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標簽 > 離子束
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聚焦離子束(FIB)技術(shù)憑借其在微納米尺度加工和分析上的高精度和精細控制,已成為材料科學、納米技術(shù)和半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)。該技術(shù)通過精確操控具有特...
聚焦離子束系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、工作原理及聚焦離子束雙束系統(tǒng)
尺度的測量與制造納米技術(shù),作為全球科研的熱點,關(guān)鍵在于其能夠在納米級別進行精確的測量和制造。納米測量技術(shù)負責收集和處理數(shù)據(jù),而納米加工技術(shù)則是實現(xiàn)微觀制...
EBSD技術(shù)的重要地位與樣品制備基礎(chǔ)經(jīng)濟快速發(fā)展以來,電子背散射衍射技術(shù)(EBSD)便在金屬材料研究領(lǐng)域嶄露頭角,成為不可或缺的關(guān)鍵工具,有力地促進了材...
聚焦離子束(FIB)技術(shù)的演變與應(yīng)用聚焦離子束(FIB)技術(shù)已經(jīng)成為現(xiàn)代科技領(lǐng)域中不可或缺的一部分,尤其是在半導(dǎo)體制造和微納加工領(lǐng)域。盡管FIB技術(shù)已經(jīng)...
電子背散射衍射(EBSD)技術(shù)因其能夠揭示材料的微觀結(jié)構(gòu)特征而變得不可或缺。這項技術(shù)依賴于對樣品表面的精確分析,因此,制備符合要求的EBSD樣品是實現(xiàn)有...
離子束技術(shù)在多領(lǐng)域的應(yīng)用探索
聚焦離子束技術(shù)(FIB)聚焦離子束技術(shù)(FocusedIonBeam,F(xiàn)IB)是一種高精度的微納加工手段,它通過加速并聚焦液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束,照...
聚焦離子束(FIB)技術(shù)的特點、優(yōu)勢以及應(yīng)用
本文介紹了聚焦離子束(FIB)技術(shù)的特點、優(yōu)勢以及應(yīng)用。 一、FIB 在芯片失效分析中的重要地位 芯片作為現(xiàn)代科技的核心組成部分,其可靠性至關(guān)重要。而在...
深入解析離子束(FIB)技術(shù)在微納米加工領(lǐng)域的應(yīng)用
集成電路制造中的先進束流技術(shù)在集成電路的制造過程中,三種先進的束流技術(shù)——電子束、光子束和離子束技術(shù),扮演著至關(guān)重要的角色。這些技術(shù)不僅推動了微電子器件...
聚焦FIB技術(shù):微納尺度加工的利器聚焦離子束(FIB)技術(shù)以其卓越的精確度在微觀加工領(lǐng)域占據(jù)重要地位,能夠?qū)崿F(xiàn)從微米級到納米級的精細加工。金鑒實驗室在這...
EBSD技術(shù)的重要性電子背散射衍射(EBSD)技術(shù)是材料科學中用于揭示材料微觀結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工具。它詳細描述了材料在凝固、塑性變形、相變以及斷裂等物理過程中...
FIB技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用及其運作機制解析
雙束聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)概述雙束聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)是一種集成了單束聚焦離子束和掃描電子顯微鏡(SEM)功能的高精度微納加工技術(shù)。這種系統(tǒng)通過精...
美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例
上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應(yīng)用, KRi KDC 160 是直流柵網(wǎng)離子源, 高輸出離...
半導(dǎo)體制造中FIB、SEM關(guān)鍵技術(shù)原理
聚焦離子束(Focused Ion beam,F(xiàn)IB)是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。 聚焦后作用于樣品表面。
二次離子質(zhì)譜(SIMS)是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束(通常是氧氣或(無機樣品用銫離子)“濺射”樣品表面上選...
2022-11-22 標簽:離子束 1144 0
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