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有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備 Organic material
有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式, 用于將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上. 該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實(shí)現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性.
為了達(dá)到此要求, 有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或PBN坩堝來容納有機(jī)材料以及PID控制器來控制其沉積速率. 該系統(tǒng)通常用于有機(jī)電子研究領(lǐng)域, 例如 OPV, OLED, OPD...
封裝系統(tǒng): 上海伯東代理有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備針對研究等級的實(shí)驗(yàn)室, 推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機(jī)構(gòu). 整合涂膠系統(tǒng) (UV或liquid gate) 和紫外光燈可安裝于手套箱或是獨(dú)立的一個壓合腔體內(nèi), 且可手動進(jìn)行放片, 也可以透過自動傳片系統(tǒng)使用. 可撓式 OLED 必須輕薄且具有可撓曲性, 因此過往的玻璃材料并不適合用于此類的封裝, 必須采用薄膜封裝技術(shù) (Thin-Film Encapsulation, TFE)或混和封裝技術(shù), 針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積, 原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設(shè)備, 且使用低溫的沉積技術(shù), 分別在OLED 上堆棧多層薄膜 (SiNX, SiOXNX, Al2O3, ZnO, Parylene) 并得到更好的保護(hù)層, 以減少水氧對于有機(jī)組件的影響, 從而提高OLED面板的壽命和性能.
配置和優(yōu)點(diǎn):
客制化的基板尺寸, 最大直徑為12寸晶圓或 470 x 370 mm2 (玻璃)
優(yōu)異的薄膜均勻度小于±3%
用于有機(jī)材料的蒸發(fā)源（可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝）
鍍率自動控制: 最小值為 0.01?/s
蒸發(fā)源溫度控制可達(dá)到精度 ±0.1oC
具有順序操作或共沉積的多個蒸發(fā)源
用 CCD 對位將玻璃基板和屏蔽的位置對準(zhǔn)在 ±5μm以內(nèi)
每個蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板, 百葉窗
金屬熱蒸鍍設(shè)備基本參數(shù):
| 系統(tǒng)類型 | 超高真空 | 高真空 | 高真空緊湊型 |
| 腔室設(shè)計(jì) | 鎳墊圈密封 | O型圈密封 | O型圈密封 |
| 極限真空 | 5X10-9 Torr | 3X10-7 Torr | 5X10-7 Torr |
| 腔室密封 | 一些密封圈 | 全部密封圈 | 全部密封圈 |
| Load-lock | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 可選 |
| 蒸發(fā)源 | 舟型或坩堝 7-25 cc | 舟型或坩堝 7-25 cc | 舟型或坩堝 7-25 cc |
| 基板 | 4-8 英寸 加熱 / 水冷 | 4-8 英寸 加熱 / 水冷 | 2-4 英寸 加熱 / 水冷 |
| 真空泵 | 低溫泵 / 分子泵 冷阱設(shè)計(jì) | 低溫泵 / 分子泵 冷阱設(shè)計(jì) | 分子泵和油泵 |
| 監(jiān)控 | 真空規(guī) 和 QCM | 真空規(guī) 和 QCM | 真空規(guī) 和 QCM |
| 工藝控制 | 速率控制 | 速率控制 | 速率控制 |
| 供氣 | 氮?dú)?/td> | 氮?dú)?/td> | 氮?dú)?/td> |
| 手套箱連接 | 可選 | 可選 | 可選 |
腔體
由304不銹鋼所制成，通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進(jìn)行水冷
寬大的前開式門, 并有兩個窗口和窗口遮版用于觀察基材和蒸發(fā)源
一個熱蒸發(fā)腔體內(nèi)，最多可容納12組熱蒸發(fā)源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr
選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
殘留氣體分析儀
應(yīng)用領(lǐng)域
有機(jī)發(fā)光二極管
有機(jī)光伏打電池
材料科學(xué)研究
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