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用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計(jì)耐久的MEMS開關(guān)

MEMS ? 來源:cg ? 2019-01-07 14:34 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,賓厄姆頓大學(xué)(Binghamton University)、紐約州立大學(xué)(State University of New York)的研究人員開發(fā)出了一種使手機(jī)和電力線更耐久的方法。


賓厄姆頓大學(xué)機(jī)械工程助理教授Sherry Towfighian和研究生Mark Pallay開發(fā)了一款新型MEMS開關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)?!八惺謾C(jī)都在使用MEMS開關(guān)進(jìn)行無線通信,但傳統(tǒng)MEMS開關(guān)只有兩個(gè)電極,”Towfighian說,“這些開關(guān)在一個(gè)小時(shí)內(nèi)會多次打開和閉合,因此這種雙電極系統(tǒng)會限制它們的使用壽命?!碑?dāng)兩個(gè)電極在多次重復(fù)后接觸時(shí),底部電極的表面會損壞,從而導(dǎo)致MEMS開關(guān)必須丟棄和更換。一些研究人員試圖通過在電極上添加凹痕或著觸墊來減少電極碰撞時(shí)的接觸面積,以避免這種損傷,但Towfighian解釋稱,這只能延緩材料的最終損壞。

她想打造一種完全避免損壞的系統(tǒng)。她沒有遵循傳統(tǒng)的雙電極模型,而是設(shè)計(jì)了一種底部有三個(gè)電極的MEMS開關(guān),這三個(gè)電極平行安置。底部右側(cè)和左側(cè)的兩個(gè)電極接電,而中間和頂部電極接地。Towfighian解釋說:“這種MEMS開關(guān)通常是閉合的,但是側(cè)電極提供了一個(gè)強(qiáng)大的向上力,可以克服兩個(gè)中間電極之間的力并打開開關(guān)?!边@種被稱為靜電懸浮的力,目前在雙電極系統(tǒng)中是無法實(shí)現(xiàn)的。這種力可防止器件在連續(xù)使用后永久損壞,并可實(shí)現(xiàn)可靠的雙向開關(guān)?!皩τ谑謾C(jī)來說,這種設(shè)計(jì)意味著更長的壽命和更少的部件更換,”Towfighian說,“對于電力線,當(dāng)電壓超過極限,我們想打開開關(guān)時(shí),這種類型的MEMS開關(guān)會很有用。這種設(shè)計(jì)使我們能夠有更可靠的開關(guān)來監(jiān)測異常的電壓高峰,就像地震造成的情況,會對公眾安全造成威脅?!边@項(xiàng)名為“采用靜電懸浮的高可靠MEMS開關(guān)”的研究成果已經(jīng)發(fā)表于近期的《應(yīng)用物理學(xué)快報(bào)》。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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原文標(biāo)題:研究人員利用靜電懸浮設(shè)計(jì)了一款更耐久的MEMS開關(guān)

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