分析。分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著廣泛的用途。
工作原理:
通過向電子槍中的鎢絲施加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)。在陽極的作用下,熱激發(fā)電子槍可以激發(fā)電子束。電子束在掃描線圈的磁場控制下,在樣品表面逐點(diǎn)掃描,激發(fā)出二次電子和背散射電子等物理信號,被探測器收集,經(jīng)放大器放大,對圖像進(jìn)行調(diào)制。。鎢絲掃描電鏡適用于大量的常規(guī)檢查。
鎢絲掃描電子顯微鏡使用時(shí)的一些注意事項(xiàng):
(1) 新長絲的表面可以吸收一定量的空氣和水蒸氣。當(dāng)安裝在電子顯微鏡燈管中時(shí),會慢慢從燈絲表面釋放出來,影響燈管的真空度,腐蝕燈絲。因此,新長絲在更換前必須進(jìn)行“除濕脫氣”??蓪⑵渲糜?5°C的電熱箱中加熱數(shù)小時(shí),然后放入透射電子顯微鏡抽膜腔中預(yù)排氣數(shù)小時(shí),以除去新燈絲上吸附的灰塵。殘余空氣和水蒸氣
(2) 如果干燥后的樣品暫時(shí)不用,可以存放在干燥器或真空中。樣品貼附臺后,最好將其放入透射電子顯微鏡膜提取腔中,預(yù)抽真空數(shù)小時(shí)后再放入電子顯微鏡中觀察。
(3)降低飽和點(diǎn)以滿足要求。掃描電子顯微鏡的鎢絲有兩個(gè)飽和點(diǎn):第二飽和點(diǎn)用于高分辨率觀測和攝影。如果對圖像要求不高或者做EDS的話,可以在第一個(gè)飽和點(diǎn)下功夫,這樣可以延長燈絲的壽命。
(4)抽高真空后等待幾分鐘,使真空度更高。。在放氣前等幾分鐘,讓燈絲冷卻下來,然后再放氣,以避免燈絲因接觸大氣而過熱而氧化。
(5) 加速電壓不宜過高,滿足要求即可。如果能用低電壓,就不要用高電壓。。當(dāng)放大倍數(shù)不超過10,000倍時(shí),15-20 Kv通常就足夠了。同時(shí),工作電壓和工作距離應(yīng)保持相對穩(wěn)定。如無特殊需要,不要頻繁改變電壓和工作距離。電子顯微鏡工作參數(shù)的頻繁變化不利于電子顯微鏡的穩(wěn)定運(yùn)行。
(6)盡可能少地頻繁開關(guān)燈絲。次數(shù)過多會對燈絲不利。。它不僅大大降低了維護(hù)成本,而且保證了電子顯微鏡的高效穩(wěn)定運(yùn)行。
審核編輯 黃宇
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掃描電鏡
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