非易失性半導(dǎo)體存儲器的相變機制
非易失性存儲器(NVM)在半導(dǎo)體市場占有重要的一席之地,特別是主要用于手機和其它便攜電子設(shè)備的閃存芯片。今后幾年便攜電子系統(tǒng)對非易失性存儲器的要求更高,數(shù)據(jù)存儲應(yīng)用需要寫入速度極快的高密度存儲器,而代碼執(zhí)行應(yīng)用則要求存儲器的隨機訪存速度更快。
????經(jīng)過研究人員對浮柵存儲技術(shù)的堅持不懈的研究,現(xiàn)有閃存的技術(shù)能力在2010年底應(yīng)該有所提升,盡管如此,現(xiàn)在人們越來越關(guān)注有望至少在2020年末以前升級到更小技術(shù)節(jié)點的新式存儲器機制和材料。
????目前存在多種不同的可以取代浮柵概念的存儲機制,相變存儲器(PCM)就是其中一個最被業(yè)界看好的非易失性存儲器,具有閃存無法匹敵的讀寫性能和升級能力。
????在室溫環(huán)境中,基于第六族元素的某些金屬(硫族化合物)的晶態(tài)和非晶態(tài)的穩(wěn)定性非常好。特別是GeSbTe合金最被看好,因為它遵守一個偽二元構(gòu)成方式(在GeTe和Sb2Te3之間),以下簡稱GST。
????在基于硅的相變存儲器中,不同強度的電流經(jīng)過加熱器(電阻),到達硫化物材料,利用局部熱焦耳效應(yīng),改變接觸區(qū)周圍的可寫入容量(圖1)。在經(jīng)過強電流和快速猝滅后,材料被冷卻成非晶體狀態(tài),導(dǎo)致電阻率增大。切換到非晶體狀態(tài)通常用時不足100ns,單元的熱時間常量通常僅為幾納秒。若恢復(fù)接觸區(qū)的晶體狀態(tài),使材料的電阻率變小,需要施加中等強度的電流,脈沖時間較長。存儲單元寫入操作所用的不同電流產(chǎn)生了存儲器的直接寫入特性。這種直接寫入功能可簡化存儲器的寫入操作,提高寫入性能。
圖1a:PCM存儲元件的橫截面原理圖
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圖1b:寫入操作過程中的模擬溫度曲線圖
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????使用比寫入電流低很多的且無重要的焦耳熱效應(yīng)的電流讀取存儲器,從而可以區(qū)別高電阻(非晶體)和低電阻(晶體)狀態(tài)。
????PCM被業(yè)界看好是因為兩大原因。第一原因是存儲器功能性增強:這些改進之處包括更短的隨機訪存時間、更快的讀寫速度,以及直接寫入、位粒度和高耐讀寫能力。整合今天的閃存和快速動態(tài)隨機訪問存儲器(DRAM)的部分特性,PCM技術(shù)將存儲器的功能提升到一個新的水平,最終不僅可以取代閃存,還能替代DRAM的部分用處,如常用操作碼保存和高性能磁盤緩存(圖2)。
圖2:存儲技術(shù)屬性比較
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????存儲單元小和制造工藝可以升級是讓人們看好PCM的第二大理由。相變物理性質(zhì)顯示制程有望升級到5nm節(jié)點以下,有可能把閃存確立的成本降低和密度提高的速度延續(xù)到下一個十年期。
????采用一項標準CMOS技術(shù)整合PCM概念、存儲單元結(jié)構(gòu)及陣列和芯片測試載具的方案已通過廣泛的評估和論證。128Mb高密度相變存儲器原型經(jīng)過90nm制程論證,測試表明性能和可靠性良好。根據(jù)目前已取得的制程整合結(jié)果和對PCM整合細節(jié)理解水平,下一個開發(fā)階段將是采用升級技術(shù)制造千兆位(Gbit)級別的PCM存儲器。