據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，南京宙訊微電子科技有限公司（以下簡稱“宙訊微電子”）正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺，平臺專注于壓電MEMS領(lǐng)域新器件的研發(fā)和量產(chǎn)服務(wù)。該壓電MEMS平臺立足微納加工技術(shù)前沿及半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，積極布局先進(jìn)微電子器件、聲電器件、MEMS器件、RF前端器件等領(lǐng)域，以滿足電子信息、物聯(lián)網(wǎng)、小基站、北斗等技術(shù)發(fā)展對于微納加工的需求，現(xiàn)已建成集先進(jìn)工藝開發(fā)、器件工藝制備及定制化產(chǎn)品開發(fā)量產(chǎn)為一體的綜合性平臺，實現(xiàn)了新材料從微米到納米級別的結(jié)構(gòu)與器件的可控開發(fā)、加工與測試，可為客戶提供個性化的工藝技術(shù)服務(wù)及器件解決方案。

研究方向與成就

宙訊微電子壓電MEMS工藝平臺擁有聲電器件、MEMS器件、微型揚(yáng)聲器及微型聲學(xué)傳感器等領(lǐng)域領(lǐng)先的工藝研發(fā)能力。

本平臺作為國內(nèi)領(lǐng)先的射頻聲濾波器SAW/BAW研發(fā)量產(chǎn)平臺，自2021年7月正式啟動試運(yùn)行以來，已累計為多家客戶提供工藝開發(fā)或量產(chǎn)服務(wù)，累計開發(fā)產(chǎn)品50余款，出貨量超2億顆。本壓電MEMS工藝平臺已獲得ISO 9001質(zhì)量體系認(rèn)證，確保交付的產(chǎn)品達(dá)到高的質(zhì)量水準(zhǔn)。同時，本平臺擁有完善的客戶知識產(chǎn)權(quán)信息保護(hù)體系，使客戶的商業(yè)機(jī)密得到充分保護(hù)。

先進(jìn)的平臺配置

平臺依據(jù)工藝特點和功能需求，細(xì)分為光刻、薄膜沉積、薄膜刻蝕、CMP化學(xué)機(jī)械平坦、晶圓測試、晶圓植球、晶圓劃片切割、芯片倒裝、塑封、編帶測試等多項關(guān)鍵部分。每個部分都擁有獨立的加工功能，不僅促進(jìn)了加工水平的深入發(fā)展，而且通過緊密的相互關(guān)聯(lián)和支持，形成了一個貫通的壓電MEMS工藝研發(fā)與加工的全鏈條平臺。

平臺設(shè)備選型滿足6英寸全自動化晶圓量產(chǎn)需求，配備有全自動步進(jìn)式曝光機(jī)、多種鍍膜形式（電子束蒸發(fā)、摻鈧AlN磁控濺射、化學(xué)氣相沉積、薄膜修頻系統(tǒng)）、多種刻蝕方法（金屬ICP刻蝕、介質(zhì)ICP刻蝕）以及多功能的表征設(shè)備，確保技術(shù)的先進(jìn)性和產(chǎn)品的高質(zhì)量。

技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)學(xué)研合作

宙訊微電子壓電MEMS工藝平臺是全球為數(shù)不多的專注于研發(fā)MEMS器件開發(fā)和量產(chǎn)的公共平臺，目前已為全球眾多研究團(tuán)隊的項目實施提供微納加工技術(shù)服務(wù)和器件級全流程工藝整合開發(fā)。我們與海內(nèi)外多所高校、科研院所和高科技企業(yè)保持長期合作，積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)服務(wù)，擴(kuò)大與企業(yè)的產(chǎn)學(xué)研合作，利用平臺的設(shè)備、技術(shù)和人才資源優(yōu)勢，助力孵化項目和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。