當(dāng)MEMS慣性測量單元（IMU）用作運(yùn)動控制系統(tǒng)中的反饋傳感器時，你必須了解陀螺儀的噪聲情況，因為，它會在所監(jiān)視的平臺上造成不必要的物理運(yùn)動。 根據(jù)具體情況，針對特定MEMS IMU進(jìn)行早期應(yīng)用目標(biāo)噪聲估算時需要考慮多個潛在的誤差源。在此過程中需要考慮的三個常見陀螺儀特性——其固有噪聲、線性振動響應(yīng)和對準(zhǔn)誤差。 圖 1的簡單模型顯示了會影響各誤差源評估的幾個特性：噪聲源、傳感器響應(yīng)和濾波。此模型給出了對這些特性進(jìn)行頻譜分析所需的基準(zhǔn)。 圖1.陀螺儀噪聲源和信號鏈 傳感器固有噪聲 傳感器固有噪聲代表的是陀螺儀在靜態(tài)慣性和環(huán)境條件下運(yùn)行時其輸出中的隨機(jī)振動。MEMS IMU數(shù)據(jù)手冊通常會提供速率噪聲密度(RND)參數(shù)來描述陀螺儀相對于頻率的固有噪聲。此參數(shù)通常使用單位°/s/√Hz，是預(yù)測特定濾波器配置固有噪聲的關(guān)鍵。這里的公式給出了一種簡單方法來估算與特定頻率響應(yīng)(噪聲帶寬)和RND相關(guān)的噪聲。 當(dāng)RND的頻率響應(yīng)遵循單極點或雙極點低通濾波器曲線時，噪聲帶寬(fNBW)和濾波器截止頻率(fC)將有如下的關(guān)系。 除了RND參數(shù)外，MEMS IMU數(shù)據(jù)手冊有時會使用輸出噪聲等參數(shù)指定特定濾波器配置的陀螺儀固有噪聲。輸出噪聲通常使用角速率標(biāo)準(zhǔn)單位(°/s)，并使用均方根(rms)等統(tǒng)計術(shù)語來描述總噪聲幅度。 線性振動 由于陀螺儀用于測量旋轉(zhuǎn)角速率，因此其對線性運(yùn)動的響應(yīng)會引入測量誤差。MEMS IMU數(shù)據(jù)手冊通常通過“線性加速度對偏置的影響”或“線性加速度”等參數(shù)來描述對線性運(yùn)動的這一響應(yīng)，這些參數(shù)通常使用單位°/s/g。線性振動是一種重復(fù)的慣性運(yùn)動，其幅度大小可通過位移(m)、線性速度(m/s)或線性加 速度(m/s2或g)表示。在特定的振動頻率(fLV)下，位移(|dLV|)、速度(|vLV|)和加速度(|aLV|)之間的幅度關(guān)系如公式4所示。 當(dāng)振動幅度以加速度(grms)表示時，與線性加速度參數(shù)相乘可估算陀螺儀測量中產(chǎn)生的噪聲。例如，當(dāng)ADIS16488A承受5 g (rms)的振動時，由于線性加速度等于0.009°/s/g，因此其陀螺儀中的 噪聲估算值將為0.045°/s (rms)。 如圖1所示，陀螺儀信號鏈常常包括濾波器，這有助于減少線性振動引起的噪聲。以頻譜項(幅度、頻率)定義振動可在估算噪聲貢獻(xiàn)時考慮濾波器的影響。加速度頻譜密度(ASD)函數(shù)是以頻譜項表達(dá)振動的常見方式，通常使用單位g2/Hz。下面通過示例說明已知ASD和陀螺儀頻率響應(yīng)(HG)時估算噪聲幅度的步驟： 1、ASD函數(shù)乘以陀螺儀頻率響應(yīng)的平方值； 2、利用帕塞瓦爾定理，通過在目標(biāo)頻率范圍內(nèi)對ASDF進(jìn)行積分來計算“濾波振動曲線”中的平均功率； 3、求取噪聲功率估算值的平方根，然后與線性加速度系數(shù)(HLG)相乘即可計算出陀螺儀噪聲幅度。 對準(zhǔn)誤差 運(yùn)動控制系統(tǒng)通常會建立慣性參考系，其中包含三個相互垂直90°的軸。這三個軸為MEMS IMU中的各個傳感器提供方位參考。理想情況下，陀螺儀的各個旋轉(zhuǎn)軸將與系統(tǒng)參考系中的軸完全對齊，將IMU安裝到平臺上之后，其將監(jiān)視運(yùn)行情況。這種情況下，在慣性參考系中圍繞其中一個軸旋轉(zhuǎn)，只有該軸的陀螺 儀會生成響應(yīng)。實際操作中，無法實現(xiàn)這種效果，因為機(jī)械缺陷必定會造成一些對齊誤差，從而導(dǎo)致離軸陀螺儀響應(yīng)慣性參考系中圍繞一個軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。量化此響應(yīng)需要一些三角恒等式，并謹(jǐn)慎定義陀螺儀的對齊誤差。 每個陀螺儀的對齊誤差均具有兩個分量，分別定義其相對于慣性參考系中另一個軸的對齊誤差。例如，對于圖2中的系統(tǒng)，θXZ代表x軸陀螺儀相對于z軸的對齊誤差。此對齊誤差定義有助于建立公式以計算離軸陀螺儀對系統(tǒng)慣性參考系中圍繞另一個軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的響應(yīng)。公式中給出了一個示例，其量化了x 軸陀螺儀相對于z軸的對齊誤差(θXZ)和圍繞z軸旋轉(zhuǎn)(ωZR)而產(chǎn)生的響應(yīng)(ωGX)。 圖2.三軸式陀螺儀對齊誤差 MEMS IMU通常具有兩種類型的對齊誤差，它們相互關(guān)聯(lián)，但在系統(tǒng)級建模中具有不同應(yīng)用——軸到封裝和軸到軸： “軸到封裝對齊誤差”描述陀螺儀相對于器件封裝上特定機(jī)械特性的對齊情況。將IMU安裝到系統(tǒng)后，如果系統(tǒng)無法支持慣性對齊，則軸到封裝對齊誤差將成為整體對齊誤差的主要因素之一。系統(tǒng)與 IMU的機(jī)械接口的機(jī)械缺陷也會增加整體對齊誤差； “軸到軸對齊誤差”描述各個陀螺儀旋轉(zhuǎn)軸相對于其他兩個陀螺儀的相對對齊精度。在系統(tǒng)可以實現(xiàn)簡單的對齊過程時，此參數(shù)影響最大，此時通常沿系統(tǒng)的慣性參考系中的一個軸直線移動整個組件(IMU已安裝在系統(tǒng)平臺上)，同時需要觀察傳感器。 如果對齊誤差不是IMU規(guī)格的一部分，則通過評估器件封裝中主要機(jī)械特性的物理容差就可以估算這些誤差。例如，以下情況會引入0.5°的對齊誤差： 4 mm × 4 mm LGA封裝上的焊接回流工藝具有35 μm的安裝誤差； PCB上相距20 mm的兩個安裝孔之間具有0.175 mm的容差。 案例研究 為了說明這些原理，請看以下示例，其中估算ADIS16488A中的陀螺儀噪聲，該器件用于在以下配置/條件下運(yùn)行的新型航電系統(tǒng)： 陀螺儀可用全帶寬