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石墨舟氮?dú)夤瘢喊雽?dǎo)體制造中的關(guān)鍵保護(hù)設(shè)備

沐渥科技 ? 2024-11-04 16:40 ? 次閱讀

石墨舟是一種由高純度石墨材料制成的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池片等的制造過(guò)程中,用于承載硅片或其他基板材料通過(guò)高溫處理。石墨舟因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性而成為這一領(lǐng)域的理想選擇。然而,石墨舟對(duì)環(huán)境條件十分敏感,特別是對(duì)空氣中的氧氣和濕氣。

存放條件的重要性
防氧化:石墨舟在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng),尤其在高溫處理后更加敏感。長(zhǎng)期暴露于空氣中會(huì)導(dǎo)致石墨舟表面性質(zhì)改變,影響其使用性能。
防潮:石墨舟具有一定的吸附性,在潮濕環(huán)境中會(huì)吸收水分,進(jìn)而影響其性能。
防污染:存放環(huán)境應(yīng)保持潔凈,避免灰塵或污染物的積累,以免影響石墨舟的純凈度。
防紫外線:避免石墨舟直接暴露在陽(yáng)光下,因?yàn)樽贤饩€可能對(duì)石墨材料造成損害。

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石墨舟氮?dú)夤竦奶攸c(diǎn)與功能
防氧化保護(hù):通過(guò)充入氮?dú)鈦?lái)降低柜內(nèi)氧氣濃度,有效防止石墨舟表面氧化。
防潮防濕:創(chuàng)造一個(gè)干燥的環(huán)境,避免濕氣對(duì)石墨舟的影響。
精確控制氣體環(huán)境:配備精確的氮?dú)饬髁靠刂坪捅O(jiān)測(cè)系統(tǒng),可調(diào)節(jié)和監(jiān)控柜內(nèi)氮?dú)鉂舛?、濕度、氧氣含量?a target="_blank">參數(shù)
高質(zhì)量密封材料:采用高質(zhì)量的密封材料,提高柜門、接口等部位的密封性,減少氮?dú)庑孤?br />耐腐蝕、耐高溫材料制造:通常使用不銹鋼材質(zhì),具備良好的耐腐蝕性能、高強(qiáng)度、易于清潔和維護(hù)。
智能化操作:配有智能化控制系統(tǒng),支持觸摸屏或電子鍵盤操作,提供氮?dú)鉂舛日{(diào)節(jié)、溫濕度監(jiān)測(cè)、報(bào)警提示等功能。
安全保護(hù):具備安全保護(hù)功能,有效預(yù)防事故和物料泄漏。

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使用注意事項(xiàng)
輕拿輕放:石墨舟較為脆弱,應(yīng)避免摔落和碰撞。
清潔烘干:存放前需清潔并烘干石墨舟,去除表面的氧化層和污垢。
石墨舟氮?dú)夤袷谴_保石墨舟性能和使用壽命的關(guān)鍵設(shè)備,尤其在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、LED、電子、化工等行業(yè)中,它對(duì)于保護(hù)材料或產(chǎn)品免受潮濕、氧化和污染具有重要作用。石墨舟氮?dú)夤竦脑O(shè)計(jì)和制造遵循嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn),確保其在高科技制造業(yè)中的耐用性、清潔度及安全性,對(duì)提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要

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