近日，由中國儀器儀表學(xué)會主辦的首屆科學(xué)儀器開發(fā)者大會在山東青島成功舉辦。大會以“創(chuàng)新點亮未來”為主題，匯聚了科學(xué)儀器研發(fā)領(lǐng)域的專家學(xué)者和眾多優(yōu)秀企業(yè)代表，共同分享與探索科學(xué)儀器創(chuàng)新與應(yīng)用之道。作為國內(nèi)首家EDA上市公司、關(guān)鍵核心技術(shù)具備國際市場競爭力的EDA領(lǐng)軍企業(yè)，概倫電子也長期為客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體參數(shù)量測產(chǎn)品和解決方案。當日，概倫電子研發(fā)副總裁李淼先生受邀出席大會，并致《先進半導(dǎo)體參數(shù)量測設(shè)備的設(shè)計與應(yīng)用》主題演講。

概倫電子研發(fā)副總裁 李淼先生

務(wù)實篤行，護航應(yīng)用發(fā)展

隨著新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)的不斷發(fā)展，新型半導(dǎo)體器件和工藝的研發(fā)正面臨著更小物理尺度、更高功率密度、更復(fù)雜物理效應(yīng)和失效機制等方面的挑戰(zhàn)。測試電性、噪聲等半導(dǎo)體關(guān)鍵參數(shù)可幫助研發(fā)人員對器件性能和可靠性進行快速精確分析，為半導(dǎo)體工藝平臺開發(fā)、芯片設(shè)計和EDA應(yīng)用提供高效、高質(zhì)量、高附加值的數(shù)據(jù)支撐，進而優(yōu)化工藝配方，改進器件性能，縮短研發(fā)迭代周期。

在半導(dǎo)體器件表征儀器開發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新分會場，概倫電子研發(fā)副總裁李淼先生與業(yè)界專家就半導(dǎo)體參數(shù)量測設(shè)備在集成電路工藝控制優(yōu)化、可靠性分析等實踐應(yīng)用領(lǐng)域中的重要作用進行了探討，進一步分析了市場規(guī)模和發(fā)展趨勢、不同應(yīng)用領(lǐng)域的獨特測試需求，以及在這些需求驅(qū)動下國產(chǎn)化半導(dǎo)體參數(shù)量測設(shè)備的快速發(fā)展和技術(shù)挑戰(zhàn)，例如不斷提升基本測試模組的性能和性價比，對測試方法、測試設(shè)備與測試方案進行系統(tǒng)級優(yōu)化，甚至建立新興測試應(yīng)用領(lǐng)域的標準等。為應(yīng)對這些挑戰(zhàn)，李淼先生和與會各界一起探討了參數(shù)量測設(shè)備的產(chǎn)品與研發(fā)創(chuàng)新方向，并介紹了概倫電子自主研發(fā)的新一代半導(dǎo)體參數(shù)測試平臺和部分測試模組成果。

【圓桌討論】半導(dǎo)體器件表征儀器開發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新

李淼先生表示，概倫電子是國內(nèi)半導(dǎo)體參數(shù)量測設(shè)備開發(fā)的先行者，長期致力于為客戶提供行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體參數(shù)量測產(chǎn)品和解決方案，始終以應(yīng)用為導(dǎo)向，攜手產(chǎn)學(xué)研用各界一起，突破半導(dǎo)體領(lǐng)域新研究、新應(yīng)用的邊界，深耕技術(shù)創(chuàng)新，不斷突破關(guān)鍵量測設(shè)備的能力，推進測試能力整合與架構(gòu)創(chuàng)新。概倫電子希望利用自身在半導(dǎo)體參數(shù)量測和技術(shù)開發(fā)等領(lǐng)域的實踐經(jīng)驗，結(jié)合已具備國際市場競爭力的關(guān)鍵EDA工具，進行DTCO的應(yīng)用和創(chuàng)新探索，推動中國半導(dǎo)體參數(shù)量測的創(chuàng)新和發(fā)展。

深耕不輟，探索技術(shù)創(chuàng)新

自第一臺9812D低頻噪聲分析儀問世以來，概倫電子始終堅持以技術(shù)創(chuàng)新為核心引擎，不斷推出具有行業(yè)先進性能的半導(dǎo)體參數(shù)測試設(shè)備。2021年，概倫電子依托多年產(chǎn)學(xué)研合作優(yōu)勢，與多所科研院所、頂尖高校開展緊密合作，先后攻克多項短脈沖測試技術(shù)難題，實現(xiàn)了100ns級別的短脈沖IV（PIV）高精度測量。針對晶圓級半導(dǎo)體器件自動化測試需求，概倫電子于2023年推出了低漏電矩陣開關(guān)模塊FS821，可實現(xiàn)100fA偏移電流，支持最大200V/1A直流范圍，性能指標可達國際先進水平。概倫電子還在業(yè)界首創(chuàng)商用級動態(tài)交流噪聲測試系統(tǒng)9812AC，填補了行業(yè)產(chǎn)品在相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的空白，為探索半導(dǎo)體研究新領(lǐng)域提供了全新的專業(yè)工具。

概倫電子現(xiàn)場展示半導(dǎo)體參數(shù)測試與全自動解決方案

目前概倫電子的測試產(chǎn)品和解決方案已廣泛服務(wù)于國內(nèi)外上百家領(lǐng)先集成電路企業(yè)，覆蓋科研院所、芯片設(shè)計、晶圓代工以及IDM等多個領(lǐng)域的企事業(yè)單位，在先進工藝和器件研發(fā)和高性能模擬電路設(shè)計等多種應(yīng)用場景都有大量的成功部署案例。

在新一輪產(chǎn)業(yè)變革與國際環(huán)境的發(fā)展趨勢下，我國科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展正在快速步入新階段。在這條新征程之上，概倫電子將持續(xù)圍繞工藝與設(shè)計協(xié)同優(yōu)化進行技術(shù)和產(chǎn)品的戰(zhàn)略布局，持續(xù)對核心數(shù)據(jù)獲取技術(shù)和相關(guān)量測設(shè)備進行研發(fā)、演進和拓展，與生態(tài)伙伴一起，不斷探索測試儀器技術(shù)新邊界，激發(fā)半導(dǎo)體應(yīng)用新潛力，共同推動半導(dǎo)體行業(yè)邁向新的發(fā)展階段。