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揭秘 Sensofar CSI 白光干涉是如何運作的?

邱方瑩 ? 來源:jf_52083384 ? 作者:jf_52083384 ? 2024-11-25 16:49 ? 次閱讀

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為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度,通過干涉技術(shù),可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲,它可實現(xiàn)優(yōu)于 0.01 nm 的系統(tǒng)噪聲。

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干涉工作原理

干涉技術(shù)的工作原理是:將光分成光學(xué)傳播路徑不同的兩個光束,然后再合并,從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作;焦點對準后,可在樣本上觀察到條紋。

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CSI (白光干涉)使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,任何放大倍率下均達到 1 nm 的高度分辨率。

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采用干涉法,3D 測量能以高精度進行。可沿 Z 軸掃描,在整個樣本上獲得條紋,用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像。


如需了解詳細情況,請咨詢邱經(jīng)理17701039158(同微信)。

審核編輯 黃宇

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