半導(dǎo)體材料是制作半導(dǎo)體器件與集成電路的基礎(chǔ)電子材料。隨著技術(shù)的發(fā)展以及市場(chǎng)要求的不斷提高，對(duì)于半導(dǎo)體材料的要求也越來越高。因此對(duì)于半導(dǎo)體材料的測(cè)試要求和準(zhǔn)確性也隨之提高，防止由于其缺陷和特性而影響半導(dǎo)體器件的性能。

半導(dǎo)體材料眾多，其檢測(cè)內(nèi)容包含光學(xué)性能測(cè)試、電學(xué)性能測(cè)試和結(jié)構(gòu)性能測(cè)試。各自對(duì)應(yīng)的具體測(cè)試內(nèi)容以及測(cè)試方法會(huì)在下文中予以闡述。

半導(dǎo)體檢測(cè)材料有哪些?

1.濕電子化學(xué)品：酸堿類、蝕刻類、溶劑類

2.光刻膠及配套試劑

光刻膠、負(fù)膠顯影液、負(fù)膠漂洗液、負(fù)膠顯影漂洗液、正膠顯影液正膠稀釋劑、邊膠清洗劑、負(fù)膠剝離液、正膠剝離液等。

3.電池材料：負(fù)極材料、正極材料、電解液、電池/電解液添加劑、電池隔膜

4.電子元器件化學(xué)品

硝酸鉍、硫酸鋁、硝酸鋁、硝酸鉀、溴化鈣、重鉻酸銨、重絡(luò)化鉬、氯化、三氯化梯、磷酸、硅酸鉀鈉、硅鋁、硫酸鎂、硝酸銅、硝酬鍶、氟化氫銨、碳酸、氧化銷、氟化鎂、銳酸鈉、氧化擦、氧化鋼等。

5.電子工業(yè)用氣體

甲烷、三氯化硼、三氧化氬、六氟化硫、八氧環(huán)丁烷、六氟乙烷、四氟化碳、氯化氫、一氧化碳、笑氣、硅烷等。

6.印刷電子化學(xué)品：印刷線路板材料及配套化學(xué)品、電子油墨、絲網(wǎng)印刷材料等。

7. 電子膠類

SMT貼片紅膠、LED貼片硅膠、UV膠、AB膠、填充膠、密封膠、導(dǎo)電銀膠、硅膠等。

8.電子級(jí)水：超純水、純化水等

9.其他電子材料檢測(cè)種類

CMP拋光材料、靶材、導(dǎo)電錄合物、液晶聚合物、聚酯薄膜、抗靜電材料、抗蝕劑、封裝材料、LED/OLED材料、發(fā)光材料、光學(xué)薄膜、平板膜、TFT-LCD面板及模組構(gòu)成材料、電子紙、硅材料、太陽能電池膜等。

半導(dǎo)體材料檢測(cè)項(xiàng)目和方法

半導(dǎo)體材料的檢測(cè)內(nèi)容可分為電學(xué)性能測(cè)試、光學(xué)性能測(cè)試和結(jié)構(gòu)性能測(cè)試。

1. 電學(xué)性能測(cè)試

電學(xué)性能測(cè)試包括測(cè)試電阻、電容與電流-電壓特性。

測(cè)試方法：用四探針法測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻，通過計(jì)算電阻率來評(píng)估材料的導(dǎo)電性能。使用LCR表測(cè)量電容，評(píng)估材料的介電性能。用源測(cè)量器測(cè)量半導(dǎo)體材料電流-電壓特性，了解和評(píng)估半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)性。

2. 光學(xué)性能測(cè)試

光學(xué)性能測(cè)試主要包括吸光度、透過率與光譜響應(yīng)的測(cè)量。

測(cè)試方法：用光纖光譜儀來測(cè)量半導(dǎo)體材料的吸光度和透過率，了解材料對(duì)光的吸收與透過能力。半導(dǎo)體材料的光譜響應(yīng)可以用光譜分析儀來，研究其在不同波長下的光學(xué)性能。

3. 結(jié)構(gòu)性能測(cè)試

半導(dǎo)體材料的結(jié)構(gòu)性能測(cè)試主要包括晶體結(jié)構(gòu)與表面形貌的測(cè)量。

測(cè)試方法：用X射線衍射儀來測(cè)量晶體的結(jié)晶結(jié)構(gòu)，從而對(duì)半導(dǎo)體材料的晶體質(zhì)量與取向進(jìn)行評(píng)估。半導(dǎo)體材料的表面形貌可以用掃描電子顯微鏡來觀察，了解材料的表面質(zhì)量與形貌特征。

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審核編輯 黃宇