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文章針對(duì)一種三維MEMS 加速度計(jì)，提出了三維加速度計(jì)的測(cè)試方法，
并根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)此加速度計(jì)進(jìn)行了性能分析。通過(guò)對(duì)其設(shè)計(jì)原理和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的
描述，指出該型MEMS 加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)及性能特點(diǎn)。針對(duì)該加速度計(jì)，作
者設(shè)計(jì)了測(cè)試裝置，制作了測(cè)試電路，并在文章中詳細(xì)描述了測(cè)試原理及整個(gè)測(cè)
試過(guò)程。
并根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)此加速度計(jì)進(jìn)行了性能分析。通過(guò)對(duì)其設(shè)計(jì)原理和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的
描述，指出該型MEMS 加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)及性能特點(diǎn)。針對(duì)該加速度計(jì)，作
者設(shè)計(jì)了測(cè)試裝置，制作了測(cè)試電路，并在文章中詳細(xì)描述了測(cè)試原理及整個(gè)測(cè)
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