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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>3d光學(xué)輪廓儀測微光學(xué)器件應(yīng)用及其重要意義

      3d光學(xué)輪廓儀測微光學(xué)器件應(yīng)用及其重要意義

      2024-01-02 | docx | 651.61 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      微光學(xué)器件是指尺寸在微米到毫米級(jí)別的光學(xué)元件，其尺寸比傳統(tǒng)光學(xué)器件小很多。微光學(xué)器件利用了微納加工技術(shù)，將光學(xué)器件的功能集成到微米尺寸的芯片中，具有小型化、集成化、高效率、低成本等特點(diǎn)。微光學(xué)器件同時(shí)具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點(diǎn)，該特點(diǎn)導(dǎo)致的測量需求，3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。

      3d光學(xué)輪廓儀通過利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象，能夠?qū)ξ⑿〉谋砻娓叨炔町愡M(jìn)行精確測量，并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。對于超光滑透明微光學(xué)器件的測量來說，3d光學(xué)輪廓儀不僅具備高精度和高分辨率的特點(diǎn)，還能夠快速、無損地獲得物體的三維形貌信息。

       

      3d光學(xué)輪廓儀：超光滑透明微光學(xué)器件測量的利器

      3d光學(xué)輪廓儀用于測量微光學(xué)器件應(yīng)用案例

      為獲得更好的光學(xué)處理效果，需對玻璃或樹脂等光學(xué)材料結(jié)構(gòu)進(jìn)行微納工藝加工，如時(shí)下流行的投影儀中勻光用的激光擴(kuò)散片，還有各類組成特殊圖案的衍射元件，工業(yè)用光柵、特殊目的的光學(xué)器件。

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