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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>8～12英寸先進封裝技術專用勻膠設備

      8～12英寸先進封裝技術專用勻膠設備

      2009-12-14 | rar | 444 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      8～12 英寸先進封裝技術專用勻膠設備
      沈陽芯源微電子設備有限公司
      沈陽芯源微電子設備有限公司研制的8～12 英寸先進封裝技術專用勻膠設備獲得“2007
      年中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術”獎，其中12 英寸（×300mm）晶圓先進封裝設備，于2007年7 月在我國五大先進封裝測試廠之一的江陰長電先進封裝有限公司通過嚴格的工藝檢測驗收，成功投入生產(chǎn)使用。實現(xiàn)了國產(chǎn)首臺IC 裝備在晶圓尺寸和新工藝應用上的重大突破。由中科院沈陽自動化所投資興辦的沈陽芯源微電子設備有限公司是躋身于集成電路裝
      備行業(yè)的后起之秀。公司成立于2002 年底，幾年來，通過廣泛的國際合作加快了自主知識產(chǎn)權(quán)的IC 裝備研發(fā)進程，目前已申請與技術產(chǎn)品相關技術專利45 項，其中發(fā)明專利19 項，已授權(quán)實用新型專利11 項、軟件著作權(quán)1 項。芯源公司在引進國際先進技術基礎上，消化吸收，創(chuàng)新提高，在勻膠顯影整體技術和單元技術創(chuàng)新改進方面取得了多項關鍵技術突破，成功實現(xiàn)了技術的跨越式發(fā)展,使我國在集成電路制造領域的勻膠顯影技術提升了三個產(chǎn)品代，與國際最先進技術的差距縮短了15 年。
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