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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>IC資料>IC中文資料>薄膜沉積設(shè)備介紹

      薄膜沉積設(shè)備介紹

      2022-06-22 | pdf | 1.41 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      薄膜沉積設(shè)備作為晶圓制造的核心設(shè)備 之一，在晶圓制造環(huán)節(jié)設(shè)備投資占比僅次于光刻機(jī)，約占 25%。根據(jù) SEMI 和 Maximize Market Research 的統(tǒng)計(jì)，2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到 712 億 美元，其中薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模約 172 億美元。目前，薄膜沉積設(shè)備中 CVD 類設(shè) 備占比最高，2020 年合計(jì)占比 64%；濺射 PVD 類設(shè)備占整體市場的 21%。 PECVD 是薄膜設(shè)備中占比最高的設(shè)備類型，占整體薄膜沉積設(shè)備市場的 34%。
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