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三維輪廓儀測(cè)粗糙度:SuperView W光學(xué)3D表面輪廓儀功能詳解

中圖儀器 ? 2024-07-03 10:21 ? 次閱讀

在精密制造領(lǐng)域,表面粗糙度的測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。

半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè),表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用了白光干涉技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法,能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)的測(cè)量。這種非接觸式的掃描方式不僅避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷,還提供了極高的測(cè)量精度和重復(fù)性。

測(cè)量原理

該系列輪廓儀的工作原理基于光學(xué)干涉技術(shù),通過(guò)白光LED作為光源,對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行照射。由于白光具有寬廣的光譜,能夠提供更高的測(cè)量精度和分辨率。通過(guò)精密的Z向掃描,設(shè)備能夠捕捉到物體表面的微觀形貌,并利用3D建模算法重建出物體的3D圖像。

應(yīng)用領(lǐng)域

SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛,包括但不限于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品的玻璃屏、光學(xué)元件的曲率和輪廓尺寸測(cè)量、超精密加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。

性能特色

1. 高精度與高重復(fù)性:采用的光學(xué)干涉技術(shù)和精密Z向掃描模塊,確保了測(cè)量的高精度。
2. 環(huán)境噪聲檢測(cè)功能:能夠定量評(píng)估外界環(huán)境對(duì)測(cè)量的干擾,為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供數(shù)據(jù)支持。
3. 精密操縱手柄:集成了X、Y、Z三個(gè)方向的位移調(diào)整功能,使得測(cè)量前的準(zhǔn)備工作更加快捷。
4. 雙重防撞保護(hù)措施:軟件和硬件雙重保護(hù),最大限度降低操作風(fēng)險(xiǎn)。
5. 雙通道氣浮隔振系統(tǒng):提供了穩(wěn)定的工作環(huán)境,即使在沒(méi)有外接氣源的情況下也能正常工作。

技術(shù)指標(biāo)

SuperView W系列提供了多種型號(hào),以滿足不同用戶的需求。它們的技術(shù)指標(biāo)包括但不限于光源、影像系統(tǒng)、干涉物鏡、光學(xué)ZOOM、標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)、物鏡塔臺(tái)、XY位移平臺(tái)等,均以高標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

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光學(xué)3D表面輪廓儀以其高精度、高重復(fù)性和強(qiáng)大的功能,為精密制造業(yè)提供了一個(gè)可靠的測(cè)量工具。無(wú)論是在科研還是在工業(yè)生產(chǎn)中,它都能幫助用戶獲得精確的表面粗糙度數(shù)據(jù),從而提升產(chǎn)品質(zhì)量,滿足日益嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

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