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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>半導(dǎo)體陶瓷型薄膜氣敏傳感器的研究進(jìn)展

      半導(dǎo)體陶瓷型薄膜氣敏傳感器的研究進(jìn)展

      2010-01-27 | rar | 555 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      半導(dǎo)體陶瓷型薄膜氣敏傳感器,具有靈敏度高、與氣體反應(yīng)快、制備成本較低等優(yōu)點(diǎn),已經(jīng)成為近年傳感器研究和開發(fā)的重點(diǎn),是未來氣敏傳感器的發(fā)展方向之一。本文介紹了陶瓷型半導(dǎo)體薄膜氣敏傳感器常見的器件結(jié)構(gòu)、薄膜材料的主要制備方法,部分主要的半導(dǎo)體金屬氧化物薄膜氣敏材料,以及近期相關(guān)的研究進(jìn)展,并扼要分析了今后的發(fā)展方向。
      關(guān)鍵詞: 　薄膜;氣敏傳感器;半導(dǎo)體金屬氧化物;陶瓷
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