在剛剛結(jié)束的2024 第九屆 “創(chuàng)客中國” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中,青島芯笙微納電子科技有限公司(以下簡稱:青島芯笙公司)做為青島唯一、山東唯二的企業(yè),從全國3.5萬個大賽參賽入庫項目、5009個專精特新企業(yè)、785個專精特新“小巨人”企業(yè)中脫穎而出,入圍前50強(qiáng),并榮獲三等獎。
一、創(chuàng)客中國,榮耀綻放
“創(chuàng)客中國”中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽是工業(yè)和信息化部與財政部聯(lián)合主辦的大賽。旨在圍繞產(chǎn)業(yè)鏈,部署創(chuàng)新鏈,配置資金鏈,已成為全國具有廣泛影響力的大型賽事之一。歷年來,諸多優(yōu)秀企業(yè)和創(chuàng)新團(tuán)隊通過“創(chuàng)客中國”創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽展現(xiàn)實力,從而得到了能力提升、社會認(rèn)可和政策支持,實現(xiàn)了快速的成長和發(fā)展。
在第九屆 “創(chuàng)客中國” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中,青島芯笙公司在青島市決賽中獲得一等獎,在全國總決賽中斬獲三等獎。其參賽項目“半導(dǎo)體核心零部件:氣體流量測控技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”,以自主開發(fā)為基礎(chǔ),研制高端氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品,滿足半導(dǎo)體制造過程對高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性以及快速響應(yīng)的嚴(yán)格要求,保證半導(dǎo)體工藝過程準(zhǔn)確性和產(chǎn)品一致性。該產(chǎn)品為國內(nèi)首款基于全國產(chǎn)品技術(shù)的高端MFC,其國產(chǎn)化對于打破半導(dǎo)體裝備核心零部件的關(guān)鍵技術(shù)壁壘,對促進(jìn)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大意義。
此次獲獎,充分展示了青島芯笙公司卓越的研發(fā)實力和創(chuàng)新能力,也彰顯了基于自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn) MFC在行業(yè)的引領(lǐng)地位和產(chǎn)業(yè)的認(rèn)可。
二、筑牢根基,持續(xù)創(chuàng)新
青島芯笙公司,孵化自山東大學(xué),是一家致力于高端氣體流量測控技術(shù)的國家高新科技企業(yè),目標(biāo)成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體零部件供應(yīng)商。其核心團(tuán)隊來自新加坡科技局、德國 KIT理工學(xué)院、中國科學(xué)院、清華大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、山東大學(xué)等國內(nèi)外重點(diǎn)科研機(jī)構(gòu),掌握核心流量傳感芯片、模組、算法、系統(tǒng)集成等全鏈條自主核心技術(shù)。
自2020年成立以來,青島芯笙公司針對半導(dǎo)體、實驗室、泛半導(dǎo)體、分析儀行業(yè)分別推出極具性價比的S700、S500、S300、UT等系列產(chǎn)品,解決國家在關(guān)鍵零部件領(lǐng)域卡脖子技術(shù)問題,在諸多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)化替代。經(jīng)過多年發(fā)展,公司已形成完備的研發(fā)和制造能力,同時建研發(fā)車間 800 平米,制造車間 4000 平米,以及 100 余臺流量校準(zhǔn)設(shè)備,累計投入超過8000萬元。公司具有 ISO9001、ISO14001 等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證,能夠確保產(chǎn)品的品質(zhì)和制造的規(guī)范化。
目前,青島芯笙公司自主申請專利 30余項,國家一級計量證書 50 余項。在國家技術(shù)攻關(guān)領(lǐng)域,公司承擔(dān)了科技部重點(diǎn)研發(fā)計劃 項目3項、山東省重大科技創(chuàng)新工程項目1 項、青島市關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)項目1項。此外,公司建有 “青島芯笙 - 山東大學(xué)傳感器測控聯(lián)合實驗室”、“青島市氣體流量測控技術(shù)重點(diǎn)實驗室”、“專家工作站” 等多個研發(fā)平臺。這些成果和平臺為公司的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力保障。
三、全新產(chǎn)品,對標(biāo)國際一流
近日,青島芯笙公司在氣體質(zhì)量流量控制器方面取得重大突破,攻克了長期以來阻礙國產(chǎn)半導(dǎo)體級MFC發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)壁壘,成功開發(fā)出基于高速壓電比例閥的半導(dǎo)體級 MFC 產(chǎn)品。這一突破對于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至關(guān)重要,目前國內(nèi)主流的MFC產(chǎn)品采用傳統(tǒng)的電磁比例閥技術(shù),性能參數(shù)差,產(chǎn)品力不足,無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應(yīng)的需求。而日本Horiba、美國MKS、荷蘭Bronkhorst等業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)已然推出基于壓電比例閥的半導(dǎo)體級MFC產(chǎn)品。相較而言,壓電比例閥響應(yīng)快,控制精度高,能夠?qū)崿F(xiàn)氣體流量的快速調(diào)整,滿足半導(dǎo)體制造過程對快速響應(yīng)的要求。同時,壓電比例閥功耗和熱噪聲低,減少了能源消耗和對環(huán)境的影響。
為滿足不同應(yīng)用需求,青島芯笙公司為新產(chǎn)品匹配了兩種版本:DF500和S700。其中,DF500采用層流差壓技術(shù)方案,在控制范圍和小流量精度更有優(yōu)勢;S700采用毛細(xì)管熱式技術(shù)方案,具有更寬的量程選擇和工作溫度。兩種版本均采用了國際領(lǐng)先的高速壓電比例閥和SEMI標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì),并配備了壓力不敏感(PI)技術(shù)和公司最新研發(fā)的自適應(yīng)動態(tài)控制算法,可在全量程流量范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度快速控制,完美適配 7nm、14nm 及以上工藝節(jié)點(diǎn)的 Etch、ALD、CVD 等半導(dǎo)體工藝設(shè)備。
四、任重道遠(yuǎn),揚(yáng)帆破浪
在半導(dǎo)體級MFC這個賽道上,我國研究起步較晚,技術(shù)和產(chǎn)品受制于西方國家,嚴(yán)重威脅著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的鏈條完整性和安全性。目前,青島芯笙公司在避開國外專利的情況下,實現(xiàn)技術(shù)突破,已經(jīng)完成了從0到1的難題,接下來是如何更好地實現(xiàn)從1到100的躍升。
“創(chuàng)客中國” 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽的殊榮是對青島芯笙公司前期成果的肯定,也象征著國內(nèi)技術(shù)水平的提升。然而,“任重道遠(yuǎn)須策馬,風(fēng)正潮平好揚(yáng)帆”,未來,青島芯笙公司將繼續(xù)發(fā)揮自身優(yōu)勢,提高自身在全球高科技領(lǐng)域中的競爭力,為中國半導(dǎo)體行業(yè)的健康發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。
審核編輯 黃宇
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