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EtherCAT 網(wǎng)絡(luò)總共包括：20 個(gè)帶有 EtherCAT 從站連接的伺服控制器，22 個(gè) EtherCAT 端子站（其中含有 1000 個(gè)數(shù)字量 I/O，60 個(gè)模擬量 I/O，以及 57 個(gè)安全通道），30 個(gè)熱連接組（帶有 830 個(gè)數(shù)字量 I/O），41 個(gè) PROFIBUS 主站和 21 個(gè) CAN 主站。工廠的擴(kuò)充完成以后，還會(huì)另外添加 30 個(gè)帶有相同配置的熱連接組。
在 EK1101 EtherCAT 耦合器中有一個(gè) ID 開(kāi)關(guān)，用于地址的分配。不僅可以在濺射室內(nèi)任意位置執(zhí)行操作，還可以識(shí)別陰極的類(lèi)型。每個(gè)陰極類(lèi)型均會(huì)分配到一個(gè)地址范圍，并將被導(dǎo)入到 PLC 程序中，集成到所需的控制工藝。
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