1、掃描電鏡樣品的基本要求

首先，導(dǎo)電性能好，樣品在電子束反復(fù)掃描下表面電位不會升啊，避免電荷效應(yīng)；

其次，熱穩(wěn)定性能好，電子束溫度較高，導(dǎo)熱性差的樣品在觀察時會漂移，圖像不穩(wěn)定有些熱敏感材料會損傷，觀察部位起泡、龜裂、出現(xiàn)空洞；

最后，二次電子和背散射電子產(chǎn)率高；

簡單的說

1）樣品的導(dǎo)電性

2）樣品的尺寸

3）樣品的清潔干燥

4）粉末樣品的固定

5）組織、夾雜物試樣的制備

因DBSD的樣品分析時要傾斜70°等特性，EBSD的樣品制備要求更高一些，表面平整、清潔、無殘余應(yīng)力；需要絕對的取向數(shù)據(jù)時，樣品外觀坐標(biāo)系要準(zhǔn)確，尺寸約為1-3CM或稍小一些。

2、樣品的制備

1）試樣的鑲嵌

什么時候鑲嵌：

a)在看邊緣信息時

b)試樣太小或者形狀很不規(guī)則時

鑲嵌類型分以下兩種：

熱鑲嵌法：首先要保證發(fā)生熱固話或熱塑性的溫度不會導(dǎo)致被鑲嵌試樣組織發(fā)生變化。通常推薦熱鑲嵌方式。

冷鑲嵌法：環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂

2）試樣的清潔

樣品受污染或SEM 受到污染會導(dǎo)致圖像質(zhì)量變差，所以清潔樣品很重要，可用吸耳球吹或者將樣品放入丙酮或者酒精中，超聲清潔至少10秒。

3）試樣的磨拋