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介紹了一種去除中頻誤差的有效工具被動(dòng)半剛性磨盤。被動(dòng)半剛性磨盤由剛性基底、變形層、薄板層以及拋光層組成。這種特殊的夾層式結(jié)構(gòu)使磨盤在平滑過程中具有高通濾波特性，因而能夠有效去除中頻誤差?；趶椥粤W(xué)和濾波器理論，分析了被動(dòng)半鋼性磨盤的平滑機(jī)理，討論了磨盤基本參數(shù)和誤差頻率之間的相互關(guān)系。以一塊表面具有明顯中頻誤差的拋物面鏡為實(shí)驗(yàn)件，對(duì)被動(dòng)半剛性磨盤的平滑能力進(jìn)行驗(yàn)證，經(jīng)過２個(gè)周期（共計(jì)７５ｍｉｎ）的平滑后，中頻誤差得到了有效抑制。
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