電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/莫婷婷）近日，日本半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會(huì)（SEAJ）預(yù)計(jì)今年（2022年4月至2023年3月）日本半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將超過(guò)4萬(wàn)億日元（約合人民幣1964億元），年增長(zhǎng)率達(dá)到17%。這里半導(dǎo)體制造設(shè)備的銷售額是指日系企業(yè)于日本國(guó)內(nèi)及海外的設(shè)備銷售額。值得關(guān)注的是，這已經(jīng)是日本連續(xù)3年在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域創(chuàng)新高，且首次超過(guò)4萬(wàn)億日元。

日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球市場(chǎng)的表現(xiàn)曾經(jīng)下滑至6%的市場(chǎng)份額，如今，日本在全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的位置舉足輕重，占據(jù)三成的市場(chǎng)份額，僅次于美國(guó)。那么，哪些廠商是日本半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，又是哪些半導(dǎo)體設(shè)備銷售額最高，最為緊缺呢？


全球半導(dǎo)體設(shè)備“擴(kuò)產(chǎn)潮”帶動(dòng)日本半導(dǎo)體設(shè)備銷售
根據(jù)SEAJ的數(shù)據(jù)，1995年日本半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額突破1萬(wàn)億日元，22年后，在2017年突破2萬(wàn)億日元；又在2021年突破3萬(wàn)億日元。2021年期間，日本半導(dǎo)體設(shè)備銷售額實(shí)現(xiàn)快速的增長(zhǎng)，這得益于全球半導(dǎo)體需求高漲，全球晶圓大廠掀起擴(kuò)產(chǎn)潮，由此帶動(dòng)了半導(dǎo)體設(shè)備需求。

全球?qū)Π雽?dǎo)體需求居高不下，必將再次提高半導(dǎo)體設(shè)備廠商的銷售額。日本半導(dǎo)體設(shè)備的需求主要來(lái)自邏輯芯片/晶圓廠總體投資規(guī)模的擴(kuò)大，以及存儲(chǔ)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，是日本半導(dǎo)體設(shè)備銷售額增長(zhǎng)的主要原因。早在2019年，存儲(chǔ)芯片在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)的份額就達(dá)到了40%。

根據(jù)公開(kāi)的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021年進(jìn)入全球前十五半導(dǎo)體設(shè)備廠商榜單中，有7家來(lái)自日本，分別是東京電子（全球第三），愛(ài)德萬(wàn)（全球第六）、SCREEN（全球第八）、日立高科（全球第十）、迪斯科（全球第11）、尼康（全球第13）、Kokusai Electric（全球第15）。其中，東京電子的銷售額達(dá)到了172億美元，并且在近兩年增長(zhǎng)明顯，2019年的銷售額僅為95.5億美元，2020年突破百億美元，達(dá)到113.2億美元。

上述7家半導(dǎo)體設(shè)備廠商中，覆蓋了半導(dǎo)體、LCD、印刷電路板制程設(shè)備、晶圓切割設(shè)備、測(cè)試設(shè)備等多種設(shè)備。中國(guó)作為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，2021年的進(jìn)口率達(dá)到73%，交易金額達(dá)到1500億。不容置疑，在日本的7大半導(dǎo)體設(shè)備廠商的出口企業(yè)中，有多數(shù)來(lái)自中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)。

東京電子從事半導(dǎo)體制造設(shè)備和平板顯示器制造設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。其制造設(shè)備大多被應(yīng)用于前制程，面向記憶體和MPU等主要半導(dǎo)體廠商出貨。近年來(lái)，東京電子加強(qiáng)新一代產(chǎn)品的迭代，例如在2022財(cái)年第3季度，東京電子發(fā)布了一款用于功率器件的300毫米蝕刻系統(tǒng)——Tactras UDEMAE，根據(jù)介紹，該產(chǎn)品利用200 mm系統(tǒng)中構(gòu)建的300 mm系統(tǒng)工藝庫(kù)，還配備了抑制晶圓錐角區(qū)域顆粒生成的功能，對(duì)功率器件的制造環(huán)節(jié)至關(guān)重要。

東京電子曾經(jīng)在電話會(huì)議中提到，2021財(cái)年，全球晶圓廠設(shè)備 (WFE)市場(chǎng)中約有25%的投資來(lái)自中國(guó)，其中約80%的投資來(lái)自中國(guó)本土客戶，并且預(yù)計(jì)2022財(cái)年也將保持這樣的占比。據(jù)了解，東京電子在2021年開(kāi)始推進(jìn)1納米半導(dǎo)體設(shè)備的開(kāi)發(fā)，東京電子的執(zhí)行董事秋山啟一表示，通過(guò)開(kāi)發(fā)新一代光刻系統(tǒng)，東京電子將在2025-2026年之前實(shí)現(xiàn)1納米線寬級(jí)別半導(dǎo)體的量產(chǎn)化。

得益于傳感器、存儲(chǔ)器等各領(lǐng)域?qū)Π雽?dǎo)體設(shè)備的需求，尼康在2021年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收的快速增長(zhǎng)。財(cái)報(bào)顯示，截至2022年3月的全年財(cái)年（2021年4月1日－2022年3月31日），尼康集團(tuán)全年銷售收入達(dá)5396億日元，較上一財(cái)年增加達(dá)884億日元；營(yíng)業(yè)利潤(rùn)突破499億日元。在尼康的各項(xiàng)業(yè)務(wù)中，包括半導(dǎo)體制造、液晶面板設(shè)備等的精密機(jī)械、醫(yī)療設(shè)備的銷售額占比不斷提升。

目前，國(guó)內(nèi)有多家顯示屏智造基地，其中包括洲明科技的全球最大規(guī)模的LED顯示屏智造基地，還有京東方、華星光電、天馬等企業(yè)同樣需要面板制造設(shè)備；除此之外，中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)正在投資擴(kuò)產(chǎn)，對(duì)光刻機(jī)的需求也是很高。對(duì)于尼康來(lái)說(shuō)，中國(guó)是其半導(dǎo)體設(shè)備的巨大市場(chǎng)。

但業(yè)內(nèi)媒體曾報(bào)道，美國(guó)政府的一項(xiàng)新的要求提出，將禁止ASML、尼康對(duì)中國(guó)銷售DUV光刻機(jī)。若是該消息成為事實(shí)，尼康的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)份額在全球市場(chǎng)是否會(huì)出現(xiàn)新的變化？另一方面，在2021年，受益于筆記本電腦及平板電腦市場(chǎng)的快速增長(zhǎng)，尼康的FPD曝光設(shè)備也在該領(lǐng)域大展拳腳，如今PC市場(chǎng)出現(xiàn)下滑，又是否會(huì)給尼康的相關(guān)業(yè)務(wù)帶來(lái)影響？



半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化加速
國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)預(yù)計(jì)，2022年全球前端晶圓廠設(shè)備支出總額將同比增長(zhǎng)18%，達(dá)到1070億美元。與此同時(shí)，晶圓廠設(shè)備銷售支出前五的國(guó)家和地區(qū)分別是中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)、中國(guó)大陸、美洲地區(qū)、歐洲/中東地區(qū)。其中，中國(guó)臺(tái)灣和大陸的銷售支出分別為350億美元、175億美元，合計(jì)超過(guò)500億美元。

如今，在擴(kuò)產(chǎn)潮的背景，中國(guó)企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求不斷提升，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也在不斷發(fā)展。中微公司的半導(dǎo)體設(shè)備包括刻蝕設(shè)備和 MOCVD 設(shè)備。從2004年發(fā)展至今，中微公司的ICP刻蝕設(shè)備已逐漸成熟，截至 2021 年上半年已交付 100 腔，Mini LED 用 MOCVD設(shè)備已獲得大批量訂單。公開(kāi)資料顯示，中微公司的 CCP 刻蝕設(shè)備在 5nm 及以下邏輯電路產(chǎn)線、64 層 及 128 層 3D NAND 生產(chǎn)線都有應(yīng)用

芯源微是國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體涂膠顯影廠商，其光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備，可用于8/12英寸單晶圓處理及6英寸及以下單晶圓處理。值得關(guān)注的是，公司的涂膠顯影設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華虹、華天科技、上海積塔等企業(yè)的供應(yīng)鏈。

另一半導(dǎo)體設(shè)備廠商華海清科的CMP設(shè)備的訂單在2021年上半年累計(jì)出貨58臺(tái)，在手訂單35臺(tái)，同樣進(jìn)入了中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、大連英特爾等廠商的供應(yīng)鏈。

盡管半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化加速，但是也要認(rèn)識(shí)到與國(guó)際廠商的距離。作為對(duì)比，日本荏原的CMP設(shè)備已達(dá)到5nm制程工藝水平，華海清科CMP設(shè)備則主要應(yīng)用于28nm及以上制程生產(chǎn)線，14nm制程工藝仍在驗(yàn)證中。

現(xiàn)階段還得需要外供，國(guó)產(chǎn)化率還有待提高。但是可以期待的是，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正在提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，從上述中微公司、芯源微等半導(dǎo)體設(shè)備廠商的動(dòng)態(tài)來(lái)看，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)完成從0到1的突破，CMP設(shè)備、PVD設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率約為10%、刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為20%，涂膠顯影設(shè)備的全球市場(chǎng)占有率也在提升，未來(lái)將迎來(lái)良好的成長(zhǎng)機(jī)會(huì)。