光電探測器的性能指標(biāo)主要由量子效率、響應(yīng)度、光電流，暗電流和噪聲等指標(biāo)組成：

1、量子效率：

2、響應(yīng)度

定義為光電探測器產(chǎn)生光電流與入射光功率比，單位通常為 A/W。響應(yīng)度與量子效率的大小有關(guān)，為量子效率的外在體現(xiàn)。響應(yīng)度R：

3、暗電流和噪聲

光電流指在入射光照射下光電探測器所產(chǎn)生的光生電流，暗電流可以定義為沒有光入射的情況下探測器存在的漏電流。其大小影響著光接收機(jī)的靈敏度大小，是探測器的主要指標(biāo)之一。

暗電流主要包括以下幾種 ：

①耗盡區(qū)中邊界的少子擴(kuò)散電流;②載流子的產(chǎn)生-復(fù)合電流，通過在加工中消除硅材料的晶格缺陷，可以有效減小載流子的產(chǎn)生-復(fù)合電流;③表面泄漏電流，在制造工藝結(jié)束時，對芯片表面進(jìn)行鈍化處理，可以將表面漏電流降低。

當(dāng)然，暗電流也受探測器工作溫度和偏置電壓的影響。 探測器的暗電流與噪聲是分不開的 ，通常光電探測器的噪聲主要分為暗電流噪聲、散粒噪聲和熱噪聲。

4、光功率與光子數(shù)的關(guān)系：