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蔡司SEM電鏡Crossbeam場發(fā)射掃描電子顯微鏡

三本精密儀器 ? 2024-07-08 17:18 ? 次閱讀

近日,國務院發(fā)布《推動大規(guī)模設備更新和消費品以舊換新行動方案》中提到,統(tǒng)籌擴大內需和深化供給側結構性改革,實施設備更新、消費品以舊換新、回收循環(huán)利用、標準提升四大行動;在實施標準提升行動方面,《行動方案》明確,聚焦汽車、家電、家居產品消費電子、民用無人機等大宗消費品,加快安全、健康、性能、環(huán)保、檢測等標準升級。

隨著《行動方案》的發(fā)布,越來越多電子廠商也在采取實際行動,積極響應政策號召。蔡司電子行業(yè)質量解決方案能夠提供一套覆蓋電子行業(yè)從研發(fā)設計到量產的全流程工業(yè)質量解決方案,助力電子廠商強化電子產品技術和質量標準提升。

隨著人們對智能終端等電子產品輕薄化和高速高頻的需求加大,電子產品的印制電路板PCB上需要搭載的元器件大幅度增加但要求的尺寸、重量、體積卻不斷縮小,因此線寬線距更小、可以承載更多功能模組的SLP技術成為PCB技術發(fā)展的一大趨勢。

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SLP(substrate-like PCB),也叫類載板(SLP),是新一代PCB硬板。SLP采用MSAP制程,可以將線寬/間距從HDI的40/50μm縮短到20/35μm,實現(xiàn)更高的線路密度。和HDI一樣,SLP也需要將盲孔填平,以利于后續(xù)的疊孔和貼裝元器件。但是MSAP工藝是在圖形電鍍下填充盲孔,容易出現(xiàn)線路均勻性差的問題, 線路中過厚的銅區(qū)域會導致夾膜,圖形間的干膜無法完全去除, 閃蝕后會造成銅殘留從而導致短路。

蔡司 Crossbeam 將場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒的強大成像和分析性能與新一代聚焦離子束(FIB)的優(yōu)異加工能力相結合,快速檢查SLP內層線路間的殘留銅情況。通過飛秒激光系統(tǒng),快速到達感興趣的深埋位置,大幅度提升樣品分析效率。值得一提的是,激光加工在獨立的艙室內完成,不會污染電鏡主艙室和探測器。Crossbeam電鏡還可以與三維X射線顯微鏡進行關聯(lián),精準定位深埋在樣品內部的缺陷區(qū)域。

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