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真空回流焊爐/真空焊接爐——倒裝芯片焊接

成都共益緣 ? 2024-09-25 09:38 ? 次閱讀

倒裝芯片焊接(Flip-Chip)技術(shù)是一種新興的微電子封裝技術(shù),它是將芯片功能區(qū)朝下以倒扣的方式背對(duì)著封裝基板通過(guò)焊料凸點(diǎn)與封裝基板進(jìn)行互聯(lián),芯片放置方向與傳統(tǒng)封裝功能區(qū)朝上相反,故稱倒裝芯片。

wKgZombzYt-AO6q2AAViGkSG6mc247.png圖1.倒裝芯片封裝基本結(jié)構(gòu)

倒裝芯片焊接極大地提高了電子器件的集成度,與傳統(tǒng)的引線鍵合技術(shù)(Wire Bonding)相比,倒裝芯片焊接技術(shù)鍵合焊區(qū)的凸點(diǎn)電極不僅僅沿芯片四周邊緣分步,還可以通過(guò)再布線實(shí)現(xiàn)面陣分步,因此倒裝芯片焊接技術(shù)具備以下優(yōu)點(diǎn):

(1)尺寸小、薄,重量更輕。
(2)密度更高,單位面積內(nèi)的I/O數(shù)量更多。(I/O,Input/Output,輸0入/輸出,計(jì)算機(jī)接口
(3)性能更好,更短的互連減小了電感、電阻以及電容信號(hào)的完整性、頻率特性更好。
(4)散熱能力更好,倒裝芯片沒(méi)有塑封體,芯片背面可用散熱片等進(jìn)行有效的冷卻,使電路的可靠性提高。
(5)倒裝凸點(diǎn)等制備基本以圓片、芯片為單位,相較單根引線為單位的引線鍵合互連來(lái)講生產(chǎn)效率更高,還降低了批量封裝的成本。

但是由于倒裝芯片需要在晶圓上制造凸點(diǎn),所以工藝也相對(duì)復(fù)雜,需要技術(shù)人員對(duì)此有所研究;如果芯片不是專門為倒裝工藝設(shè)計(jì)的,還需要設(shè)計(jì)和加工再分步層;而且由于倒裝芯片更容易受到溫度變化的影響,所以需要更多地考慮如何良好匹配芯片和基板的熱膨脹系數(shù),對(duì)熱分析有更高的要求。

倒裝芯片封裝技術(shù)一般是采用平面工藝在集成電路芯片的I/O端制作凸點(diǎn),將芯片上的凸點(diǎn)與基板上的焊盤進(jìn)行對(duì)位,貼裝,然后使用焊料回流工藝在芯片和基板焊盤間形成焊球,再在芯片和基板焊盤間形成焊球,再在芯片與基板間的空隙中填充底部填充膠,最終實(shí)現(xiàn)芯片與基板間的電,熱和機(jī)械連接。

wKgZombzY9qAFLCTAAC3_uRVaD0170.png圖2.倒裝芯片封裝工藝

其中,芯片上制作凸點(diǎn)和芯片倒裝焊接工藝是推廣倒裝芯片焊接的技術(shù)關(guān)鍵。

凸點(diǎn)制作工藝很多,如蒸發(fā)/濺射法、焊膏印刷-回流法、化鍍法、電鍍法、釘頭法、置球凸點(diǎn)法(SB2-Jet)等。各種凸點(diǎn)制作工藝各有其特點(diǎn),關(guān)鍵是要保證凸點(diǎn)的一致性。特別是隨著芯片引腳數(shù)的增多以及對(duì)芯片尺寸縮小要求的提高,凸點(diǎn)尺寸及其間距越來(lái)越小,制作凸點(diǎn)時(shí)又不能損傷脆弱的芯片。現(xiàn)在主流應(yīng)用的凸點(diǎn)制作方法是印刷/轉(zhuǎn)寫—搭載—回流法。該方法是通過(guò)網(wǎng)板印刷或針轉(zhuǎn)寫的方式把助焊劑涂到芯片表面后,通過(guò)搭載頭把錫球放置到涂有助焊劑得焊點(diǎn)上,再進(jìn)入回轉(zhuǎn)爐固化。

wKgZombzZEWAfbOPAAIzuJ621ko418.png圖3.凸點(diǎn)示意圖

倒裝焊接工藝目前應(yīng)用較多的有熱壓焊、超聲焊、膠粘連接等。熱壓焊要求把芯片放在基板上時(shí)要做到加壓加熱同時(shí)進(jìn)行,該工藝簡(jiǎn)單,焊接溫度低,無(wú)需使用焊劑,能實(shí)現(xiàn)細(xì)間距連接,但是由于熱壓壓力較大,僅適用于剛性基底(如氧化鋁或硅),而且基板必須保證高的平整度,熱壓頭也要有高的平行度,為了避免半導(dǎo)體材料受到不必要的損害,設(shè)備施加壓力時(shí)必須要有精確的梯度控制能力。另一種超聲焊是指超聲熱壓焊,是指將超聲波應(yīng)用在熱壓連接中,使焊接過(guò)程更加快速,超聲波的引入會(huì)使連接材料迅速軟化,易于實(shí)現(xiàn)塑性變形,該工藝可以降低連接溫度,縮短加工處理的時(shí)間,但由于超聲震動(dòng)過(guò)強(qiáng),可能在硅片上形成小的凹坑,主要適用于金凸點(diǎn)、鍍金焊盤的組合。

除了上述介紹的工藝外,這里還推薦成都共益緣的匹配了正負(fù)壓焊接工藝的真空回流焊爐/真空焊接爐,具體操作流程和原理可參考之前的文章《真空回流焊爐/真空焊接爐——正負(fù)壓焊接工藝詳解》。使用此工藝可以使芯片免受污染,不受壓力變化,不會(huì)損壞芯片,同時(shí)得益于正負(fù)壓焊接工藝的優(yōu)越性,焊接處強(qiáng)度高,不脫焊;熱導(dǎo)率高;空洞率低,有128段工藝段可摸索,最低可達(dá)<1%。

wKgaombzZKOANP4RAAT7A8tOaQo910.pngwKgaombzZK6AfvBpAAOA2rmCeAU397.pngwKgZombzZPSALwgqAAMNnqaF_6o145.png圖4.5.6.深圳某客戶LED倒裝芯片焊接 空洞率檢測(cè)幾乎為0

關(guān)于芯片倒裝焊接的介紹就到這里,若有不當(dāng)之處歡迎各位朋友予以指正和指教;若與其他原創(chuàng)內(nèi)容有雷同之處,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們將及時(shí)處理。我司的真空回流焊爐/真空焊接爐可滿足芯片倒裝焊接的要求,同時(shí)搭載我司持有的“正負(fù)壓焊接工藝”專利,可使焊接結(jié)果完美達(dá)到您的要求,如您感興趣,可與我們聯(lián)系共同討論,或前往我司官網(wǎng)了解。

成都共益緣真空設(shè)備有限公司

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