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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導(dǎo)體技術(shù)論文>熱處理技術(shù)應(yīng)對新工藝新材料的挑戰(zhàn)

      熱處理技術(shù)應(yīng)對新工藝新材料的挑戰(zhàn)

      2009-12-21 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      熱處理工藝正面臨來自高k和其它材料、超淺接合、應(yīng)變硅、SOI，以及不斷微縮生產(chǎn)更高效率和更加復(fù)雜的器件所帶來的挑戰(zhàn)。盡管我們在技術(shù)開發(fā)中盡量避免使用新材料，但是當(dāng)現(xiàn)有工藝即將達(dá)到其物理極限時，我們不得不重新評估選擇使用一些新材料。
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