氮化硅基板邂逅碳化硅功率模塊,國(guó)產(chǎn)新能源汽車性能狂飆
一、第3代半導(dǎo)體材料——碳化硅SiC性能優(yōu)勢(shì)明顯
碳化硅SiC是第3代寬禁帶半導(dǎo)體代表材料,具有熱導(dǎo)率高、擊穿電場(chǎng)高、電子飽和速率高、抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì),采用碳化硅SiC制材料制備的第3代半導(dǎo)體器件不僅能在較高溫度下穩(wěn)定運(yùn)行,還能以較少的電能消耗,獲得更高效的運(yùn)行能力。
相比于首代Si硅基半導(dǎo)體,第3代寬禁帶半導(dǎo)體碳化硅SiC具有2倍的極限工作溫度、10倍的擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度、3倍的禁帶、超過(guò)2倍的飽和電子漂移速率、3倍的熱導(dǎo)率即3倍的冷卻能力。
▲ 1-3各代半導(dǎo)體材料性能對(duì)比
碳化硅SiC作為第3代半導(dǎo)體材料性能穩(wěn)定高效,廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車、充電設(shè)備、便攜式電源、儲(chǔ)能設(shè)備、通信設(shè)備、機(jī)械臂、飛行器、太陽(yáng)能光伏發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、高鐵等等眾多高電壓和高頻率工業(yè)領(lǐng)域。受益于5G通信、國(guó)防軍工、新能源汽車、新能源光伏和風(fēng)力發(fā)電等領(lǐng)域的高速發(fā)展,碳化硅二極管、碳化硅MOSFET、碳化硅功率芯片、SiC碳化硅功率模塊等碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模急速膨脹。
二、AMB工藝氮化硅基板是第3代半導(dǎo)體材料碳化硅功率模塊器件封裝完美之選
目前,半導(dǎo)體電子器件行業(yè)廣泛應(yīng)用的陶瓷基板,通常按照基板材料劃分主要有Al2O3氧化鋁陶瓷基板、AlN氮化鋁陶瓷基板和Si3N4氮化硅陶瓷基板三種。
氧化鋁陶瓷基板優(yōu)劣勢(shì)。氧化鋁基板最常見(jiàn),通常采用DBC工藝,氧化鋁基板低介電損耗、化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)良、機(jī)械強(qiáng)度較高,其制造工藝成熟、且成本低廉,主要在中低端工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域有較大的市場(chǎng)需求。但是氧化鋁基板導(dǎo)熱性差,驟冷驟熱循環(huán)次數(shù)僅僅200余次,無(wú)法滿足日益發(fā)展的新能源電動(dòng)汽車等第3代大功率半導(dǎo)體的應(yīng)用發(fā)展需求。
氮化鋁陶瓷基板優(yōu)劣勢(shì)。氮化鋁基板導(dǎo)熱率較高,具有優(yōu)良的絕緣性,DBC和AMB兩種工藝均有采用,氮化鋁基板的導(dǎo)熱性能好,且與第3代大功率半導(dǎo)體材料有很好的匹配性,但是氮化鋁基板機(jī)械性能和抗熱震性能差,不僅影響半導(dǎo)體器件可靠性,而且氮化鋁基板屬于高強(qiáng)度的硬脆材料,在復(fù)雜服役環(huán)境下,容易損壞,使用成本較高。
▲氮化硅陶瓷基板、氧化鋁陶瓷基板、氮化鋁陶瓷基板三種材料性能對(duì)比
氮化硅陶瓷基板優(yōu)劣勢(shì)。氮化硅基板綜合性能優(yōu)異可靠,主要采用活性金屬釬焊覆銅AMB工藝,氮化硅基板在高導(dǎo)熱性、高機(jī)械強(qiáng)度、低膨脹系數(shù)、抗氧化性能、熱腐蝕性能、低介電損耗、低摩擦系數(shù)等方面具有優(yōu)異的性能。它的理論熱導(dǎo)率高達(dá)400W/(m.k),熱膨脹系數(shù)約為3.0x10-6℃,與Si、SiC、GaAs等材料都有良好的匹配性,氮化硅基板的高強(qiáng)度和高導(dǎo)熱性能完全滿足高溫、大功率、高散熱、高可靠性的第3代大功率半導(dǎo)體電子器件基板材料封裝要求。
氧化鋁基板和氮化鋁基板普遍使用的DBC直接覆銅工藝,DBC直接覆銅是利用共晶鍵合法工藝制備而成,覆銅層與氧化鋁基板和氮化鋁基板之間沒(méi)有粘結(jié)材料,采用氧化鋁陶瓷基板或氮化鋁陶瓷基板的半導(dǎo)體電子器件在高溫工作過(guò)程中,通常會(huì)因?yàn)殂~和氧化鋁陶瓷基板或氮化鋁陶瓷基板之間的熱膨脹系數(shù)不同而產(chǎn)生較大的熱應(yīng)力,從而導(dǎo)致覆銅層從氧化鋁陶瓷基板或氮化鋁陶瓷基板表面剝離,因此,采用傳統(tǒng)的DBC工藝的氧化鋁陶瓷基板或氮化鋁陶瓷基板已經(jīng)難以滿足大功率、高溫、高散熱、高可靠性的SiC碳化硅汽車電子功率器件模塊等第3代大功率半導(dǎo)體材料封裝要求。
采用AMB工藝氮化硅陶瓷覆銅基板則是利用包括鈦Ti、鋯Zr、鉭Ta、鈮Nb、釩V、鉿Hf等活性金屬元素可以潤(rùn)濕陶瓷表面的特性,將覆銅層通過(guò)活性金屬釬料釬焊在氮化硅陶瓷基板上。通過(guò)活性金屬釬焊AMB工藝形成的銅與氮化硅陶瓷界面粘結(jié)強(qiáng)度更高,且氮化硅陶瓷基板相比Al2O3氧化鋁陶瓷基板和AlN氮化鋁陶瓷基板同時(shí)兼顧了優(yōu)異的機(jī)械性能和良好的導(dǎo)熱性,因此采用AMB工藝氮化硅陶瓷覆銅基板各方面性能比較均衡,在高溫下的工作可靠性能更強(qiáng),所以說(shuō)氮化硅陶瓷覆銅基板是氧化鋁陶瓷基板和氮化鋁陶瓷基板升級(jí)產(chǎn)品,是第3代半導(dǎo)體材料SiC汽車電子功率器件模塊封裝完美之選。
三、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,新能源汽車開啟性能狂飆模式
碳化硅SiC作為第3代寬禁帶半導(dǎo)體材料,相對(duì)于第1代Si硅基半導(dǎo)體器件具有禁帶寬度大、熱導(dǎo)率高、擊穿電場(chǎng)高、電子飽和速率高、抗輻射能力強(qiáng)等眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì),尤其是在高頻、高溫、高壓等工作場(chǎng)景中,有著易散熱、小體積、 高功率、低能耗等諸多明顯的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)。
當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅基板的優(yōu)異高強(qiáng)度和高導(dǎo)熱的綜合性能,完美配套升級(jí)碳化硅功率模塊的性能優(yōu)勢(shì)。氮化硅基板配套升級(jí)碳化硅功率模塊的寬禁帶特性有助于提高碳化硅器件的穩(wěn)定性,使其具備良好的耐高溫性、耐高壓性和抗輻射性,顯著提升器件功率密度,從而利于系統(tǒng)散熱與終端小型輕便化;氮化硅基板配套升級(jí)碳化硅功率模塊的高擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度特性,有助于提高碳化硅器件的功率范圍,降低通電電阻,使其具備耐高壓性和低能耗性,利于器件體積薄化的同時(shí)提高系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)力;氮化硅基板配套升級(jí)碳化硅功率模塊的高飽和電子漂移速率特性意味著較低的電阻,顯著降低能量損失,簡(jiǎn)化周邊被動(dòng)器件,大幅提升開關(guān)頻率同時(shí)提高整機(jī)效率。
當(dāng)下,新能源電動(dòng)汽車爆發(fā)式增長(zhǎng)的勢(shì)頭不可阻擋,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊,對(duì)提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項(xiàng)性能尤為重要。全球眾多汽車廠商在新能源電動(dòng)汽車車型上,大都采用了或者準(zhǔn)備采用氮化硅陶瓷基板升級(jí)碳化硅二極管、碳化硅MOSFET,以及由碳化硅二極管與碳化硅MOSFET構(gòu)成的SiC功率模塊等碳化硅功率器件。據(jù)業(yè)內(nèi)資深機(jī)構(gòu)最新估計(jì),隨著眾多基于800V及以上高壓平臺(tái)架構(gòu)的新能源汽車已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段,以及隨著氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊產(chǎn)能提升成本價(jià)格下探,到2030年將有超過(guò)75%的新能源電動(dòng)汽車電子功率器件領(lǐng)域采用AMB氮化硅陶瓷覆銅基板工藝升級(jí)的SiC功率模塊技術(shù)。
1、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,新能源電動(dòng)汽車開啟加速度性能
起步百公里加速時(shí)間是每一新款剛上市的新能源電動(dòng)汽車的重要性能參數(shù)。新能源電動(dòng)汽車加速性能與動(dòng)力系統(tǒng)輸出的最大功率和最大扭矩密切相關(guān),當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊技術(shù)允許驅(qū)動(dòng)電機(jī)在低轉(zhuǎn)速時(shí)承受更大輸入功率,而且不懼因?yàn)?a href="http://hljzzgx.com/tags/電流/" target="_blank">電流過(guò)大所導(dǎo)致的熱效應(yīng)和功率損耗,這就意味著新能源電動(dòng)汽車起步時(shí),驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以輸出更大扭矩,提升加速度,強(qiáng)化加速性能。
2、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,新能源電動(dòng)汽車增加續(xù)航里程
續(xù)航里程是當(dāng)前新能源電動(dòng)汽車的主要痛點(diǎn)。當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊通過(guò)導(dǎo)通與開關(guān)兩個(gè)維度降低電能損耗,以最大限度地減少寄生效應(yīng)和熱阻,提升效率減少與DC-AC轉(zhuǎn)換有關(guān)的功率損耗,從而實(shí)現(xiàn)增加新能源電動(dòng)汽車?yán)m(xù)航里程的目的。
3、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,新能源電動(dòng)汽車縮短充電時(shí)間
充電時(shí)間長(zhǎng)短是評(píng)價(jià)一輛新能源電動(dòng)汽車性能體驗(yàn)感的重要參數(shù),當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊高擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度特性,有助于提高碳化硅器件的功率范圍,降低通電電阻,可在800V及以上的高壓平臺(tái)上搭配350kW以上超級(jí)充電樁,以提升充電速度,縮短充電時(shí)長(zhǎng)。
4、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,有助于新能源電動(dòng)汽車輕量化
當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊增強(qiáng)電氣和機(jī)械性能以及可靠性,能夠?qū)崿F(xiàn)高頻開關(guān),減少濾波器,變壓器、電容、電感等無(wú)源器件的使用,從而減少系統(tǒng)體系和重量,相同功率等級(jí)下實(shí)現(xiàn)封裝體積尺寸更小。同時(shí),氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊且具有良好的熱導(dǎo)率,可以使器件模塊工作于較高的環(huán)境溫度中,從而減少散熱器體積和重量。SiC可以降低開關(guān)與導(dǎo)通損耗,使系統(tǒng)效率提升,同樣續(xù)航范圍內(nèi),可以減少電池容量,有助于車輛輕量化。
5、當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,新能源電動(dòng)汽車降低電池成本
充電功率相同的情況下,當(dāng)?shù)杼沾苫邋忮颂蓟韫β誓K,氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊實(shí)現(xiàn)新能源電動(dòng)汽車在800V高壓快充架構(gòu)下的高壓線束直徑更小,相應(yīng)成本更低;氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC碳化硅功率模塊高熱導(dǎo)率實(shí)現(xiàn)新能源電動(dòng)汽車電池散熱的更少,相對(duì)降低電池?zé)峁芾黼y度,進(jìn)一步降低電池整體成本。
四、當(dāng)國(guó)產(chǎn)氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊,助力我國(guó)新能源汽車性能狂飆
2015年9月,威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司開啟了高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板技術(shù)研發(fā)自主創(chuàng)新之路,在研制高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板過(guò)程中,抓住生產(chǎn)細(xì)節(jié),把握技術(shù)核心,不斷發(fā)現(xiàn)和解決各類生產(chǎn)的難題,歷時(shí)七年,威海圓環(huán)生產(chǎn)的0.32mmX139.7mmX190.5mm行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)的水平,解決了西方先進(jìn)國(guó)家在高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的技術(shù)保護(hù)和應(yīng)用產(chǎn)品對(duì)我國(guó)“卡脖子”難題。
▲威海圓環(huán)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板
例如1:某次威海圓環(huán)內(nèi)部產(chǎn)品質(zhì)量分析會(huì)上,一位操作工人發(fā)現(xiàn),V型混料機(jī)混料后的粉體不均勻,會(huì)造成部分產(chǎn)品的性能指標(biāo)不合格。威海圓環(huán)的各級(jí)領(lǐng)導(dǎo)對(duì)這個(gè)細(xì)節(jié)問(wèn)題十分重視,并要求相關(guān)部門進(jìn)行針對(duì)性試驗(yàn),拿出科學(xué)數(shù)據(jù),要從根本上解決這個(gè)質(zhì)量問(wèn)題的隱患。通過(guò)對(duì)不同規(guī)格和不同形狀混料的研磨介質(zhì)材料進(jìn)行多次對(duì)比試驗(yàn),發(fā)現(xiàn)加入適當(dāng)比例的氮化硅陶瓷微珠,可以有效解決V型混料機(jī)的混料不均勻的問(wèn)題。就這樣,設(shè)備還是原來(lái)的設(shè)備,混料研磨介質(zhì)材料的形狀、粒徑大小和填充比例做了細(xì)微的改變,解決了生產(chǎn)中出現(xiàn)的問(wèn)題,使得產(chǎn)品的質(zhì)量得到了可靠的保障。
例如2:在研制生產(chǎn)高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的粉體材料配方過(guò)程中,為了降低晶格氧含量來(lái)制得高熱導(dǎo)率的氮化硅,從原料粉體選擇、燒結(jié)劑的選擇開始,威海圓環(huán)采購(gòu)了國(guó)內(nèi)外多個(gè)廠家的氮化硅粉體進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)。當(dāng)時(shí)為了氮化硅陶瓷導(dǎo)熱率這一個(gè)參數(shù),威海圓環(huán)幾乎買遍了國(guó)內(nèi)外的所有稀元素品種,就這樣“日復(fù)一日,年復(fù)一年”,做實(shí)驗(yàn)樣品—燒結(jié)—測(cè)試,這樣的過(guò)程進(jìn)行了上千次的重復(fù),經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的不懈努力,威海圓環(huán)氮化硅試塊的導(dǎo)熱率穩(wěn)定的達(dá)到了80W/(k.m)以上,解決了高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的配方問(wèn)題。
例如3:自主研發(fā)氮化硅陶瓷基板專用裝備最重要的是氣壓燒結(jié)爐,由于是盲跑,國(guó)內(nèi)燒結(jié)爐生產(chǎn)廠家無(wú)法提供填爐、燒結(jié)工藝的支持,從原材料的甄選,備品備件等,所有的環(huán)節(jié)都需要自主研發(fā)。高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的平整度指標(biāo),是影響良品率的重要因素,受燒結(jié)設(shè)備、燒結(jié)工藝參數(shù)和裝缽工藝等綜合因素的影響,在整爐基板平整度合格率方面威海圓環(huán)就經(jīng)歷了無(wú)數(shù)次的失敗,基板的合格率總是達(dá)不到理想的水平。最終威海圓環(huán)發(fā)現(xiàn)是由于燒結(jié)位置的不同,基板氣壓燒結(jié)爐內(nèi)溫度場(chǎng)的不均勻等,是造成基板平整度合格率低的重要原因。于是威海圓環(huán)聘請(qǐng)專業(yè)窯爐設(shè)計(jì)人員參與對(duì)氣壓燒結(jié)爐進(jìn)行針對(duì)性的熱場(chǎng)優(yōu)化和控制優(yōu)化設(shè)計(jì),成功制造出高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板專用的氣氛氣壓燒結(jié)爐。正所謂“工欲善其事,必先利其器”,新型的專用窯爐作為“母機(jī)”使高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的燒結(jié)過(guò)程變得穩(wěn)定而可控,又完成了一次基礎(chǔ)專業(yè)設(shè)備的自主設(shè)計(jì)制造的跨越。
諸如此類的生產(chǎn)技術(shù)難題,威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司在研制高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板過(guò)程中,始終堅(jiān)持抓生產(chǎn)細(xì)節(jié),抓核心技術(shù)難點(diǎn),發(fā)現(xiàn)和解決各類生產(chǎn)的難題近百個(gè),歷時(shí)七年之久,威海圓環(huán)生產(chǎn)的0.32mmX139.7mmX190.5mm行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)的水平,終于解決了西方先進(jìn)國(guó)家在高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的技術(shù)保護(hù)和應(yīng)用產(chǎn)品對(duì)我國(guó)“卡脖子”難題。
▲威海圓環(huán)生產(chǎn)高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板各項(xiàng)理化指標(biāo)達(dá)到了國(guó)際上行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
威海圓環(huán)生產(chǎn)的氮化硅陶瓷基板具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、高機(jī)械強(qiáng)度、低膨脹系數(shù)等眾多優(yōu)良性能。威海圓環(huán)氮化硅陶瓷基板熱導(dǎo)率高達(dá)85W/(m.k),熱膨脹系數(shù)約為3.0x10-6℃,與SiC碳化硅材料具有良好的匹配性。威海圓環(huán)氮化硅陶瓷基板遠(yuǎn)高于300A的電流承載能力輕松應(yīng)對(duì)高壓擊穿,能在800V甚至1000V的電壓平臺(tái)下正常工作;威海圓環(huán)氮化硅陶瓷基板三點(diǎn)彎曲強(qiáng)度達(dá)600Mpa,超高斷裂韌性能有效減少因釬焊界面不致密而出現(xiàn)較多空洞而誘發(fā)的裂紋,威海圓環(huán)生產(chǎn)的氮化硅陶瓷基板將成為國(guó)產(chǎn)SiC碳化硅汽車電子功率器件模塊封裝完美之選。
隨著國(guó)產(chǎn)新能源電動(dòng)汽車爆發(fā)式發(fā)展,威海圓環(huán)生產(chǎn)的氮化硅陶瓷基板通過(guò)升級(jí)SiC碳化硅功率模塊性能,將為提升國(guó)產(chǎn)新能源汽車加速度、續(xù)航里程、輕量化、充電速度、電池成本等各項(xiàng)性能優(yōu)勢(shì)做出貢獻(xiàn),威海圓環(huán)助力中國(guó)新能源汽車開啟性能狂飆模式。
威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司是專業(yè)從事Si?N?高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷基板、氮化硅微珠、氮化硅陶瓷球、氮化硅陶瓷磨介環(huán)、氮化硅陶瓷磨介球、可重復(fù)利用的高熱導(dǎo)氮化硅陶瓷坩堝、氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件等系列氮化硅精密陶瓷材料的生產(chǎn)企業(yè)。高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板可以按用戶特殊要求定制。關(guān)于高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷基板的性能、規(guī)格、技術(shù)參數(shù)等問(wèn)題——威海圓環(huán) 顏輝l86O64ll446隨時(shí)歡迎各位同行、各位同仁交流探討!氮化硅基板邂逅碳化硅功率模塊,國(guó)產(chǎn)新能源汽車性能狂飆。
▲威海圓環(huán)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板
威海圓環(huán)多年來(lái)與海內(nèi)外先進(jìn)陶瓷材料技術(shù)領(lǐng)軍人物建立了深厚的技術(shù)合作關(guān)系,在國(guó)內(nèi)精密陶瓷材料領(lǐng)域具有一定權(quán)威和建樹的高等院校和科研機(jī)構(gòu)建立了校企研發(fā)合作關(guān)系,擁有了一批多年從事研制、開發(fā)的中高級(jí)技術(shù)人員和管理人員,使我們具有精湛的技術(shù)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)態(tài)度、高度的敬業(yè)精神、高效的管理水平。威海圓環(huán)公司研發(fā)及生產(chǎn)測(cè)試團(tuán)隊(duì)具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),核心工程師擁有十余年的精密陶瓷技術(shù)積累和強(qiáng)大的應(yīng)用開發(fā)能力。威海圓環(huán)始終致力于高性能及高可靠性氮化硅陶瓷設(shè)計(jì)開發(fā)和生產(chǎn)銷售,打造高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)領(lǐng)軍品牌,持續(xù)通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新為客戶及時(shí)提供高性價(jià)比的氮化硅陶瓷材料產(chǎn)品和服務(wù)。
氮化硅基板邂逅碳化硅功率模塊,國(guó)產(chǎn)新能源汽車性能狂飆(顏輝)
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