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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>清洗半導(dǎo)體晶片的方法說明

清洗半導(dǎo)體晶片的方法說明

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2023-12-14 17:16:52442

n型p型半導(dǎo)體與本征半導(dǎo)體相比有什么特點?

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2023-12-13 11:10:05619

哪些因素會給半導(dǎo)體器件帶來靜電呢?

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在濕臺工藝中使用RCA清洗技術(shù)

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2023-12-07 13:19:14235

艾森半導(dǎo)體成功上市!開盤漲超114%,募資6.18億擴產(chǎn)半導(dǎo)體材料

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/劉靜)12月6日,半導(dǎo)體材料領(lǐng)域又一家優(yōu)秀的國產(chǎn)企業(yè)在科創(chuàng)板成功上市。作為一家半導(dǎo)體材料商,江蘇艾森半導(dǎo)體材料股份有限公司(以下簡稱:艾森半導(dǎo)體)自2010年成立以來,抓住
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半導(dǎo)體濕法清洗工藝

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半導(dǎo)體封裝推拉力測試機設(shè)備晶片推力測試演示#半導(dǎo)體

半導(dǎo)體推拉力測試機
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2023-11-21 15:34:03212

長鑫存儲”半導(dǎo)體芯片測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)“專利獲授權(quán)

根據(jù)專利摘要,該公開提供屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域的半導(dǎo)體芯片測試方法、裝置、裝置及存儲介質(zhì)。該方法半導(dǎo)體芯片進行直流應(yīng)力試驗,得出直流應(yīng)力試驗結(jié)果,直流應(yīng)力試驗結(jié)果包括第一失效單位的失效通知。
2023-11-17 10:08:03416

北方華創(chuàng)“半導(dǎo)體晶片處理腔室及半導(dǎo)體處理設(shè)備”專利獲授權(quán)

根據(jù)發(fā)明專利要點,該公司提供的一種半導(dǎo)體晶片處理腔室及半導(dǎo)體處理設(shè)備;半導(dǎo)體晶片處理腔室包括腔體、設(shè)置在該腔體內(nèi)可沿豎直方向移動的片盒和設(shè)置在腔體內(nèi)的加熱組件,還包括溫度檢測組件,該溫度檢測組件的檢測部為溫度檢測板
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半導(dǎo)體電導(dǎo)率詳解:影響因素及其測試方法

半導(dǎo)體的電導(dǎo)率直接影響著半導(dǎo)體器件的工作狀態(tài),是半導(dǎo)體材料的重要參數(shù)。因此,半導(dǎo)體電導(dǎo)率的檢測也是半導(dǎo)體設(shè)計和制造過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),確保半導(dǎo)體器件的性能、穩(wěn)定性和可靠性。
2023-11-13 16:10:291089

半導(dǎo)體材料檢測有哪些種類?測試半導(dǎo)體材料有哪些方法?

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匯芯半導(dǎo)體突破功率半導(dǎo)體芯片“卡脖子”技術(shù)

站在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的時代風(fēng)口,來自佛山的科創(chuàng)力量正在崛起,力合科創(chuàng)(佛山)科技園投資企業(yè)——廣東匯芯半導(dǎo)體有限公司(下稱“匯芯半導(dǎo)體”)就是其中一個代表。
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半導(dǎo)體可靠性測試有哪些測試項目?測試方法是什么?

可靠性測試是半導(dǎo)體器件測試的一項重要測試內(nèi)容,確保半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性,保證其在各類環(huán)境長時間工作下的穩(wěn)定性。半導(dǎo)體可靠性測試項目眾多,測試方法多樣,常見的有高低溫測試、熱阻測試、機械沖擊測試、引線鍵合強度測試等。
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半導(dǎo)體熱阻測試原理和測試方法詳解

對于半導(dǎo)體器件而言熱阻是一個非常重要的參數(shù)和指標,是影響半導(dǎo)體性能和穩(wěn)定性的重要因素。如果熱阻過大,那么半導(dǎo)體器件的熱量就無法及時散出,導(dǎo)致半導(dǎo)體器件溫度過高,造成器件性能下降,甚至損壞器件。因此,半導(dǎo)體熱阻測試是必不可少的,納米軟件將帶你了解熱阻測試的方法。
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半導(dǎo)體測試方法解析 納米軟件半導(dǎo)體測試系統(tǒng)助力測試

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華易泰獲B輪融資,系設(shè)備廠商聚焦半導(dǎo)體、面板等領(lǐng)域

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意法半導(dǎo)體工業(yè)峰會2023

▌峰會簡介第五屆意法半導(dǎo)體工業(yè)峰會即將啟程,現(xiàn)我們敬邀您蒞臨現(xiàn)場,直擊智能熱點,共享前沿資訊,通過意法半導(dǎo)體核心技術(shù),推動加快可持續(xù)發(fā)展計劃,實現(xiàn)突破性創(chuàng)新~報名鏈接:https
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用于高密度和高效率電源設(shè)計的意法半導(dǎo)體WBG解決方案

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半導(dǎo)體芯片為什么要在真空下進行

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非接觸除塵設(shè)備在半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的應(yīng)用

今天我們來聊一下非接觸除塵設(shè)備在半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的應(yīng)用,說起半導(dǎo)體清洗,是指對晶圓表面進行無損傷清洗,用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能產(chǎn)生的雜質(zhì),避免雜質(zhì)影響芯片良率和性能。而非接觸精密除塵設(shè)備可以大幅提升芯片良率,為企業(yè)實現(xiàn)降本增效的目的。
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長飛先進半導(dǎo)體武漢基地開工建設(shè)

湖北工業(yè)信息消息,長飛先進半導(dǎo)體項目位于光谷科學(xué)島,項目總投資有望超過200億元人民幣。該項目一期投資100億元,每年可生產(chǎn)36萬個sic mosfet晶片,包括外延、零部件設(shè)計、晶片制造、包裝等。
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半導(dǎo)體區(qū)別于導(dǎo)體的重要特征

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半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備市場 2023-2030分析

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2023-08-22 15:08:001225

半導(dǎo)體清洗除塵,是芯片制造的重要環(huán)節(jié)

早些時期半導(dǎo)體常使用濕式清洗除塵方法,濕式清洗除塵通常使用超純水或者化學(xué)藥水來清洗除塵,優(yōu)點就是價格低廉,缺點是有時化學(xué)藥水或者超純水會把產(chǎn)品損害。隨著科技技術(shù)的進步,人們對半導(dǎo)體清洗除塵要求越來越高,不僅要保證產(chǎn)品的良率達到一定的標準,還需要清洗除塵的程度達到不錯的水平
2023-08-22 10:54:45681

半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)市場預(yù)計增長到2028年的120億美元,復(fù)合年增長率為2.5%

半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體製造過程中使用的設(shè)備。 化學(xué)溶液通過將晶片浸入化學(xué)溶液(蝕刻劑)中來選擇性地去除半導(dǎo)體晶片的特定層或區(qū)域,化學(xué)溶液溶解并去除晶片表面所需的材料。
2023-08-15 15:51:58319

先楫半導(dǎo)體使用上怎么樣?

先楫半導(dǎo)體使用上怎么樣?
2023-08-08 14:56:29

什么是半導(dǎo)體材料?半導(dǎo)體材料的發(fā)展之路

半導(dǎo)體材料是制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料,是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)。利用半導(dǎo)體材料制作的各種各樣的半導(dǎo)體器件和集成電路,促進了現(xiàn)代信息社會的飛速發(fā)展。
2023-08-07 10:22:031979

半導(dǎo)體封裝設(shè)計與分析

] 了解不同類型的半導(dǎo)體封裝(第二部分)中,我們探討了不同類型的半導(dǎo)體封裝。本篇文章將詳細闡述半導(dǎo)體封裝設(shè)計工藝的各個階段,并介紹確保封裝能夠發(fā)揮半導(dǎo)體高質(zhì)量互連平臺作用的不同分析方法。
2023-08-07 10:06:19361

#半導(dǎo)體

半導(dǎo)體
固晶焊線AOI設(shè)備—尹先生發(fā)布于 2023-08-03 10:46:53

半導(dǎo)體制造中的清洗工藝技術(shù)改進方法

隨著晶體管尺寸的不斷微縮,晶圓制造工藝日益復(fù)雜,對半導(dǎo)體濕法清洗技術(shù)的要求也越來越高。
2023-08-01 10:01:561639

終止科創(chuàng)板IPO后 功率半導(dǎo)體器件廠商瑞能半導(dǎo)擬北交所上市

從事輸出半導(dǎo)體零部件的研究開發(fā)、生產(chǎn)及銷售的瑞能半導(dǎo),以芯片設(shè)計、晶片制造、成套設(shè)計為一體化經(jīng)營輸出半導(dǎo)體企業(yè),致力于領(lǐng)先的輸出半導(dǎo)體零部件組裝的開發(fā)和生產(chǎn)。公司的主要產(chǎn)品主要是晶閘管、功率二極管等,廣泛用于以家電產(chǎn)品為代表的消費者電子、以通信電源為代表的工業(yè)制造、新能源及汽車等領(lǐng)域。
2023-07-18 09:43:38870

塑料半導(dǎo)體激光焊接機

 簡介:蘇州鐳拓激光科技有限公司智能化一站式激光設(shè)備供應(yīng)商,多款高精度塑料半導(dǎo)體激光焊接機,咨詢塑料激光焊接機多少錢,歡迎聯(lián)系蘇州鐳拓激光!產(chǎn)品描述:品名:塑料半導(dǎo)體激光焊接機品牌:鐳拓
2023-07-06 16:24:04

華虹半導(dǎo)體在港交所發(fā)布公告

中國證券監(jiān)督管理委員會6日批準了華虹半導(dǎo)體科創(chuàng)版的ipo注冊。根據(jù)招股書,華宏麗此次ipo不超過4.34億股,招股金額達180億元。如果華虹半導(dǎo)體成功上市,將成為上海證券交易所科創(chuàng)板年內(nèi)第三家晶片配件工廠。
2023-06-29 10:03:49523

半導(dǎo)體封裝推力測試機晶片推拉力機

半導(dǎo)體
力標精密設(shè)備發(fā)布于 2023-06-25 17:43:47

半導(dǎo)體開封和去層的技術(shù)方法和案例

背景 隨著我國經(jīng)濟發(fā)展方式的轉(zhuǎn)變、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的加快調(diào)整,工業(yè)化和信息化的深度融合,中國半導(dǎo)體市場展現(xiàn)出強勁發(fā)展勢頭,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)性支撐產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體器件產(chǎn)品主要包括電容、電阻、電感
2023-06-25 17:11:041172

GaN功率半導(dǎo)體與高頻生態(tài)系統(tǒng)

GaN功率半導(dǎo)體與高頻生態(tài)系統(tǒng)(氮化鎵)
2023-06-25 09:38:13

突破氮化鎵功率半導(dǎo)體的速度限制

突破GaN功率半導(dǎo)體的速度限制
2023-06-25 07:17:49

半橋GaN功率半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)計

升級到半橋GaN功率半導(dǎo)體
2023-06-21 11:47:21

GaN功率半導(dǎo)體在快速充電市場的應(yīng)用

GaN功率半導(dǎo)體在快速充電市場的應(yīng)用(氮化鎵)
2023-06-19 11:00:42

GaNFast功率半導(dǎo)體建模資料

GaNFast功率半導(dǎo)體建模(氮化鎵)
2023-06-19 07:07:27

半導(dǎo)體拉力測試儀半導(dǎo)體芯片推拉力測試機

半導(dǎo)體
力標精密設(shè)備發(fā)布于 2023-06-17 17:35:00

半導(dǎo)體前端工藝:刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

半導(dǎo)體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕”工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細圖案。半導(dǎo)體“刻蝕”工藝所采用的氣體和設(shè)備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571177

半導(dǎo)體制冷器應(yīng)用--半導(dǎo)體冷凍治療儀

半導(dǎo)體冷凍治療儀利用半導(dǎo)體制冷組件產(chǎn)生的低溫來治療疾病,是近年來發(fā)展較快的物理治療設(shè)備。它具有溫控精確、功耗低、體積小等優(yōu)點,在康復(fù)治療領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。半導(dǎo)體冷凍治療儀包括治療儀本體、半導(dǎo)體
2023-06-12 09:29:18700

元旭半導(dǎo)體天津生產(chǎn)基地開工

元旭半導(dǎo)體天津生產(chǎn)基地有新的第三代半導(dǎo)體光電芯片研發(fā)中心和裝備了生產(chǎn)線晶片材料、芯片設(shè)計、芯片制造、芯片包裝以及測試等多個重要產(chǎn)業(yè)鏈鏈接積聚著,新一代Micro-LED半導(dǎo)體集成顯示器垂直整合制造重點開展的。
2023-06-09 11:29:15903

半導(dǎo)體專用設(shè)備已累計交付20余家半導(dǎo)體行業(yè)客戶

6月8日勁拓股份有限公司,據(jù)最新調(diào)研紀要的半導(dǎo)體舉行公共費用和專用設(shè)備的半導(dǎo)體晶片制造設(shè)備,包括半導(dǎo)體召開公共非先進的成套制造等生產(chǎn)階段的熱處理設(shè)備,半導(dǎo)體晶片制造設(shè)備是半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)過程中使用的?!?/div>
2023-06-09 10:57:21550

清洗劑液體顆粒計數(shù)器

PMT-2清洗劑液體顆粒計數(shù)器,采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃
2023-06-08 15:50:31

電路板的清洗 PCBA清洗方法

清洗工藝先要評估PCBA組件,包含尺寸大小結(jié)構(gòu)特征、基本功能、電子元器件等部件材料、零部件特別要求及清洗設(shè)備與清洗要求的兼容性。幾何尺寸與結(jié)構(gòu)會影響清洗空間,從而影響助焊劑殘余物清洗難度;體積小
2023-06-06 14:58:57906

晶片濕法刻蝕方法

硅的堿性刻蝕液:氫氧化鉀、氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,晶片加工中,會用到強堿作表面腐蝕或減薄,器件生產(chǎn)中,則傾向于弱堿,如SC1清洗晶片或多晶硅表面顆粒,一部分機理是SC1中的NH4OH
2023-06-05 15:10:011597

臭氧清洗系統(tǒng)的制備及其在硅晶片清洗中的應(yīng)用

半導(dǎo)體和太陽能電池制造過程中,清洗晶圓的技術(shù)的提升是為了制造高質(zhì)量產(chǎn)品。目前已經(jīng)有多種濕法清洗晶圓的技術(shù),如離子水清洗、超聲波清洗、低壓等離子和機械方法。由于濕法工藝一般需要使用含有有害化學(xué)物質(zhì)的酸和堿溶液,會產(chǎn)生大量廢水,因此存在廢物處理成本和環(huán)境監(jiān)管等問題。
2023-06-02 13:33:211020

半導(dǎo)體企業(yè)如何決勝2023秋招?

根據(jù)中國集成電路產(chǎn)業(yè)人才白皮書數(shù)據(jù)來看,目前行業(yè)內(nèi)從業(yè)人員僅46w左右,人才缺口仍有30w之 巨 。在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展的當下,定位、搶奪優(yōu)質(zhì)人才是企業(yè)未來長期發(fā)展的基石。 那么每年秋招就是贏得
2023-06-01 14:52:23

半導(dǎo)體內(nèi)部電路

半導(dǎo)體
YS YYDS發(fā)布于 2023-05-28 12:30:39

半導(dǎo)體芯片PCT老化試驗箱

半導(dǎo)體芯片PCT老化試驗箱 壹叁伍 叁捌肆陸 玖零柒陸 試驗方法主要分成兩種類型:即PCT和USPCT(HAST、現(xiàn)在壓力蒸煮鍋試驗作為濕熱加速試驗被IEC(國際電工委員會)所
2023-05-26 10:52:14

led晶片推拉力機半導(dǎo)體推拉力測試儀

led晶片
力標精密設(shè)備發(fā)布于 2023-05-24 17:40:04

晶片的酸基蝕刻:傳質(zhì)和動力學(xué)效應(yīng)

拋光硅晶片是通過各種機械和化學(xué)工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準備好為設(shè)備制造。
2023-05-16 10:03:00584

全自動PCBA清洗方案,實現(xiàn)高效率清洗

、PCB、半導(dǎo)體、新能源等行業(yè)快速發(fā)展帶動了PCBA清洗技術(shù)的廣泛應(yīng)用。PCBA作為產(chǎn)品的主要部件,在各種電子設(shè)備當中占有非常重要的地位,對其清洗方面有著極高的要求。 ? ?全自動PCBA清洗機是電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的重要輔助設(shè)備,PCBA的質(zhì)量直接影響到
2023-05-10 16:02:261090

2.1 半導(dǎo)體晶體材料

半導(dǎo)體
jf_90840116發(fā)布于 2023-05-08 01:54:54

1.3 半導(dǎo)體材料和分類

半導(dǎo)體
jf_90840116發(fā)布于 2023-05-08 01:50:45

什么是寬禁帶半導(dǎo)體?

第95期什么是寬禁帶半導(dǎo)體?半導(dǎo)體迄今為止共經(jīng)歷了三個發(fā)展階段:第一代半導(dǎo)體以硅(Si)、鍺(Ge)為代表;第二代半導(dǎo)體以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物為代表;第三代半導(dǎo)體是以碳化硅
2023-05-06 10:31:461675

什么是寬禁帶半導(dǎo)體

半導(dǎo)體迄今為止共經(jīng)歷了三個發(fā)展階段:第一代半導(dǎo)體以硅(Si)、鍺(Ge)為代表;第二代半導(dǎo)體以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物為代表;第三代半導(dǎo)體是以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN
2023-05-05 17:46:226173

電解液中晶圓的兆聲波清洗

在當今的器件中,最小結(jié)構(gòu)的尺寸接近于需要從晶片表面移除的粒子的尺寸。在不破壞脆弱設(shè)備的情況下,在工藝步驟之間去除納米顆粒的清洗過程的重要性正在不斷增長。兆波清洗可用于單晶片或批量晶片處理。
2023-05-02 16:32:11865

意瑞半導(dǎo)體芯片選型介紹

霍爾傳感器,依據(jù)霍爾效應(yīng)來制作的。霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法,通過霍爾效應(yīng)實驗測定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)。
2023-04-28 15:55:501031

2023年最強半導(dǎo)體品牌Top 10!第一名太強大了!

日前,英國品牌估值咨詢公司“品牌金融”(Brand Finance)發(fā)布最新“全球半導(dǎo)體品牌價值20強(Brand Finance Semiconductor 20 2023)”報告。報告顯示,在
2023-04-27 10:09:27

試述為什么金屬的電阻溫度系數(shù)是正的而半導(dǎo)體的是負的?

試述為什么金屬的電阻溫度系數(shù)是正的而半導(dǎo)體的是負的?
2023-04-23 11:27:04

半導(dǎo)體清洗科技材料系統(tǒng)

書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:下一代半導(dǎo)體清洗科技材料系統(tǒng) 編號:JFKJ-21-188 作者:炬豐科技 摘要 本文簡要概述了面臨的挑戰(zhàn)晶圓清洗技術(shù)正面臨著先進的silicon技術(shù)向非平面
2023-04-23 11:03:00246

用于制造半導(dǎo)體晶體的脫氣室和使用其的脫氣工藝

本文涉及一種用于制造半導(dǎo)體元件的滴氣室及利用其的滴氣工藝;晶片內(nèi)側(cè)加載的腔室,安裝在艙內(nèi)側(cè),包括通過加熱晶片激活晶片上殘存雜質(zhì)的加熱手段、通過將晶片上激活的雜質(zhì)吸入真空以使晶片上激活的雜質(zhì)排出外部的真空吸入部、以及通過向通過加熱手段加熱的艙提供氫氣以去除晶片上金屬氧化膜的氫氣供給部
2023-04-23 10:22:02337

工業(yè)泵在半導(dǎo)體濕法腐蝕清洗設(shè)備中的應(yīng)用

【摘要】 在半導(dǎo)體濕法工藝中,后道清洗因使用有機藥液而與前道有著明顯區(qū)別。本文主要將以濕法清洗后道工藝幾種常用藥液及設(shè)備進行對比研究,論述不同藥液與機臺的清洗原理,清洗特點與清洗局限性?!娟P(guān)鍵詞
2023-04-20 11:45:00823

半導(dǎo)體原材料到拋光晶片的基本工藝流程

 半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體器件在世界電子工業(yè)發(fā)展扮演的角色我們前幾天已經(jīng)聊過了。而往往身為使用者的我們都不太會去關(guān)注它成品之前的過程,接下來我們就聊聊其工藝流程。今天我們來聊聊如何從原材料到拋光晶片的那些事兒。
2023-04-14 14:37:502034

全自動半導(dǎo)體激光COS測試機

全自動半導(dǎo)體激光COS測試機TC 1000      COS(chip on submount)是主流的半導(dǎo)體激光器封裝形式之一,對COS進行全功能的測試必不可少
2023-04-13 16:28:40

濕式半導(dǎo)體工藝中的案例研究

半導(dǎo)體行業(yè)的許多工藝步驟都會排放有害廢氣。對于使用非?;顫姷臍怏w的化學(xué)氣相沉積或干法蝕刻,所謂的靠近源頭的廢氣使用點處理是常見的做法。相比之下,對于濕法化學(xué)工藝,使用中央濕式洗滌器處理廢氣是一種公認
2023-04-06 09:26:48408

半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備市場:行業(yè)分析

半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備市場預(yù)計將達到129\.1億美元。到 2029 年。晶圓清洗是在不影響半導(dǎo)體表面質(zhì)量的情況下去除顆?;蛭廴疚锏倪^程。器件表面晶圓上的污染物和顆粒雜質(zhì)對器件的性能和可靠性有重大影響。本報告?zhèn)戎赜?b class="flag-6" style="color: red">半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備市場的不同部分(產(chǎn)品、晶圓尺寸、技術(shù)、操作模式、應(yīng)用和區(qū)域)。
2023-04-03 09:47:511643

清洗過程中硅晶片表面顆粒去除

在整個晶圓加工過程中,仔細維護清潔的晶圓表面對于在半導(dǎo)體器件制造中獲得高產(chǎn)量至關(guān)重要。因此,濕式化學(xué)清洗以去除晶片表面的污染物是任何LSI制造序列中應(yīng)用最重復(fù)的處理步驟。
2023-03-30 10:00:091940

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