曝光機是什么

紫外線曝光機是指通過開啟燈光發(fā)出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的機器設備。

曝光機工作原理

在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

曝光機用途

更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強范圍：8mW/cm2~40mW/cm2。

支持恒定光強或恒定功率模式。

廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。

常見曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。

曝光機操作注意事項及規(guī)程

一、開機前注意事項：

1、檢查氣密調(diào)壓閥﹑輔助氣缸壓力閥﹑燈頭吃氣流量計顯示器是否正常，各光電按鈕是否靈敏；

2、檢查冰水水箱水位是否在限值范圍內(nèi);水泵電源開關(guān)﹑真空電源開關(guān)的狀態(tài)是否正常；

3、檢查機器臺面﹑曝光框內(nèi)（外）﹑履帶線槽﹑傳動皮帶是否有異物或者堵塞。

二、操作時注意事項：

1、開機程序：主電源燈室冰水機冷風扇點燈；

2、檢查機臺開機后冰水機有無開啟，上（下）水套是否正常；

3、點燈達到穩(wěn)定狀態(tài)后，電流﹑電壓是否達到正常值；

4、若出現(xiàn)停水時，應立即停止生產(chǎn)，將燈管熄滅，進行維修檢查；

5、若停點立即關(guān)閉主電源；

6、曝光燈管出現(xiàn)異常時，必須停機短電進行更換作業(yè)；

7、若有緊急情況發(fā)生時，按下“緊急停止按鈕”，然后關(guān)閉設備，緊急情況處理完畢后，依開機程序開啟機器；

8、新員工（無上崗證）不可單獨作業(yè)，須由輔導員在現(xiàn)場指導。

三、關(guān)機注意事項

1、關(guān)機前，先確認燈管是否在熄燈狀態(tài)；

2、熄燈后不可立即關(guān)閉冰水泵，須等待15分鐘，燈管冷卻后方可關(guān)閉冰水泵；

3、確認曝光框架是否關(guān)閉；

4、檢查機臺后方冷凝水是否已滿。并清理承接桶內(nèi)的冷凝水；

5、做好工作區(qū)域的“6S”工作。

四、維修保養(yǎng)注意事項：

1、進行保養(yǎng)作業(yè)時，必須保持曝光機為停機狀態(tài)；

2、進行維修保養(yǎng)作業(yè)時，必須穿帶必要的防護用品；

3、機器設備維修時，應在開機按鈕處張貼“機器維修中，請勿啟動”等標識；

4、機器設備維修時，禁止其它人員對電腦軟件進行操作；

5、保養(yǎng)時，檢查氣缸的壓力和密閉性，水箱是否漏水或堵塞；

6、檢查各部位滑動軌道及滑座潤滑度；

7、檢查各部位電源配線連接有無松脫斷裂；

8、檢查燈管燈座連接是否松脫或接觸不良。