4月9日，2024九峰山論壇暨化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會開幕。九峰山實驗室主任丁琪超在開幕式上向全球來賓推介實驗室，他介紹，九峰山實驗室定位于“化合物半導(dǎo)體研發(fā)和創(chuàng)新平臺”，以開放、公共、共享的價值觀，服務(wù)于全產(chǎn)業(yè)鏈和科研界。同時，他帶來了第一張8英寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓，這也是全球范圍內(nèi)目前集成度最高的光電芯片。

從“窄”到“寬”具備全鏈條研發(fā)能力

丁琪超介紹，實驗室搭建了豐富的化合物半導(dǎo)體材料體系，可以支撐從“窄禁帶”“寬禁帶”到“超寬禁帶”半導(dǎo)體一系列工藝研發(fā)過程，同時也布局了如鈮酸鋰材料、PZT材料等特色的功能性材料。

丁琪超介紹，團(tuán)隊通過一年半到兩年時間進(jìn)行建設(shè)和工藝制成調(diào)試，已全線貫通7條特色工藝線，每條工業(yè)線具備小批量產(chǎn)能，支撐科研和技術(shù)在平臺研發(fā)后可以快速進(jìn)行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化和產(chǎn)品實現(xiàn)。

丁琪超介紹，實驗室投資4億元，同步建設(shè)了一個先進(jìn)的檢測分析平臺，已具備比較先進(jìn)的芯片檢測能力。去年以來，這塊業(yè)務(wù)持續(xù)增長，為全國20多個省市的企業(yè)和單位提供了服務(wù)。

“異質(zhì)集成”能力做到全球一流

丁琪超重點介紹了實驗室的6個技術(shù)能力體系。如實驗室核心技術(shù)方向之一的“異質(zhì)集成”，能通過8英寸硅集成不同化合物半導(dǎo)體材料，發(fā)揮不同材料最優(yōu)勢特性，集成相關(guān)芯片。所以我們基本上實現(xiàn)8英寸硅基薄膜鈮酸鋰異質(zhì)集成技術(shù)。他還展示了8英寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓，這也是全球范圍內(nèi)目前集成度最高的光電芯片。

在“化合物外延”這一技術(shù)能力構(gòu)建中，實驗室已建設(shè)3000平方米外延中心，涵蓋了非常豐富的設(shè)備種類體系；在“集成微波無源器件”這一技術(shù)能力構(gòu)建中，實驗室通過人工智能最新的一些建模技術(shù)，實現(xiàn)了非常豐富的無源基于硅基射頻電路模型，精度達(dá)到小于2%誤差；在介紹“碳化硅（SiC）溝槽”技術(shù)能力時，他表示，實驗室從初期就布局溝槽型SIC技術(shù)能力，持續(xù)攻克關(guān)鍵難點工藝，例如可實現(xiàn)3μmm以上超深結(jié)構(gòu)刻蝕。他還現(xiàn)場展示了昨天剛下線的新版本的碳化硅MOSFET器件。

丁琪超介紹，針對異質(zhì)集成實驗室一直認(rèn)為的未來重點發(fā)展方向，九峰山實驗室將持續(xù)推出基于異質(zhì)集成相應(yīng)技術(shù)的實現(xiàn)和突破。同時，實驗室還發(fā)布了五個開放式基金課題，期待與更多同仁一起合作，一起推進(jìn)相應(yīng)的技術(shù)開發(fā)。

審核編輯：黃飛