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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>智能剝離SOI高溫壓力傳感器

      智能剝離SOI高溫壓力傳感器

      2021-03-24 | rar | 0.22 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　采用改進的 RCA 清洗工藝提高了硅片的低溫鍵合質(zhì)量， 提出了一種積聚式緩慢退火剝離方法用于制備智能剝離 SO I （Silicon O n Insulato r） 材料， 并用該材料成功地研制了雙島2梁2膜結(jié)構(gòu)的 SOI 高溫壓力傳感器。 對SOI壓力傳感器的測量結(jié)果表明， 當(dāng)溫度增加到 150℃左右時， 輸出電壓沒有明顯的變化， 其工作溫度高于一般的體硅壓力傳感器 （其工作溫度一般在 120℃以下）。 測得所制備SOI壓力傳感器的靈敏度為 63mV ?（M Pa·5V ） ， 比用相同版圖設(shè)計和工藝參數(shù)制備的多晶硅壓力傳感器高約 7 倍多。

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