0 引言

　　PSD作為一種精密的光電位置傳感器，具有靈敏度高、響應(yīng)時(shí)間短、位置分辨率高、光譜響應(yīng)范圍大等特點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光電檢測(cè)技術(shù)中，尤其是高精度、高速度的數(shù)據(jù)采集技術(shù)中。如何在極短的響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)多數(shù)據(jù)的采集，成了采集PSD輸出數(shù)據(jù)的關(guān)鍵。本文基于單片機(jī)技術(shù)，設(shè)計(jì)搭建了一套高速的PSD輸出數(shù)據(jù)采集及控制電路，通過在實(shí)驗(yàn)室條件下對(duì)PSD輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行采集，從而為后續(xù)的PSD定位精度以及抗干擾研究奠定理論基礎(chǔ)。

　　1 PSD 的工作原理

　　光電位置敏感器件PSD（Position Sensitive Detector）是一種基于橫向光電效應(yīng)、連續(xù)分布的半導(dǎo)體位置探測(cè)器件，能快速、準(zhǔn)確給出入射光點(diǎn)在光敏面上的位置，即PSD輸出的信號(hào)與光點(diǎn)在光敏面上的位置有關(guān)。如圖1所示，表面P+層為感光面，兩邊各有一信號(hào)輸出電極。中間為I層，底層的公共電極用于加反向偏壓。當(dāng)光線入射到光敏面上時(shí)，由于與結(jié)面平行的橫向電場(chǎng)作用，光生載流子形成向兩端電極流動(dòng)的電流X1 和X2，且總電流X0 = X1 + X2.

　　當(dāng)入射光斑與兩電極的間距發(fā)生變化時(shí)，兩電極的輸出電流也隨之變化，從而實(shí)現(xiàn)了位置測(cè)量功能。

　　如圖2 所示，如果PSD 的面電阻是均勻的，且阻值R1 和R2 遠(yuǎn)大于負(fù)載電阻RL，則R1 和R2 的值僅取決于光點(diǎn)的位置，即：

　　式中：L 為PSD 中點(diǎn)到信號(hào)電極的距離；x 為入射光點(diǎn)到PSD中點(diǎn)的距離。

　　將X0 = X1 + X2 代入式（1），即可得到光點(diǎn)坐標(biāo)：

　　顯然上式與入射光強(qiáng)X0 無關(guān)，這就是一維PSD 的定位原理。二維PSD的基本原理與一維PSD相同，只是計(jì)算公式不同。

　　2 PSD 的選取

　　本文選取的是瑞典SiTek公司出品的SPC01光電位置傳感器。它是一款二維兩面分流型PSD，采用PSD使用厚膜技術(shù)制造，將PSD 傳感器與處理電路集合為一體，處理電路只有前置放大、加法器和減法器，其處理電路框圖如圖3所示。

　　將輸出電壓Diff X、Diff Y 和Sum X、Sum Y 與二維位置的關(guān)系式為：

　　因此，采集對(duì)象為Diff X、DiffY、Sum X、Sum Y 四個(gè)輸出量，通過對(duì)四輸出量的采集，便可運(yùn)用原理運(yùn)算來實(shí)現(xiàn)PSD在二維坐標(biāo)下的位置數(shù)據(jù)。