美國 KRi 大面積射頻離子源

型號： RFICP 220

--- 產品參數 ---

品牌 KRi
產地美國
類型 RF射頻源

--- 產品詳情 ---

因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準

KRi 射頻離子源 RFICP 220
上海伯東代理美國原裝進口 KRi 射頻離子源 RFICP 220 高能量柵極離子源, 適用于離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻. 在離子束濺射工藝中, 射頻離子源 RFICP 220 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務. 標準配置下射頻離子源 RFICP 220 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 1000 mA.

KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

KRI 射頻離子源 RFICP 220 基本尺寸

KRI 射頻離子源 RFICP 220 應用領域：
預清洗
表面改性
輔助鍍膜 (光學鍍膜) IBAD,
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

射頻離子源 RFICP 220 集成于半導體設備, 實現 8寸芯片蝕刻

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產寬束離子源, 根據設計原理分為考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發(fā)展已取得多項專利. KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光工藝 IBF 等領域, 上海伯東是美國 KRi 考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進一步的了解 KRI 射頻離子源, 請聯絡上海伯東葉女士,分機107
上海伯東版權所有, 翻拷必究！

為你推薦

產品文章方案

inTEST 芯片高低溫沖擊熱流儀2024-10-18 13:59

產品型號：ATS-535 產地：美國溫度范圍：-60 至+ 225°C 特點：集成空壓機
inTEST BT28 桌面型高低溫沖擊熱流儀2024-09-12 13:56

產品型號：inTEST BT28 溫度范圍：-28° 至 +225°C 溫度顯示和分辨率：+/- 0.1°C
離子束刻蝕機 20 IBE-J2024-09-12 13:51

產品型號：20 IBE-J 特點：干法物理納米級刻蝕射頻角度：可以任意調整
inTEST Sigma M256 高低溫試驗箱2023-12-01 10:58

產品型號：Sigma M256 產地：美國腔室體積：255 L
inTEST Sigma M170 高低溫試驗箱2023-12-01 10:55

產品型號：Sigma M170 產地：美國溫度范圍：-185°C 至 400°C 腔室體積：165 L
inTEST Sigma M58 高低溫試驗箱2023-12-01 10:19

產品型號：Sigma M58 產地：美國寬溫度范圍：-185 °C 至 500°C 腔室體積：59 L
inTEST Sigma M10 高低溫試驗箱2023-12-01 10:06

產品型號：Sigma M10 產地：美國寬溫度范圍：-185°C 至 500°C 腔室體積：10 L
inTEST Sigma 高低溫試驗箱, 溫度環(huán)境試驗箱2023-12-01 09:39

產品型號：Sigma 品牌：inTEST 產地：美國溫度范圍：-185°至 +500°C
普發(fā)分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

產品型號：SplitFlow 產地：德國
普發(fā)分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

產品型號：HiPace 80 Neo 產地：德國

Gel-Pak VRP 可變黏度防靜電真空釋放盒2024-10-18 14:19

上海伯東美國 Gel-Pak VRP 真空釋放盒相對于傳統(tǒng)的真空釋放 Vacuum Release 芯片盒, 有著優(yōu)異的防靜電性能, 但在使用中發(fā)現, VRP 的最低黏度 EH02 （對標 VR 的 XL 黏度）在一些特定的應用中存在黏度偏高的問題, Gel-Pak 針對這個問題提出了 VRP 防靜電真空釋放盒可變黏度的解決方法, 滿足高寬深比器件, 微機電

VRP 芯片防靜電
198瀏覽量
氦質譜檢漏儀 ASM 340W 鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏系統(tǒng)2024-09-13 10:53

上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340W 適用于動力電池行業(yè)和汽車行業(yè)的檢漏系統(tǒng), 提供鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏, 汽車壓縮機真空檢漏解決方案.

動力電池檢漏儀鋰電池
325瀏覽量
KRi 霍爾離子源 EH 2000 望遠鏡鏡片光學鍍膜應用2024-09-13 10:38

上海伯東美國 KRi 大尺寸霍爾離子源 EH 2000 安裝于高性能電子束光學鍍膜機, 實現 300 mm 望遠鏡鏡片鍍膜.

光學鏡片望遠鏡電子束
262瀏覽量
美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀助力半導體芯片研發(fā)2024-09-13 10:19

上海伯東代理美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀兼容各品牌半導體測試機, 可正確評估與參數標定芯片開發(fā), 器件或模塊研發(fā), 品質檢查, 第三方認證, 失效分析, FAE 等幾乎所有流程, 高低溫沖擊測試作為一種常見的測試手段, 適用于 IGBT, MOSFET, 三極管, 二極管等各類半導體特性測試.

半導體芯片高低溫測試高低溫測試機
460瀏覽量
離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用2024-09-12 13:31

口離子束刻蝕機 IBE 可以很好的解決傳感器 MEMS 的刻蝕難題, 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀, 刻蝕那些很難刻蝕的硬質或惰性材料.

mems 傳感器離子束
375瀏覽量
氦質譜檢漏儀應用于半導體新材料和設備管道檢漏2023-11-09 15:31

上海伯東提供半導體新材料和設備管道檢漏解決方案, 助力企業(yè)生產高質量的六氯乙硅烷 Si?Cl?. 六氯乙硅烷廣泛應用于有機硅化合物的合成, 電子半導體材料制造.

半導體新材料設備
352瀏覽量
氦質譜檢漏儀應用于真空鍍膜生產線2023-08-07 14:35

Si3?N4 氮化硅鍍膜系統(tǒng). 在某次維護之后, 抽真空時只能達到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點.

檢漏儀模式系統(tǒng)
761瀏覽量
Gel-Pak VR真空釋放盒應用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

50V GaN HMET 芯片采用上海伯東美國 Gel-Pak VR 真空釋放盒進行包裝, Gel-Pak 采用了無殘膠的膜技術, 可以將芯片牢固地固定住, 避免在運輸和儲存過程中因為碰撞等造成芯片的損害.

GaN SiC 芯片
643瀏覽量
inTEST熱流儀邏輯芯片 FPGA高低溫沖擊測試2023-08-07 14:21

FPGA 芯片需要按照 JED22-A104 標準做溫度循環(huán) TC 測試, 讓其經受極端高溫和低溫之間的快速轉換. 一般在?-55℃~150℃ 進行測試, 傳統(tǒng)的環(huán)境箱因為升降溫速度受限, 無法滿足研發(fā)的快速循環(huán)測試需求. 上海伯東美國 inTEST 熱流儀 ATS-710E 變溫速率約 10 s, 實現 FPGA 芯片極端高溫和低溫之間的快速轉換測

FPGA 測試芯片高低溫測試機
939瀏覽量
上海伯東分子泵應用于 LED 芯片退火合金爐2023-08-07 14:14

LED 芯片退火合金爐屬于真空爐的一種, 需要在真空環(huán)境下實現 LED 芯片的退火, 合金, 濕氧氧化, 歐姆電極燒結等工藝. 腔體真空度一般在 10-3 至 10-6 hPa 之間, 上海伯東德國 Pfeiffer 分子泵憑借大抽速,高穩(wěn)定性廣泛應用于退火合金爐設備.

led 真空泵芯片
670瀏覽量

Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優(yōu)化2024-10-18 13:42

上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀, 基于四級桿的質量分離, Aston 質譜分析儀設計緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監(jiān)測, 滿足半導體工藝過程中, 沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.

CVD 分析儀半導體質譜分析
83瀏覽量
Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監(jiān)測2024-10-18 13:33

刻蝕是半導體制造中最常用的工藝之一, 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜儀適用于等離子體刻蝕過程及終點監(jiān)測 (干法刻蝕終點檢測), 通過持續(xù)監(jiān)控腔室工藝化學氣體, 確保半導體晶圓生產的高產量和最大吞吐量.

分析儀半導體監(jiān)測質譜分析
92瀏覽量
Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24

半導體工藝一般會產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯用, 對處理完的氣體在線監(jiān)測分析, 并對分析數據進行監(jiān)控和記錄, 使其符合環(huán)境法規(guī).

分析儀半導體氣體檢測
86瀏覽量
鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59

隨著基于鈮酸鋰 LN 的光源, 光調制, 光探測等重要器件的實現, 鈮酸鋰 LN 光子集成芯片有望像硅基集成電路一樣, 成為高速率, 高容量, 低能耗光學信息處理的重要平臺, LiNbO3 薄膜刻蝕成特定的圖形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工藝無法完成刻蝕, 上海伯東 IBE 離子束刻蝕機為鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜刻蝕提供解決方案

刻蝕機離子束
240瀏覽量
美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28

上海伯東美國 Gel-Pak 提供 VCSEL 芯片生產使用的 DGL 膠膜和真空釋放托盤

VCSEL 芯片
213瀏覽量
美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10

上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應用, KRi KDC 160 是直流柵網離子源, 高輸出離子束電流超過 1000mA. 高功率光束無需對離子源進行水冷卻即可實現. KDC 160 配備了雙燈絲. 在標準配置下, KDC 160 典型離子能量范圍為 100 至 1200eV, 離子電流可超過 800mA.

電流硅片離子束
199瀏覽量
inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17

通過美國 inTEST ATS-545 熱流儀給車載顯示器升溫或降溫, 測量其在不同溫度下任意點的光學特性, 實現高低溫環(huán)境 -40 至 100℃ 下產品的亮度, 色度, 響應時間和可視角度測試.

顯示器高低溫測試機
151瀏覽量
HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29

上海伯東代理德國 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 80 Eco 成功應用于低溫阻抗測試系統(tǒng), 分析電子元器件在低溫環(huán)境下電阻的變化.

測試儀電子元器件
275瀏覽量
SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21

應用于各類電廠, 變電站, 電氣化鐵道等行業(yè)的 SF6 六氟化硫密度繼電器, 通過監(jiān)測密封容器中的 SF6 氣體的密度, 診斷出電氣設備中 SF6 氣體的泄漏, 防止因為 SF6 氣體密度的下降而導致其電氣絕緣能力的下降. 嚴重時會發(fā)生閃絡擊穿, 威脅人身設備安全.

儀表密度繼電器繼電器
393瀏覽量
新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48

車用 IGBT 模塊對產品性能和質量的要求要明顯高于消費和工控領域, 需要通過嚴格的車規(guī)認證, 汽車 IGBT 模塊測試標準主要參照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中溫度沖擊, 功率循環(huán), 溫度循環(huán), 結溫等是其中重要的測試要求, 功率循環(huán)和溫度循環(huán)作為代表的耐久測試, 測試循環(huán)次數可能從幾萬次到十萬次不等.

IGBT 新能源汽車測試
503瀏覽量

RM新时代网站-首页

伯東企業(yè)（上海）有限公司

美國 KRi 大面積射頻離子源

--- 產品參數 ---

--- 產品詳情 ---

RM新时代网站-首页

伯東企業(yè)（上海）有限公司

美國 KRi 大面積射頻離子源

--- 產品參數 ---

--- 產品詳情 ---

為你推薦

inTEST 芯片高低溫沖擊熱流儀2024-10-18 13:59

inTEST BT28 桌面型高低溫沖擊熱流儀2024-09-12 13:56

離子束刻蝕機 20 IBE-J2024-09-12 13:51

inTEST Sigma M256 高低溫試驗箱2023-12-01 10:58

inTEST Sigma M170 高低溫試驗箱2023-12-01 10:55

inTEST Sigma M58 高低溫試驗箱2023-12-01 10:19

inTEST Sigma M10 高低溫試驗箱2023-12-01 10:06

inTEST Sigma 高低溫試驗箱, 溫度環(huán)境試驗箱2023-12-01 09:39

普發(fā)分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

普發(fā)分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

Gel-Pak VRP 可變黏度防靜電真空釋放盒2024-10-18 14:19

氦質譜檢漏儀 ASM 340W 鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏系統(tǒng)2024-09-13 10:53

KRi 霍爾離子源 EH 2000 望遠鏡鏡片光學鍍膜應用2024-09-13 10:38

美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀助力半導體芯片研發(fā)2024-09-13 10:19

離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用2024-09-12 13:31

氦質譜檢漏儀應用于半導體新材料和設備管道檢漏2023-11-09 15:31

氦質譜檢漏儀應用于真空鍍膜生產線2023-08-07 14:35

Gel-Pak VR真空釋放盒應用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

inTEST熱流儀邏輯芯片 FPGA高低溫沖擊測試2023-08-07 14:21

上海伯東分子泵應用于 LED 芯片退火合金爐2023-08-07 14:14

Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優(yōu)化2024-10-18 13:42

Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監(jiān)測2024-10-18 13:33

Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24

鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59

美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28

美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10

inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17

HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29

SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21

新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48