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晶圓料號打標的方式及激光打標的原理

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:Tom聊芯片智造 ? 2024-12-16 16:48 ? 次閱讀

本文介紹了晶圓料號打標的方式以及激光打標的原理。

晶圓為什么要打標?

晶圓在制造過程中有數(shù)百道工藝步驟,標記使得每片晶圓能夠在不同階段進行身份識別,有助于追朔,生產(chǎn)管理,數(shù)據(jù)收集分析,防止混淆等功能。

晶圓的標打在哪里?

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如上圖,一般在晶圓邊緣的flat 或notch附近,正反面均可。

為什么用激光而不用油墨?

1、激光打標潔凈度更高,油墨在操作過程中會對晶圓有污染;

2、油墨容易被有機類容易去除掉,導(dǎo)致失去標記功能;

3、激光的精度更高,能夠生成微小的文字、條形碼等。

激光打標的原理是什么?

激光束直接作用在材料表面,使其局部溫度迅速上升到氣化點,使材料表面物質(zhì)瞬間氣化并消失,從而在表面留下凹痕。

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原文標題:晶圓料號為什么用激光打標而不用油墨?

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導(dǎo)體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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