ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導(dǎo)電玻璃,還會(huì)在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴(kuò)散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進(jìn)行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會(huì)沿浮法方向,規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時(shí),不同的靶材與玻璃間,在不同的溫度和運(yùn)動(dòng)方式下,所得到的ITO層會(huì)有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些,更容易出現(xiàn)“麻點(diǎn)”現(xiàn)象;有些廠家的玻璃ITO層會(huì)出現(xiàn)高蝕間隔帶,ITO層在蝕刻時(shí),更容易出現(xiàn)直線放射型的缺劃或電阻偏高帶;另一些廠家的玻璃ITO層則會(huì)出現(xiàn)微晶溝縫。
ITO導(dǎo)電層的特性:
ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過率高,氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng),液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性,所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì),俗稱“霉變”,因此在存放時(shí)要防潮。
ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng),形成其它導(dǎo)電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì),所以在加工過程中,盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。
ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成,晶粒在加溫過程中會(huì)裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量,所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高,電阻也增大。
ITO導(dǎo)電玻璃的分類:
ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500奧姆)、普通玻璃(電阻在60~150奧姆)、低電阻玻璃(電阻小于60奧姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。
ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分,有
ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。
影響ITO玻璃性能的主要參數(shù):
長(zhǎng)度、寬度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翹曲度(厚度
微觀波紋度
倒邊
C倒邊(
R倒邊(
倒角(浮法方向2.0mmX
SIO2阻擋層厚度(350埃±50埃,550nm透過率≥90%)
ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能(蝕刻液:
表1-1
化學(xué)穩(wěn)定性:
耐堿為浸入
耐酸為浸入
耐溶劑為在
附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下,膜層無損傷;或連撕三次后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。
熱穩(wěn)定性:在
外觀質(zhì)量:
裂紋:不允許。
粘附物:包括塵粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過
沾污:不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾污。
崩邊:長(zhǎng)X寬≤2.0mmx
劃痕:見表1-2。表1-2
玻璃體線狀缺陷(寬度W):包括玻筋、光學(xué)變形見表1-4。表1-4
膜層點(diǎn)狀缺陷:SIO2阻擋層和ITO導(dǎo)電層的點(diǎn)狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等,點(diǎn)狀缺陷的直徑定義為:d=(缺陷長(zhǎng)+缺陷寬)/2。見表1-5。表1-5
ITO導(dǎo)電玻璃的工廠自適應(yīng)測(cè)試方法及判定標(biāo)準(zhǔn):
尺寸:
A、測(cè)試方法:用直尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量待測(cè)玻璃原片的長(zhǎng)度、寬度、厚度。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):測(cè)量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。
面電阻:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)試玻璃整個(gè)區(qū)域做為測(cè)試區(qū)域,然后測(cè)試區(qū)域分成九等份后再用四探針測(cè)試儀分別測(cè)試各區(qū)域的面電阻。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻平均值及電阻資料分散值,結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。
ITO層溫度性能
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片在
B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。
蝕刻性能:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測(cè)試其蝕刻完全的時(shí)間。
B、判定標(biāo)準(zhǔn):蝕刻完全的時(shí)間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時(shí)間的一半值為合格。
或按表1-1蝕刻性能指針檢測(cè)。
ITO層耐堿性能
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放在
B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。
光電性能與可靠性:
A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù),選擇一型號(hào)制作成成品并測(cè)試其光電與可靠性性能;
B、判定標(biāo)準(zhǔn):光電性能與可靠性測(cè)試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當(dāng),并在測(cè)試產(chǎn)品型號(hào)要求范圍之內(nèi)。
ITO導(dǎo)電玻璃的選用規(guī)則:
模數(shù)在240以上的產(chǎn)品,一般可選用供貨商B級(jí)品玻璃;
模數(shù)在40模以上,240模以下的產(chǎn)品,一般選用普通A級(jí)品玻璃;
模數(shù)在40模以下的產(chǎn)品,STN產(chǎn)品,一般選用低電阻拋光玻璃。
COG產(chǎn)品,一般選用15奧姆拋光玻璃。附:工廠ITO玻璃參考選用原則:
6、ITO導(dǎo)電玻璃的使用方法:
l 任何時(shí)候都不容許迭放;
l 除規(guī)定外,一般要求豎向放置;平放操作時(shí),盡量保持ITO面朝下;厚度在
l 取放時(shí)只能接觸四邊,不能接觸導(dǎo)電玻璃ITO表面;
l 輕拿輕放,不能與其它治具和機(jī)器碰撞;
l 如果要長(zhǎng)時(shí)間存放,一定要注意防潮,以免影響玻璃的電阻和透過率;
l 對(duì)于大面積和長(zhǎng)條形玻璃,在設(shè)計(jì)排版時(shí)要考慮玻璃基片的浮法方向。
7、ITO導(dǎo)電玻璃的貯存及搬運(yùn)方法:
ITO導(dǎo)電玻璃的貯存方法:
ITO導(dǎo)電玻璃應(yīng)貯存在室溫條件下,濕度在65%以下干燥保存;貯放時(shí)玻璃保持豎向放置,玻璃間堆放不可超過二層,木箱裝ITO導(dǎo)電玻璃貨物堆放不可超過五層。紙箱裝貨ITO導(dǎo)電玻璃貨物,原則上不能堆放。
ITO導(dǎo)電玻璃搬運(yùn)方法:
易碎品,小心輕放,保持搬運(yùn)過程中的穩(wěn)定性,搬運(yùn)時(shí)層高不得超過三層。
評(píng)論
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