據(jù)韓媒報道，三星副董事長李在镕在訪問荷蘭期間，在會議上要求ASML在一個月內(nèi)交付三星已購買的9臺EUV光刻設(shè)備。

報道稱，ASML正在審查三星的要求，這部分EUV設(shè)備最早可于11月運(yùn)往韓國。

據(jù)悉，三星需要EUV光刻設(shè)備來追趕已經(jīng)實(shí)現(xiàn)5nm量產(chǎn)的臺積電。ASML是世界上唯一的EUV設(shè)備供應(yīng)商，三星打算在正在建設(shè)的平澤2號工廠和正在擴(kuò)建的華城V1線中安裝EUV設(shè)備。

其中，平澤2號工廠于2020年5月開始了新工藝線的建設(shè)，計劃投資約10萬億韓元（約合88億美元），于2021年下半年開始全面運(yùn)營。華城工廠的V1生產(chǎn)線于2019年投入運(yùn)營，專門用于EUV工藝。目前用于批量生產(chǎn)7nm芯片，并且正在擴(kuò)展用于5nm及以下工藝。三星計劃到2020年底將V1線的晶圓產(chǎn)能提升至約20,000片。

目前來看，獲得EUV和進(jìn)行工藝風(fēng)險試產(chǎn)是三星最緊迫的任務(wù)。如果EUV設(shè)備被延遲，則5nm時代三星仍將丟失一部分訂單。

目前，三星電子已獲得10臺EUV設(shè)備，并在2020年初購買了約20臺。而臺積電目前線上運(yùn)營的EUV達(dá)20臺以上，并宣布到2022年前將再購買60臺EUV設(shè)備。

原文標(biāo)題：軍備競賽！三星敦促ASML提前交付9臺EUV！

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