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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>品質(zhì)管理資料>熱退火對(duì)金屬半導(dǎo)體的影響

      熱退火對(duì)金屬半導(dǎo)體的影響

      2022-06-28 | pdf | 0.38 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      在鎘鋅薄膜(CZT)探測(cè)器制備過程中加入了一個(gè)熱退火過程，以降低泄漏電流并獲得穩(wěn)定的探測(cè)器性能。由于其功功能低，可以作為CZT肖特基探測(cè)器的金屬接觸。研究了低溫退火對(duì)銦/CZT接觸的影響。采用了銦/CZT/金結(jié)構(gòu)的CZT肖特基探測(cè)器。探測(cè)器在真空中退火10小時(shí)，在空氣中退火2、4和8小時(shí)。測(cè)量了退火過程前后各探測(cè)器的泄漏電流和能量分辨率，并對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了比較。
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