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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>光刻技術(shù):光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量(OCD)原理

光刻技術(shù):光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量(OCD)原理

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2012-05-04 16:28:416685

物理接觸式光刻技術(shù)和以Photons為光源的光刻技術(shù)介紹

從第一個(gè)晶體管問(wèn)世算起,半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展已有多半個(gè)世紀(jì)了,現(xiàn)在它仍保持著強(qiáng)勁的發(fā)展態(tài)勢(shì),繼續(xù)遵循 Moore 定律即芯片集成度18個(gè)月翻一番,每三年器件尺寸縮小0.7倍的速度發(fā)展。大尺寸、細(xì)線
2017-09-29 16:57:405

OCD TMS570 CortexR4

OCD TMS570 CortexR4
2017-10-26 09:14:0317

光刻技術(shù)概述及光刻技術(shù)的原理

光學(xué)光刻是通過(guò)廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過(guò)光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸光刻系統(tǒng)能獲得
2018-04-17 16:07:4133630

芯片升級(jí)神助攻 光刻技術(shù)你了解多少?

光刻技術(shù)是集成電路最重要的加工工藝。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻技術(shù)光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
2018-04-22 17:54:003147

光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光學(xué)光刻是通過(guò)廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過(guò)光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸光刻系統(tǒng)能獲得
2018-06-27 15:43:5011776

解析光學(xué)防抖技術(shù) 算法及控制器性能突破為關(guān)鍵

關(guān)鍵詞:光學(xué)防抖 , 模糊邏輯控制器 , 音圈馬達(dá) , 智能手機(jī) 研究機(jī)構(gòu)開(kāi)發(fā)出具有最佳補(bǔ)償效果的手抖動(dòng)信號(hào)估測(cè)算法,以及運(yùn)算負(fù)載低且易實(shí)作的模糊邏輯(Fuzzy Logic)控制器,可大幅提高
2018-12-14 22:23:01592

光刻技術(shù)的基本原理!光刻技術(shù)的種類光學(xué)光刻

的新型光學(xué)及掩模襯底材料是該波段技術(shù)的主要困難。光科技束是很多學(xué)科的綜合,任何一門學(xué)科的突破就能對(duì)光刻技術(shù)的發(fā)展做出巨大貢獻(xiàn)。
2019-01-02 16:32:2323711

雙目立體視覺(jué)在動(dòng)車車身關(guān)鍵尺寸檢測(cè)中的應(yīng)用

子站,同時(shí)利用激光跟蹤儀及相關(guān)坐標(biāo)變換算法,完成對(duì)各個(gè)CCD相機(jī)測(cè)量子站的全局標(biāo)定;各個(gè)測(cè)量子站利用立體空間球檢測(cè)技術(shù),對(duì)局部關(guān)鍵尺寸進(jìn)行測(cè)量;同時(shí)構(gòu)建了基于小波分析的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)溫度誤差補(bǔ)償模型,使空間距離補(bǔ)償后的精度能達(dá)到
2019-01-03 11:10:064

淺析光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會(huì)發(fā)展中,光刻技術(shù)的增長(zhǎng),直接關(guān)系到大型計(jì)算機(jī)的運(yùn)作等高科技領(lǐng)域。
2019-02-25 10:07:535812

深度探究光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會(huì)發(fā)展中,光刻技術(shù)的增長(zhǎng),直接關(guān)系到大型計(jì)算機(jī)的運(yùn)作等高科技領(lǐng)域。
2019-03-03 10:00:314088

DMD無(wú)掩膜光刻技術(shù)解析

光刻是指利用光學(xué)復(fù)制的方法把圖形印制在光敏記錄材料上,然后通過(guò)刻蝕的方法將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上來(lái)制作電子電路的技術(shù)。
2020-08-13 15:09:2217949

提高光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)光刻機(jī)的發(fā)展情況

作為光刻工藝中最重要設(shè)備之一,光刻機(jī)一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。 光刻機(jī) 光刻機(jī)(Mask
2020-08-28 14:39:0411746

美國(guó)禁運(yùn)光刻、5nm技術(shù)等6項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)!

(CCL)中。而這其中包括了極紫外線(EUV)掩模的計(jì)算光刻技術(shù)軟件和5nm 生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù),兩條直指了對(duì)芯片的制造的封鎖。 據(jù)了解,目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達(dá)到了37項(xiàng)。美國(guó)商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)布公告中寫道:此舉是為了支持關(guān)鍵及新
2020-10-27 10:49:102285

光刻機(jī)的工作原理以及關(guān)鍵技術(shù)

導(dǎo)讀:光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開(kāi)光刻技術(shù)。 光刻機(jī)的工作原理: 利用光刻
2022-12-23 13:34:547273

光刻技術(shù)為中心的行業(yè)壁壘,EUV光刻機(jī)并非是是中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的唯一癥結(jié)

膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測(cè)等數(shù)十道工序才得以最終完成。 正因如此,集數(shù)學(xué)、光學(xué)、物理、化學(xué)等眾多學(xué)科技術(shù)于一身的光刻機(jī),被稱之為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠,占據(jù)晶圓廠設(shè)備投資總額的約25%。 在中美關(guān)系緊
2020-11-26 16:19:192472

集成電路的發(fā)展與其制造工藝─——光刻技術(shù)

光刻技術(shù)的進(jìn)步使得器件的特征尺寸不斷減小,芯片的集成度和性能不斷提高。在摩爾定律的引領(lǐng)下,光學(xué)光刻技術(shù)經(jīng)歷了接觸/接近、等倍投影、縮小步進(jìn)投影、步進(jìn)掃描投影等曝光方式的變革。
2020-12-14 15:06:446628

中國(guó)光刻機(jī)技術(shù)取得關(guān)鍵性突破

EUV光刻機(jī),一直是中國(guó)芯片制造無(wú)法進(jìn)一步升級(jí)的掣肘。去年9月份,時(shí)任中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)白春禮公開(kāi)表態(tài)稱,將集中精力攻克光刻機(jī)難題。不到半年時(shí)間,中國(guó)科學(xué)家就在這一“卡脖子”技術(shù)取得了關(guān)鍵性突破。
2021-02-26 09:06:185287

OCD ICE修復(fù)說(shuō)明

OCD ICE 修復(fù)說(shuō)明
2022-06-26 09:46:280

基于光學(xué)傳感器技術(shù)光學(xué)測(cè)量儀對(duì)汽車行業(yè)的影響

對(duì)更窄間隙尺寸和獨(dú)立于平臺(tái)的測(cè)量解決方案的需求,光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)可以測(cè)量迄今為止未知的精度,以及在汽車車身生產(chǎn)的所有階段普遍使用一個(gè)相同的測(cè)量設(shè)備。”
2022-06-27 14:01:44626

euv光刻機(jī)是干什么的

機(jī)可以生產(chǎn)出納米尺寸更小、功能更強(qiáng)大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。 EUV光刻機(jī)有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺(tái)系統(tǒng)三大核心技術(shù)。 目前,最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)。預(yù)計(jì)在光路系統(tǒng)的幫助下,能
2022-07-10 14:35:066173

光刻工藝中使用的曝光技術(shù)

根據(jù)所使用的輻射,有不同類型的光刻方法用于曝光的:光刻(光刻)、電子束光刻、x射線光刻、光刻和離子束光刻。在光學(xué)光刻技術(shù)中,有部分不透明和部分不透明的圖案掩模(光片)半透明區(qū)域被使用。紫外線輻射或氣體激光的照射以1:1的比例完成或者以4:1或10:1的比例減少。
2022-07-27 16:54:533169

深度解析EUV光刻工藝技術(shù)

光刻是半導(dǎo)體工藝中最關(guān)鍵的步驟之一。EUV是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)最熱門的關(guān)鍵詞,也是光刻技術(shù)。為了更好地理解 EUV 是什么,讓我們仔細(xì)看看光刻技術(shù)
2022-10-18 12:54:053180

計(jì)算光刻技術(shù)的發(fā)展

Technology,RET)的延伸,其關(guān)鍵技術(shù)主要包括光學(xué)成像物理仿真、光學(xué)鄰近效應(yīng)校正 (Optical Proximity Correction,OPC)、光源-掩模協(xié)同優(yōu)化 (Source-Mask Optimization, SMO) 等。三種計(jì)算光刻技術(shù)的對(duì)比見(jiàn)表。
2022-10-26 15:46:222274

線陣CCD尺寸測(cè)量信號(hào)的提取案例

介紹了測(cè)量精度為±0 .04 mm 的線陣 CCD 尺寸自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)的工作原理, 著重介紹了 尺寸測(cè)量信號(hào)的提取方法, 給出了實(shí)現(xiàn)電路, 并論述了電路實(shí)現(xiàn)中的關(guān)鍵技術(shù).經(jīng)實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn), 該電路簡(jiǎn)單、可靠、精度高, 有實(shí)用價(jià)值.
2022-11-22 17:39:020

宇微光學(xué)成功研發(fā)計(jì)算光刻EDA軟件

劉世元介紹,光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝,通過(guò)光刻成像系統(tǒng),將設(shè)計(jì)好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小,硅片上的曝光圖形會(huì)產(chǎn)生畸變。
2022-11-28 09:49:56690

自動(dòng)化光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)CASAIM IS葉輪三維尺寸檢測(cè)

自動(dòng)化光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
2022-12-05 14:45:57701

智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測(cè)量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用

中圖儀器影像測(cè)量儀、共聚焦顯微鏡、白光干涉儀基于3D光學(xué)成像測(cè)量非接觸、操作簡(jiǎn)單、速度快等優(yōu)點(diǎn),能提供常規(guī)尺寸光學(xué)測(cè)量儀器、微觀尺寸光學(xué)測(cè)量儀器、大尺寸光學(xué)測(cè)量儀器等精密測(cè)量解決方案!
2023-04-20 17:11:44396

什么是光刻技術(shù)

光刻技術(shù)簡(jiǎn)單來(lái)講,就是將掩膜版圖形曝光至硅片的過(guò)程,是大規(guī)模集成電路的基礎(chǔ)。目前市場(chǎng)上主流技術(shù)是193nm沉浸式光刻技術(shù),CPU所謂30nm工藝或者22nm工藝指的就是采用該技術(shù)獲得的電路尺寸。
2023-04-25 11:02:322261

淺談光刻技術(shù)

在整個(gè)芯片制造過(guò)程中,幾乎每一道工序的實(shí)施都離不開(kāi)光刻技術(shù)光刻技術(shù)也是制造芯片最關(guān)鍵技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
2023-04-26 08:57:031033

光學(xué)測(cè)量技術(shù)趨勢(shì)綜述

光學(xué)計(jì)量學(xué)是當(dāng)今制造業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一。它通??梢员欢x為用光進(jìn)行測(cè)量的科學(xué),被廣泛用于評(píng)估產(chǎn)品(或其某些部件或組件)的物理特性
2023-04-28 11:19:101022

發(fā)動(dòng)機(jī)葉片三維掃描測(cè)量尺寸偏差檢測(cè)-CASAIM光學(xué)3D測(cè)量

葉片是發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵零件,屬于薄壁易變形零件。如何控制其變形并高效、高質(zhì)量地加工是目前葉片制造行業(yè)研究的重要課題之一。 為了確保發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的質(zhì)量和可靠性,需要使用高精度的測(cè)量技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)。下面將介紹
2023-05-23 10:45:02468

閃測(cè)儀應(yīng)用案例:電機(jī)沖片尺寸測(cè)量

中圖儀器VX系列閃測(cè)儀采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光學(xué)鏡頭對(duì)圖像進(jìn)行捕捉,結(jié)合高精度圖像分析算法,精準(zhǔn)測(cè)量出電機(jī)沖片所有尺寸。VX系列閃測(cè)儀顛覆傳統(tǒng)測(cè)量模式,開(kāi)創(chuàng)快速影像尺寸測(cè)量時(shí)代,只需一鍵,瞬間測(cè)量電機(jī)沖片所有尺寸,繁瑣的測(cè)量任務(wù)變得無(wú)比輕松。
2021-11-02 10:15:30651

尺寸測(cè)量儀器知多少!

除了常見(jiàn)的尺寸測(cè)量儀器,近些年又出現(xiàn)了一種新型的測(cè)量儀器——閃測(cè)儀,也叫一鍵式測(cè)量儀和圖像尺寸測(cè)量儀,VX3000系列閃測(cè)儀采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光學(xué)鏡頭,結(jié)合高精度圖像分析算法,并融入一鍵閃測(cè)原理。只需按下啟動(dòng)鍵,儀器即可實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測(cè)量。
2021-11-08 16:55:121521

圖像尺寸測(cè)量儀如何測(cè)高度

VX3000系列圖像尺寸測(cè)量儀具有測(cè)量范圍更大、承重更高、并可擴(kuò)展高度測(cè)量等優(yōu)勢(shì)??梢詽M足各類零部件輪廓尺寸快速測(cè)量需求,工件無(wú)需定位,任意擺放,一鍵完成二維平面尺寸測(cè)量,搭載光學(xué)非接觸式測(cè)頭實(shí)現(xiàn)高度尺寸、平面度等參數(shù)的精密快速測(cè)量。
2022-09-20 15:04:27770

深紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向,對(duì)照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

閃測(cè)儀如何測(cè)量工件尺寸的?

閃測(cè)儀是一種常用的測(cè)量工具,可用于測(cè)量工件的尺寸。它是一種利用圖像處理、數(shù)據(jù)分析等技術(shù)進(jìn)行尺寸測(cè)量的儀器。具有的高精度測(cè)量能力,能夠準(zhǔn)確地測(cè)量工件的長(zhǎng)度、寬度、高度等尺寸參數(shù)。儀器具有高精度、高效率
2023-08-15 10:31:45628

光學(xué)光刻技術(shù)有哪些分類 光刻技術(shù)的原理

光學(xué)光刻是通過(guò)廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過(guò)光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸光刻系統(tǒng)能獲得的分辨率直接相關(guān),而減小照射光源的波長(zhǎng)是提高分辨率的最有效途徑。
2023-10-24 11:43:15271

智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測(cè)量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用

基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測(cè)量技術(shù)的3D光學(xué)檢測(cè)儀器,大多是基于光學(xué)方法(干涉顯微法、自動(dòng)聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等),可對(duì)精密零部件
2023-07-06 13:24:240

m12線束廠都是如何測(cè)量尺寸的?

電蜂優(yōu)選工程師說(shuō)道測(cè)量M12線束的尺寸是確保插頭與相應(yīng)的測(cè)量設(shè)備或接口兼容的關(guān)鍵任務(wù)。尺寸測(cè)量包括測(cè)量插頭的長(zhǎng)度、直徑、螺紋規(guī)格、引腳間距等參數(shù)。
2023-11-02 14:09:22499

超精密光學(xué)3D測(cè)量儀器的價(jià)值和意義

光學(xué)測(cè)量儀器結(jié)合鏡頭防撞保護(hù)技術(shù)、精密雙重隔振技術(shù)以及環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)技術(shù),具有高精度、自動(dòng)化程度高、實(shí)時(shí)反饋和范圍廣等優(yōu)勢(shì),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量和高效調(diào)整,可對(duì)精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級(jí)測(cè)量
2023-11-30 09:13:110

VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī),滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測(cè)量需求

PCB外形尺寸全檢的神器-VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī),獲得了客戶的廣泛認(rèn)可和一致好評(píng)。VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī)以光學(xué)成像測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ),配合高精度運(yùn)
2023-12-01 08:08:15156

幾何尺寸測(cè)量工具介紹

傳統(tǒng)的幾何尺寸測(cè)量儀器設(shè)備包括千分尺、角度尺、游標(biāo)卡尺等,這些儀器能夠滿足一般的幾何量測(cè)量需求。但是隨著科技的發(fā)展,越來(lái)越多高精度測(cè)量儀器被應(yīng)用于幾何量測(cè)量領(lǐng)域。從納米級(jí)光學(xué)3D表面輪廓儀通過(guò)光學(xué)
2023-12-26 17:16:39361

光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)的原理是什么?

光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)是一種重要的非接觸式測(cè)量方法,廣泛應(yīng)用于工程、制造、設(shè)計(jì)等領(lǐng)域。
2024-02-22 10:40:42277

閃測(cè)影像|中圖閃測(cè)儀,一鍵自動(dòng)批量測(cè)量尺寸

閃測(cè)儀可以快速完成尺寸測(cè)量,一鍵即可測(cè)量二維平面尺寸測(cè)量,或是搭載光學(xué)非接觸式測(cè)頭實(shí)現(xiàn)高度尺寸、平面度等參數(shù)的精密快速測(cè)量。不僅能夠大大提高測(cè)量效率,還能減少人為因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
2024-02-26 13:40:0197

閃測(cè)影像|中圖閃測(cè)儀,一鍵自動(dòng)批量測(cè)量尺寸

采集卡、圖像處理軟件等組件構(gòu)成。閃測(cè)儀就是利用先進(jìn)的光學(xué)原理和圖像處理技術(shù),高速獲取并分析產(chǎn)品的尺寸信息。中圖閃測(cè)儀基于機(jī)器視覺(jué)的自動(dòng)測(cè)量技術(shù),采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光
2024-03-04 13:40:010

VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī),滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測(cè)量需求

PCB外形尺寸全檢的神器-VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī),獲得了客戶的廣泛認(rèn)可。 VX9000系列光學(xué)掃描成像測(cè)量機(jī)以光學(xué)成像測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ),配合高精度
2023-12-01 09:29:55

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