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分析了微型機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)、主要科學(xué)技術(shù)問題、應(yīng)用和市場。預(yù)計(jì)到2003 年微小系統(tǒng)的市場約為400 億美元, 是商用航空業(yè)的一半。簡介了我國的研究情況。國際上微型機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)剛走向全面發(fā)展, 正是我國發(fā)展該領(lǐng)域的好時(shí)機(jī)。
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